MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法技术

本发明专利技术MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法属于MEMS探针卡测试技术领域；所述插座包括：底座、底板、加强筋板、透明窗板、旋转挡盘、保护壳体、摇杆、升降气缸、上料槽、顶板、压块、加热片、导热片、进气口管、软管、气泵、进气罩、过滤网、接管、圆盘罩、封盖、旋钮、安装条、圆筒、连接管件、连接轴、螺纹顶盖、干燥螺旋竖管、外管、圆杆、螺旋叶片、空心圆壳、接口、转轴、蜗轮、蜗杆、铁块、凹孔、磁块、凹槽、导向孔、弹簧、导向杆、载板、温度传感器、通孔、待测探针卡、第一探针、第二探针、沾灰斜板、吸湿斜板、叶轮、短轴、转板、直杆、吸湿条板、沾灰条板和螺纹孔；有益之处在于该测试插座便于内部弹簧更换维护且防尘防潮。

【技术实现步骤摘要】
MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法
本专利技术MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法属于MEMS探针卡测试

技术介绍
全球晶圆探针卡市场中绝大多数份额仍被FormFactor、MJC、TechnoProbe等企业抢占；但在市场分布上，MEMS探针卡占比达60%左右，其进口替代空间巨大；伴随着集成电路的快速发展以及工艺日趋复杂，芯片设计更加多元，对应的测试方案也更加定制化，制造工艺中关于参数、缺陷检测等要求也越来越高，因此对电子元器件的要求也在不断精进。晶圆探针卡作为一种高精密电子元件，主要应用在IC尚未封装前，通过将晶圆探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块进行接触，从而接收芯片信号，筛选出不良产品；晶圆探针卡是IC制造中影响极大的高精密器件，也是确保芯片良品率和成本控制的重要环节。在对MEMS芯片进行测试的过程中，通常需要通过测试插座固定在测试用PCB板上，并通过导线(如弹簧探针)与PCB板连通。现有的测试插座在进行MEMS芯片的测试，一般通过弹簧探针进行接触，其长期使用，内部的弹簧反复伸缩，易出现损坏，失去弹性，可能需要进行弹簧的更换，更换可能不便捷；同时测试插座中可能缺少防尘、防潮设计，易出现灰尘聚集，潮气过重，也会造成损伤。现在尚没有一种便于内部弹簧更换维护且可进行防尘防潮的MEMS探针卡测试插座及测试方法。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足，本申请公开了一种MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法。MEMS探针卡测试插座，包括：底座、底板、旋转挡盘、保护壳体、自锁驱动机构、升降气缸、顶板、压块、加热片、导热片、进气口管、软管、气泵、进气罩、过滤网、接管、圆盘罩、封盖、圆筒、连接管件、连接轴、螺纹顶盖、干燥螺旋竖管、空心圆壳、弹簧、导向杆、载板、温度传感器、第一探针、第二探针、沾灰斜板、吸湿斜板、叶轮、直杆、吸湿条板和沾灰条板；其中，所述底座的底部与所述底板固定连接，所述底座的顶部设置有所述旋转挡盘，所述保护壳体固定连接在所述底座的一侧壁上，所述自锁驱动机构设置在所述保护壳体与所述底座一侧之间，所述自锁驱动机构的输出端与所述旋转挡盘的一侧底部固定连接，所述底座的顶部两侧均固定连接有所述升降气缸，所述升降气缸的输出顶端与所述顶板的底部固定连接，所述顶板的底部固定连接有压块，所述压块的底部固定连接有所述加热片，所述加热片的底部固定连接有所述导热片；所述旋转挡盘的中部开设有上料槽，所述底座的顶部中心位置开设有凹槽，所述底座的内部开设有导向孔，所述导向孔与所述凹槽底部连通安装，所述导向孔与所述导向杆间隙配合连接，所述导向杆的顶端固定连接有所述载板，所述载板位于所述上料槽的底部，所述载板与所述凹槽的顶部间隙配合连接，所述导向孔的内部设置有所述弹簧，所述弹簧与所述导向杆的底端接触，所述凹槽的内部固定连接有若干个所述第一探针和若干个所述第二探针，所述载板表面开设有若干个通孔，所述通孔位于所述第一探针的顶端处，所述载板中部固定嵌合连接有所述温度传感器，所述温度传感器位于所述第二探针的顶端处，所述上料槽中放置有待测探针卡，所述待测探针卡放置在所述载板顶部；所述底座的一侧固定连接有所述进气口管，所述进气口管与所述凹槽的一侧连通安装，所述进气口管的一端与所述软管的一端固定连通安装，所述软管的末端与所述空心圆壳顶部的接口固定连通安装，所述空心圆壳的内部空腔与接口连通安装，所述空心圆壳的底部连通安装有若干个均匀分布的所述干燥螺旋竖管，所述干燥螺旋竖管的底端与所述螺纹顶盖连接，所述螺纹顶盖与所述圆筒顶部螺纹连接，所述圆筒的底端固定连接有所述连接管件，所述连接管件与所述封盖顶部固定连接，所述封盖固定连接在所述圆盘罩的顶部开口处，所述圆盘罩的内部转动连接有所述叶轮，所述叶轮的顶端与所述连接轴的底端固定连接，所述连接轴顶端与所述直杆底端固定连接，所述直杆与所述圆筒的底部中心处转动连接，所述直杆表面沿长度方向等间距固定连接有若干个所述吸湿条板，所述直杆表面还沿长度方向等间距固定连接有若干个所述沾灰条板，所述沾灰条板和所述吸湿条板均位于所述圆筒的内部，所述圆盘罩的一侧与所述接管的一端固定连通安装，所述接管的末端与所述气泵的出气口固定连通安装，所述气泵的进气口与所述进气罩固定连通安装，所述进气罩的一侧固定嵌合连接有所述过滤网，所述进气罩的内部沿竖直方向等间距固定连接有若干个所述沾灰斜板和若干个所述吸湿斜板，所述吸湿斜板位于所述沾灰斜板的一侧。进一步地，所述底板的四周边沿处均匀开设有若干个安装孔，所述底板与底座的连接处固定连接有多个加强筋板。进一步地，所述底座的正面固定嵌合连接有透明窗板，所述透明窗板位于凹槽的正面。进一步地，所述自锁驱动机构包括蜗轮、蜗杆、转轴和摇杆，所述蜗杆和所述转轴均与底座转动连接，所述蜗轮与所述转轴固定套接，所述蜗轮与所述蜗杆之间啮合连接，所述转轴的顶端与旋转挡盘固定连接，所述摇杆与保护壳体一侧转动连接，所述摇杆的一端与所述蜗杆一端固定连接。进一步地，所述底座的顶部开设有凹孔，所述凹孔的内部固定嵌合连接有磁块，所述磁块的顶部设置有铁块，所述铁块与旋转挡盘底部固定嵌合连接。进一步地，所述叶轮由短轴和转板构成，所述短轴的底端与圆盘罩的底部中间位置转动连接，所述转板的数目为四个，四个所述转板呈环形阵列固定连接在所述短轴的四周。进一步地，所述圆盘罩的底部边沿处固定连接有多个安装条，所述圆盘罩的底部中间位置转动连接有旋钮，所述旋钮与短轴底端固定连接。进一步地，所述干燥螺旋竖管包括外管、圆杆和螺旋叶片，所述螺旋叶片固定套接在所述圆杆的圆柱面上，所述螺旋叶片和所述圆杆均设置在所述外管的内部，所述外管的内壁与所述螺旋叶片粘合连接。进一步地，所述空心圆壳的底部和螺纹顶盖的顶部均开设有若干个均匀分布的螺纹孔，所述螺纹孔与外管的端部螺纹连接。进一步地，所述连接管件的数目为两个，两个所述连接管件的底部与封盖之间通过螺丝固定连接。MEMS探针卡测试方法，包括以下步骤：步骤a、待测探针卡的放入以及探针的接触，待测探针卡放入上料槽，升降气缸收缩，带动顶板下行，压块下压待测探针卡，同时导热片与待测探针卡接触，持续下压，待测探针卡下压载板，通过导向杆下压弹簧，进行蓄力，持续进行下行，温度传感器与第二探针接触，第一探针与待测探针卡接触，其中第一探针和第二探针连接外部测试设备；步骤b、加热片的加热以及测试，加热片进行发热，通过导热片导热，为待测探针卡加热，通过温度传感器实施传感，直到达到预设温度，通过第一探针的接触，进行测试、运行传感待测探针卡，实现测试；步骤c、测试时的实时防尘，气泵持续进行抽气，通过过滤网过滤后，通过沾灰斜板和吸湿斜板进行沾灰和吸湿，接着进入气泵，通过接管进入到圆盘罩中，通过接管的气流为叶轮提供吹到，使得叶轮、连接轴、直杆一起转动，同时圆盘罩中的气流通过连接管件进入到圆筒中，转动的直杆转动时，吸湿条板和沾灰条板一起转动，进一步的进行沾灰和吸湿，接着气流进入到干燥螺旋竖管，沿干燥螺旋竖管内部流通，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MEMS探针卡测试插座，其特征在于：/n包括：底座（101）、底板（102）、旋转挡盘（105）、保护壳体（106）、自锁驱动机构、升降气缸（108）、顶板（110）、压块（111）、加热片（112）、导热片（113）、进气口管（114）、软管（115）、气泵（116）、进气罩（117）、过滤网（118）、接管（119）、圆盘罩（120）、封盖（121）、圆筒（124）、连接管件（125）、连接轴（126）、螺纹顶盖（127）、干燥螺旋竖管（128）、空心圆壳（129）、弹簧（139）、导向杆（140）、载板（141）、温度传感器（142）、第一探针（145）、第二探针（146）、沾灰斜板（147）、吸湿斜板（148）、叶轮（149）、直杆（150）、吸湿条板（151）和沾灰条板（152）；/n其中，所述底座（101）的底部与所述底板（102）固定连接，所述底座（101）的正面固定嵌合连接有透明窗板（104），所述透明窗板（104）位于凹槽（137）的正面，底座（101）的顶部设置有所述旋转挡盘（105）；所述底板（102）的四周边沿处均匀开设有若干个安装孔，所述底板（102）与底座（101）的连接处固定连接有多个加强筋板（103）；所述保护壳体（106）固定连接在所述底座（101）的一侧壁上，所述自锁驱动机构设置在所述保护壳体（106）与所述底座（101）一侧之间，所述自锁驱动机构的输出端与所述旋转挡盘（105）的一侧底部固定连接，所述底座（101）的顶部两侧均固定连接有所述升降气缸（108），所述升降气缸（108）的输出顶端与所述顶板（110）的底部固定连接，所述顶板（110）的底部固定连接有压块（111），所述压块（111）的底部固定连接有所述加热片（112），所述加热片（112）的底部固定连接有所述导热片（113）；/n所述旋转挡盘（105）的中部开设有上料槽（109），所述底座（101）的顶部中心位置开设有凹槽（137），所述底座（101）的内部开设有导向孔（138），所述导向孔（138）与所述凹槽（137）底部连通安装，所述导向孔（138）与所述导向杆（140）间隙配合连接，所述导向杆（140）的顶端固定连接有所述载板（141），所述载板（141）位于所述上料槽（109）的底部，所述载板（141）与所述凹槽（137）的顶部间隙配合连接，所述导向孔（138）的内部设置有所述弹簧（139），所述弹簧（139）与所述导向杆（140）的底端接触，所述凹槽（137）的内部固定连接有若干个所述第一探针（145）和若干个所述第二探针（146），所述载板（141）表面开设有若干个通孔（143），所述通孔（143）位于所述第一探针（145）的顶端处，所述载板（141）中部固定嵌合连接有所述温度传感器（142），所述温度传感器（142）位于所述第二探针（146）的顶端处，所述上料槽（109）中放置有待测探针卡（144），所述待测探针卡（144）放置在所述载板（141）顶部；/n所述底座（101）的一侧固定连接有所述进气口管（114），所述进气口管（114）与所述凹槽（137）的一侧连通安装，所述进气口管（114）的一端与所述软管（115）的一端固定连通安装，所述软管（115）的末端与所述空心圆壳（129）顶部的接口（130）固定连通安装，所述空心圆壳（129）的内部空腔与接口（130）连通安装，所述空心圆壳（129）的底部连通安装有若干个均匀分布的所述干燥螺旋竖管（128），所述干燥螺旋竖管（128）的底端与所述螺纹顶盖（127）连接，所述螺纹顶盖（127）与所述圆筒（124）顶部螺纹连接，所述圆筒（124）的底端固定连接有所述连接管件（125），所述连接管件（125）与所述封盖（121）顶部固定连接，所述封盖（121）固定连接在所述圆盘罩（120）的顶部开口处，所述圆盘罩（120）的内部转动连接有所述叶轮（149），所述叶轮（149）的顶端与所述连接轴（126）的底端固定连接，所述连接轴（126）顶端与所述直杆（150）底端固定连接，所述直杆（150）与所述圆筒（124）的底部中心处转动连接，所述直杆（150）表面沿长度方向等间距固定连接有若干个所述吸湿条板（151），所述直杆（150）表面还沿长度方向等间距固定连接有若干个所述沾灰条板（152），所述沾灰条板（152）和所述吸湿条板（151）均位于所述圆筒（124）的内部，所述圆盘罩（120）的一侧与所述接管（119）的一端固定连通安装，所述接管（119）的末端与所述气泵（116）的出气口固定连通安装，所述气泵（116）的进气口与所述进气罩（117）固定连通安装，所述进气罩（117）的一侧固定嵌合连接有所述过滤网（118），所述进气罩（117）的内部沿竖直方向等间距固定连接有若...

【技术特征摘要】
1.MEMS探针卡测试插座，其特征在于：
包括：底座（101）、底板（102）、旋转挡盘（105）、保护壳体（106）、自锁驱动机构、升降气缸（108）、顶板（110）、压块（111）、加热片（112）、导热片（113）、进气口管（114）、软管（115）、气泵（116）、进气罩（117）、过滤网（118）、接管（119）、圆盘罩（120）、封盖（121）、圆筒（124）、连接管件（125）、连接轴（126）、螺纹顶盖（127）、干燥螺旋竖管（128）、空心圆壳（129）、弹簧（139）、导向杆（140）、载板（141）、温度传感器（142）、第一探针（145）、第二探针（146）、沾灰斜板（147）、吸湿斜板（148）、叶轮（149）、直杆（150）、吸湿条板（151）和沾灰条板（152）；
其中，所述底座（101）的底部与所述底板（102）固定连接，所述底座（101）的正面固定嵌合连接有透明窗板（104），所述透明窗板（104）位于凹槽（137）的正面，底座（101）的顶部设置有所述旋转挡盘（105）；所述底板（102）的四周边沿处均匀开设有若干个安装孔，所述底板（102）与底座（101）的连接处固定连接有多个加强筋板（103）；所述保护壳体（106）固定连接在所述底座（101）的一侧壁上，所述自锁驱动机构设置在所述保护壳体（106）与所述底座（101）一侧之间，所述自锁驱动机构的输出端与所述旋转挡盘（105）的一侧底部固定连接，所述底座（101）的顶部两侧均固定连接有所述升降气缸（108），所述升降气缸（108）的输出顶端与所述顶板（110）的底部固定连接，所述顶板（110）的底部固定连接有压块（111），所述压块（111）的底部固定连接有所述加热片（112），所述加热片（112）的底部固定连接有所述导热片（113）；
所述旋转挡盘（105）的中部开设有上料槽（109），所述底座（101）的顶部中心位置开设有凹槽（137），所述底座（101）的内部开设有导向孔（138），所述导向孔（138）与所述凹槽（137）底部连通安装，所述导向孔（138）与所述导向杆（140）间隙配合连接，所述导向杆（140）的顶端固定连接有所述载板（141），所述载板（141）位于所述上料槽（109）的底部，所述载板（141）与所述凹槽（137）的顶部间隙配合连接，所述导向孔（138）的内部设置有所述弹簧（139），所述弹簧（139）与所述导向杆（140）的底端接触，所述凹槽（137）的内部固定连接有若干个所述第一探针（145）和若干个所述第二探针（146），所述载板（141）表面开设有若干个通孔（143），所述通孔（143）位于所述第一探针（145）的顶端处，所述载板（141）中部固定嵌合连接有所述温度传感器（142），所述温度传感器（142）位于所述第二探针（146）的顶端处，所述上料槽（109）中放置有待测探针卡（144），所述待测探针卡（144）放置在所述载板（141）顶部；
所述底座（101）的一侧固定连接有所述进气口管（114），所述进气口管（114）与所述凹槽（137）的一侧连通安装，所述进气口管（114）的一端与所述软管（115）的一端固定连通安装，所述软管（115）的末端与所述空心圆壳（129）顶部的接口（130）固定连通安装，所述空心圆壳（129）的内部空腔与接口（130）连通安装，所述空心圆壳（129）的底部连通安装有若干个均匀分布的所述干燥螺旋竖管（128），所述干燥螺旋竖管（128）的底端与所述螺纹顶盖（127）连接，所述螺纹顶盖（127）与所述圆筒（124）顶部螺纹连接，所述圆筒（124）的底端固定连接有所述连接管件（125），所述连接管件（125）与所述封盖（121）顶部固定连接，所述封盖（121）固定连接在所述圆盘罩（120）的顶部开口处，所述圆盘罩（120）的内部转动连接有所述叶轮（149），所述叶轮（149）的顶端与所述连接轴（126）的底端固定连接，所述连接轴（126）顶端与所述直杆（150）底端固定连接，所述直杆（150）与所述圆筒（124）的底部中心处转动连接，所述直杆（150）表面沿长度方向等间距固定连接有若干个所述吸湿条板（151），所述直杆（150）表面还沿长度方向等间距固定连接有若干个所述沾灰条板（152），所述沾灰条板（152）和所述吸湿条板（151）均位于所述圆筒（124）的内部，所述圆盘罩（120）的一侧与所述接管（119）的一端固定连通安装，所述接管（119）的末端与所述气泵（116）的出气口固定连通安装，所述气泵（116）的进气口与所述进气罩（117）固定连通安装，所述进气罩（117）的一侧固定嵌合连接有所述过滤网（118），所述进气罩（117）的内部沿竖直方向等间距固定连接有若干个所述沾灰斜板（147）和若干个所述吸湿斜板（148），所述吸湿斜板（148）位于所述沾灰斜板（147）的一侧。


2.根据权利要求1所述的MEMS探针卡测试插座，其特征在于：所述自锁驱动机构包括蜗轮（132）、蜗杆（133）、转轴（131）和摇杆（107），所述蜗杆（133）和所述转轴（131）均与底座（101）转动连接，所述蜗轮（132）与所述转轴（131）固定套接，所述蜗轮（132）与所述蜗杆（13...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鸿亮，
申请(专利权)人：哈尔滨桥晟科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23