一种探针卡固持器制造技术

本发明专利技术属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接，通过若干卡板架，形成一个探针卡库，通过升降台的上下移动，实现不同探针卡的选择，通过随升降台移动的卡板切换结构对探针卡板进行取放，取出的探针卡板随着升降台移动至底部后通过卡板连接结构，将探针卡与检测电路连接，由于通过探针卡库和升降台进行选择的方式，使固持器能够在多个探针卡之间进行切换，增加了在检测中固持器的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡固持器
本专利技术属于探针卡
，尤其涉及一种探针卡固持器。
技术介绍
随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，在需要切换探针卡时，通过转动固持器，将对应的探针卡转动至半导体器件上方进行检测，或者设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，现有技术中，为了实现多组触点的检测，采用了对探针卡的互换来实现匹配，通过切换不同的探针卡来实现匹配，现有的固持器采用的多面体和移动平台结构，无法设置多个探针卡，可切换的数量有限。
技术实现思路
本专利技术克服了上述现有技术的不足，提供了一种探针卡固持器，能够设置多个探针卡，使固持器满足多个探针卡的切换需要。本专利技术的技术方案：一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接；所述底座包括：底座板、立板和卡板架，所述底座板上固定连接有立板，立板的正面固定连接有若干个卡板架，卡板架上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；所述升降台包括：升降台滑轨、升降台滑块和升降台板，所述升降台滑轨设置在立板的背面，所述升降台滑块滑动设置在升降台滑轨上，所述升降台板的中间设置有过孔，且升降台板套设在立板上，升降台板与升降台滑块固定连接，所述升降台板中间的过孔能够容纳所述卡板架，且该过孔与卡板架相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架外侧对应设置有开口；所述探针卡板包括：卡板体，所述卡板体的外侧设置有若干个与所述探针卡的探针对应连接的插口；所述卡板切换结构包括：卡板移动架、移动卡块和固定卡块，所述卡板移动架滑动设置在升降台板上，卡板移动架的内侧设置有移动卡块，移动卡块上开设有纵向设置的过孔，该过孔方向上设置有固定卡块，且固定卡块固定连接在探针卡板上；所述卡板连接结构包括：连接插头，连接插头能够与所述卡板体外侧的插口连接。进一步地，所述的卡板架的上表面向内凹陷形成探针卡板容纳槽，与探针卡板容纳槽外侧开口相对的边为探针卡板定位边，该开口两侧的边与探针卡板构成滑槽结构。进一步地，所述升降台还包括：升降电机、升降丝杆和升降丝杆滑块，所述升降电机设置在立板的顶部，与升降电机的转轴连接的升降丝杆设置在立板的背面，套设在升降丝杆上的升降丝杆滑块与升降台板固定连接。进一步地，所述卡板架的两侧与所述升降台板间留有卡块间隙，所述移动卡块和固定卡块均设置在该卡块间隙内。进一步地，所述卡板切换结构还包括：卡板切换齿条、卡板切换齿轮、卡板切换轴和卡板切换电机，所述卡板移动架上设置有卡板切换齿条，卡板切换齿轮与卡板切换齿条啮合连接，所述卡板切换轴设置在立板的背面，卡板切换轴同轴穿过所述卡板切换齿轮，且卡板切换轴的外侧沿轴向设置有齿轮卡槽，所述卡板切换齿轮内侧与齿轮卡槽对应设置有齿轮卡齿，且该齿轮卡齿滑动设置在齿轮卡槽内，所述卡板切换轴的上端与卡板切换电机连接。一种探针卡固持器的连接结构，包括探针卡板和卡板连接结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接；所述探针卡板包括：卡板体、卡板电路、插口座、插口片和插口销，所述卡板体的中间固定连接有探针卡，若干个所述卡板电路的一端与探针卡连接，卡板电路的另一端延伸至卡板体的侧面并与一个连接触点连接，所述的插口座覆盖在卡板体侧面的连接触点上，插口座的外侧间隔设置有若干个插口槽，每个插口槽内均设置有一个插口片，每个插口片均对应设置有一个插口销，插口销穿过插口片后与连接触点连接；所述卡板连接结构包括：连接插头、插头托板、托板滑块、托板滑轨、连接结构立架、立架滑槽和插头滑块，所述连接插头的前端设置有若干个插头柱，每个插头柱均通过导线与检测电路连接，连接插头的后端滑动设置在插头托板上，插头托板的两侧分别通过一个托板滑块与托板滑轨连接，托板滑轨固定连接在连接结构立架上，连接结构立架上设置有立架滑槽，所述插头滑块的一端滑动设置在立架滑槽内，插头滑块的另一端固定连接在连接插头上，所述插头托板的一端向外延伸形成探针卡板托台，所述立架滑槽为下端靠近探针卡板托台的斜槽。进一步地，所述立架滑槽包括上滑槽段、中滑槽段和下滑槽段，所述上滑槽段和下滑槽段均为纵向滑槽，中滑槽段为倾斜滑槽。进一步地，所述卡板连接结构与探针卡板满足以下位置关系，在所述插头滑块位于上滑槽段时，探针卡板搭接在探针卡板托台上，连接插头与插口座对齐，在所述插头滑块位于中滑槽段时，探针卡板保持搭接在探针卡板托台上，同时连接插头插入插口座，在所述插头滑块位于上滑槽段时，探针卡板保持搭接在探针卡板托台上，同时连接插头与插口座保持连接。进一步地，所述卡板连接结构还包括：托板复位弹簧，托板复位弹簧的上端与连接结构立架的上端固定连接，托板复位弹簧的下端与插头托板固定连接。进一步地，应用在一种探针卡固持器上。进一步地，所述一种探针卡固持器包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构。一种探针卡固持器的升降台，包括：升降台滑轨、升降台滑块和升降台板，所述升降台滑轨设置在立板的背面，所述升降台滑块滑动设置在升降台滑轨上，所述升降台板的中间设置有过孔，且升降台板套设在立板上，升降台板与升降台滑块固定连接，所述升降台板中间的过孔能够容纳所述卡板架，且该过孔与卡板架相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架外侧对应设置有开口；所述升降台还包括：升降台支架、支架滑块、升降台拉杆、拉杆连接轴、凸轮和升降台插头，所述升降台支架水平设置，升降台支架的两端分别设置有一个支架滑块，支架滑块的侧面与升降台拉杆的上端转动连接，升降台拉杆的下端转动连接在升降台板上，且升降台拉杆下端的转轴同轴连接有拉杆连接轴的一端，拉杆连接轴的另一端延伸至卡板承托区并固定连接有凸轮，凸轮与升降台插头的外侧接触；所述升降台支架设置在若干个卡板架队列的中部，且升降台支架的端部设置有翻转结构，翻转结构包括：翻转簧片、翻转架、翻转滑轨、翻转架滑块、翻转架滑块复位弹簧、滑块卡板、滑块卡板轴、滑块卡板限位杆和滑块板扭力弹簧，所述翻转簧片的一端固定连接在升降台拉杆的下侧，且翻转簧片垂直升降台拉本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡固持器，其特征在于，包括：底座（1）、升降台（2）、探针卡板（3）、卡板切换结构（4）和卡板连接结构（5），所述底座（1）上滑动设置有升降台（2），升降台（2）上设置有卡板切换结构（4），所述的探针卡板（3）上设置有探针卡（6），且探针卡板（3）通过卡板连接结构（5）与检测电路连接；/n所述底座（1）包括：底座板（1-1）、立板（1-2）和卡板架（1-3），所述底座板（1-1）上固定连接有立板（1-2），立板（1-2）的正面固定连接有若干个卡板架（1-3），卡板架（1-3）上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；/n所述升降台（2）包括：升降台滑轨（2-1）、升降台滑块（2-2）和升降台板（2-3），所述升降台滑轨（2-1）设置在立板（1-2）的背面，所述升降台滑块（2-2）滑动设置在升降台滑轨（2-1）上，所述升降台板（2-3）的中间设置有过孔，且升降台板（2-3）套设在立板（1-2）上，升降台板（2-3）与升降台滑块（2-2）固定连接，所述升降台板（2-3）中间的过孔能够容纳所述卡板架（1-3），且该过孔与卡板架（1-3）相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架（1-3）外侧对应设置有开口；/n所述探针卡板（3）包括：卡板体（3-1），所述卡板体（3-1）的外侧设置有若干个与所述探针卡（6）的探针对应连接的插口；/n所述卡板切换结构（4）包括：卡板移动架（4-1）、移动卡块（4-2）和固定卡块（4-3），所述卡板移动架（4-1）滑动设置在升降台板（2-3）上，卡板移动架（4-1）的内侧设置有移动卡块（4-2），移动卡块（4-2）上开设有纵向设置的过孔，该过孔方向上设置有固定卡块（4-3），且固定卡块（4-3）固定连接在探针卡板（3）上；/n所述卡板连接结构（5）包括：连接插头（5-1），连接插头（5-1）能够与所述卡板体（3-1）外侧的插口连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡固持器，其特征在于，包括：底座（1）、升降台（2）、探针卡板（3）、卡板切换结构（4）和卡板连接结构（5），所述底座（1）上滑动设置有升降台（2），升降台（2）上设置有卡板切换结构（4），所述的探针卡板（3）上设置有探针卡（6），且探针卡板（3）通过卡板连接结构（5）与检测电路连接；
所述底座（1）包括：底座板（1-1）、立板（1-2）和卡板架（1-3），所述底座板（1-1）上固定连接有立板（1-2），立板（1-2）的正面固定连接有若干个卡板架（1-3），卡板架（1-3）上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；
所述升降台（2）包括：升降台滑轨（2-1）、升降台滑块（2-2）和升降台板（2-3），所述升降台滑轨（2-1）设置在立板（1-2）的背面，所述升降台滑块（2-2）滑动设置在升降台滑轨（2-1）上，所述升降台板（2-3）的中间设置有过孔，且升降台板（2-3）套设在立板（1-2）上，升降台板（2-3）与升降台滑块（2-2）固定连接，所述升降台板（2-3）中间的过孔能够容纳所述卡板架（1-3），且该过孔与卡板架（1-3）相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架（1-3）外侧对应设置有开口；
所述探针卡板（3）包括：卡板体（3-1），所述卡板体（3-1）的外侧设置有若干个与所述探针卡（6）的探针对应连接的插口；
所述卡板切换结构（4）包括：卡板移动架（4-1）、移动卡块（4-2）和固定卡块（4-3），所述卡板移动架（4-1）滑动设置在升降台板（2-3）上，卡板移动架（4-1）的内侧设置有移动卡块（4-2），移动卡块（4-2）上开设有纵向设置的过孔，该过孔方向上设置有固定卡块（4-3），且固定卡块（4-3）固定连接在探针卡板（3）上；
所述卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鸿亮，
申请(专利权)人：哈尔滨桥晟科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23