一种探针卡固持器制造技术

本发明专利技术属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡固持器，包括：底座、升降台、探针卡板、卡板切换结构和卡板连接结构，所述底座上滑动设置有升降台，升降台上设置有卡板切换结构，所述的探针卡板上设置有探针卡，且探针卡板通过卡板连接结构与检测电路连接，通过若干卡板架，形成一个探针卡库，通过升降台的上下移动，实现不同探针卡的选择，通过随升降台移动的卡板切换结构对探针卡板进行取放，取出的探针卡板随着升降台移动至底部后通过卡板连接结构，将探针卡与检测电路连接，由于通过探针卡库和升降台进行选择的方式，使固持器能够在多个探针卡之间进行切换，增加了在检测中固持器的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡固持器
本专利技术属于探针卡
，尤其涉及一种探针卡固持器。
技术介绍
随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，在需要切换探针卡时，通过转动固持器，将对应的探针卡转动至半导体器件上方进行检测，或者设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，现有技术中，为了实现多组触点的检测，采用了对探针卡的互换来实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡固持器，其特征在于，包括：底座（1）、升降台（2）、探针卡板（3）、卡板切换结构（4）和卡板连接结构（5），所述底座（1）上滑动设置有升降台（2），升降台（2）上设置有卡板切换结构（4），所述的探针卡板（3）上设置有探针卡（6），且探针卡板（3）通过卡板连接结构（5）与检测电路连接；/n所述底座（1）包括：底座板（1-1）、立板（1-2）和卡板架（1-3），所述底座板（1-1）上固定连接有立板（1-2），立板（1-2）的正面固定连接有若干个卡板架（1-3），卡板架（1-3）上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；/n所述升降台（2）包括：升降台滑轨（2-1）、升...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡固持器，其特征在于，包括：底座（1）、升降台（2）、探针卡板（3）、卡板切换结构（4）和卡板连接结构（5），所述底座（1）上滑动设置有升降台（2），升降台（2）上设置有卡板切换结构（4），所述的探针卡板（3）上设置有探针卡（6），且探针卡板（3）通过卡板连接结构（5）与检测电路连接；
所述底座（1）包括：底座板（1-1）、立板（1-2）和卡板架（1-3），所述底座板（1-1）上固定连接有立板（1-2），立板（1-2）的正面固定连接有若干个卡板架（1-3），卡板架（1-3）上设置有探针卡板容纳槽，该探针卡板容纳槽的外侧设置有开口；
所述升降台（2）包括：升降台滑轨（2-1）、升降台滑块（2-2）和升降台板（2-3），所述升降台滑轨（2-1）设置在立板（1-2）的背面，所述升降台滑块（2-2）滑动设置在升降台滑轨（2-1）上，所述升降台板（2-3）的中间设置有过孔，且升降台板（2-3）套设在立板（1-2）上，升降台板（2-3）与升降台滑块（2-2）固定连接，所述升降台板（2-3）中间的过孔能够容纳所述卡板架（1-3），且该过孔与卡板架（1-3）相对的一侧为卡板承托区，该卡板承托区内侧与所述卡板架（1-3）外侧对应设置有开口；
所述探针卡板（3）包括：卡板体（3-1），所述卡板体（3-1）的外侧设置有若干个与所述探针卡（6）的探针对应连接的插口；
所述卡板切换结构（4）包括：卡板移动架（4-1）、移动卡块（4-2）和固定卡块（4-3），所述卡板移动架（4-1）滑动设置在升降台板（2-3）上，卡板移动架（4-1）的内侧设置有移动卡块（4-2），移动卡块（4-2）上开设有纵向设置的过孔，该过孔方向上设置有固定卡块（4-3），且固定卡块（4-3）固定连接在探针卡板（3）上；
所述卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鸿亮，
申请(专利权)人：哈尔滨桥晟科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23