一种静电状态的容量形状异变检测制造技术

本发明专利技术公开了一种静电状态的容量形状异变检测，所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路，所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，本发明专利技术可以制造更长的测量行程,精度和分辨率不变,大大降低了其制作成本，而控制单元电极单元可以在接下来的分钟内分离,并且保护电极可以消除电极向性可能具有的检测周围的电极的杂散电容和分布电容，电极和保护电极仅的构造，圆柱外筒等辊形状可以是自由形状，此外由于串联和平行于检测到的电容添加的半导体和电介质的电阻,精度没有降低，可有效的提高其使用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种静电状态的容量形状异变检测
本专利技术涉及容量形状异变检测
，具体为一种静电状态的容量形状异变检测。
技术介绍
目前静电状态的容量形状异变检测使用电容式位移计来测量介电常数、位移以及厚度,但是其原则上具有以下问题，其除了检测表面以外的电极表面(侧面,背面)以及电极与控制单元之间的电缆也是电极的一部分，并且它们受到浮动电容的影响，这导致精度降低，如果电极所包围由接地的情况下，所述电极和所述控制单元被连接到同轴电缆，并且外导体是接地的，浮动电容可以切断，但新的间电极和所述壳体和所述同轴电缆的外部，这样会使得导体与内部导体之间会产生大量的分布电容,从而降低了检测精度，因此我们提出了一种静电状态的容量形状异变检测。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷，提供一种静电状态的容量形状异变检测。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种静电状态的容量形状异变检测，所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路。优选的，所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，所述电极外围绕有电极防护件。优选的，所述圆柱形外筒外设置有同轴电缆，且输出装置外设置有跟随放大器和驱动器。一种静电状态的容量形状异变检测，所述静电状态的容量形状异变检测包括以下步骤：S1：外管在滑动轴的在外周附近电容电压转换电路将滑动轴和电极之间的电容大小转换为交流电压幅度的大小，而相同的电容该配置设置有输出装置，该输出装置将电压转换电路的输出转换成滑动轴的位移并输出；S2：当滑动轴相对于外筒在纵向上移动时，滑动轴与电极之间的电容的大小根据位移而变化，通过将电容的变化转换为电压可以获得与位移的大小相对应的输出；S3：此外，围绕电极防护件的电极和所述同轴电缆的外导体的电压跟随放大器基本上到电极的内部导体,并通过同轴电缆相同的电势到驱动器通过内部的电极的导体所产生的分布电容和同轴电缆使其微微并阻止浮动容量，可以通过用保护电极围绕电极的一部分来限制检测方向；S4：采样电路将电压跟随器放大器之间的差作为与检测到的电容成比例的电压输出，该输出包括电极和保护极之间以及同轴电缆的内外导体之间的分布电容；作为电压跟随器放大器输出的互积的同相分量，包括比例分量和与串联并联施加到所检测电容的电阻成比例的分量；S5：检测到的电容成比例的分量是电压跟随器放大器的乘积的滯后相位,采样电路通过使用电压跟随器放大器的乘积的滯后相位进行采样来对检测到的电容进行采样。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：不使用线圈系统作为位移计，那么要转换位移量,就可以制造更长的测量行程,精度和分辨率不变,大大降低了其制作成本，而控制单元电极单元可以在接下来的分钟内分离,并且保护电极可以消除电极向性可能具有的检测周围的电极的杂散电容和分布电容，电极和保护电极仅的构造，圆柱外筒等辊形状可以是自由形状，此外由于串联和平行于检测到的电容添加的半导体和电介质的电阻,精度没有降低，可有效的提高其使用范围，达到广泛应用的目的。附图说明图1为本专利技术的操作流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一请参阅图1，本专利技术提供一种技术方案：一种静电状态的容量形状异变检测，所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路。优选的，所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，所述电极外围绕有电极防护件。优选的，所述圆柱形外筒外设置有同轴电缆，且输出装置外设置有跟随放大器和驱动器。一种静电状态的容量形状异变检测，所述静电状态的容量形状异变检测包括以下步骤：S1：外管在滑动轴的在外周附近电容电压转换电路将滑动轴和电极之间的电容大小转换为交流电压幅度的大小，而相同的电容该配置设置有输出装置，该输出装置将电压转换电路的输出转换成滑动轴的位移并输出；S2：当滑动轴相对于外筒在纵向上移动时，滑动轴与电极之间的电容的大小根据位移而变化，通过将电容的变化转换为电压可以获得与位移的大小相对应的输出；S3：此外，围绕电极防护件的电极和所述同轴电缆的外导体的电压跟随放大器基本上到电极的内部导体,并通过同轴电缆相同的电势到驱动器通过内部的电极的导体所产生的分布电容和同轴电缆使其微微并阻止浮动容量，可以通过用保护电极围绕电极的一部分来限制检测方向；S4：采样电路将电压跟随器放大器之间的差作为与检测到的电容成比例的电压输出，该输出包括电极和保护极之间以及同轴电缆的内外导体之间的分布电容；作为电压跟随器放大器输出的互积的同相分量，包括比例分量和与串联并联施加到所检测电容的电阻成比例的分量；S5：检测到的电容成比例的分量是电压跟随器放大器的乘积的滯后相位,采样电路通过使用电压跟随器放大器的乘积的滯后相位进行采样来对检测到的电容进行采样。实施例二一种静电状态的容量形状异变检测，所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路，所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，所述电极外围绕有电极防护件，所述圆柱形外筒外设置有同轴电缆，且输出装置外设置有跟随放大器和驱动器。一种静电状态的容量形状异变检测，所述静电状态的容量形状异变检测包括以下步骤：S1：外管在滑动轴的在外周附近电容电压转换电路将滑动轴和电极之间的电容大小转换为交流电压幅度的大小，而相同的电容该配置设置有输出装置，该输出装置将电压转换电路的输出转换成滑动轴的位移并输出；S2：当滑动轴相对于外筒在纵向上移动时，滑动轴与电极之间的电容的大小根据位移而变化，通过将电容的变化转换为电压可以获得与位移的大小相对应的输出；S3：此外，围绕电极防护件的电极和所述同轴电缆的外导体的电压跟随放大器基本上到电极的内部导体,并通过同轴电缆相同的电势到驱动器通过内部的电极的导体所产生的分布电容和同轴电缆使其微微并阻止浮动容量，可以通过用保护电极围绕电极的一部分来限制检测方向；S4：采样电路将电压跟随器放大器之间的差作为与检测到的电容成比例的电压输出，该输出包括电极和保护极之间以及同轴电缆的内外导体之间的分布电容；作为电压跟随器放大器输出的互积的同相分量，包括比例分量和与串联并联施加到所检测电容的电阻成比例的分量；S5：检测到的电容成比例的分量是电压跟随器放大器的乘积的滯后相位,采样电路通过使用电压跟随器放大器的乘积的滯后相位进行采样来对检测到的电容进行采样。尽管已经本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电状态的容量形状异变检测，其特征在于: 所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电状态的容量形状异变检测，其特征在于:所述电状态的容量形状异变检测包括一个圆柱形外筒，所述圆柱形外筒以滑动装入有金属滑动轴，所述滑动轴外滑动连接有外管，且外管外设置有采样电路。


2.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测，其特征在于：所述滑动轴外设置有输出装置和电极和保护极，所述电极外围绕有电极防护件。


3.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测，其特征在于：所述圆柱形外筒外设置有同轴电缆，且输出装置外设置有跟随放大器和驱动器。


4.根据权利要求1所述的一种静电状态的容量形状异变检测，其特征在于：所述静电状态的容量形状异变检测包括以下步骤：
S1：外管在滑动轴的在外周附近电容电压转换电路将滑动轴和电极之间的电容大小转换为交流电压幅度的大小，而相同的电容该配置设置有输出装置，该输出装置将电压转换电路的输出转换成滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄澄珵，黄新生，
申请(专利权)人：艾极倍特上海半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31