激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备技术方案

本发明专利技术提供一激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备，其中所述光学系统包括一分光组件，一光收发装置以及一光干涉组件。所述激光干涉仪包括一激光器、一光学系统、一探测器以及一壳体，其中所述激光器发射一激光，其中所述光学系统基于所述激光器发射的激光干涉得到一干涉光，其中所述探测器被接入至所述光学系统，由所述探测器基于所述干涉光束得到被测物体的探测数据信息，其中所述激光器、所述光学系统以及所述探测器被固定地设置于所述壳体。

【技术实现步骤摘要】
激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备
本专利技术涉及激光检测领域，尤其涉及一激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备。
技术介绍
几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。弯沉值是指在标准轴载作用下，路基或路面表面轮隙位置产生的总垂直变形(总弯沉)，或垂直回弹变形值(回弹弯沉)，公路弯沉值的大小是检测公路检验路基/路面的施工是否达到设计强度要求。现有技术的公路弯沉检测多采用落锤式弯沉仪或比贝克曼梁弯沉仪，落锤式弯沉仪相比贝克曼梁弯沉仪的检测精度高、体积小，但是落锤式弯沉仪和贝克曼梁弯沉仪一样，都需要定点测试，灵活性低。现有技术的公路弯沉检测需要停车在静止的状态下测试，而且必要情况下需要封闭交通，避免车辆的振动对检测设备的干扰，以便获取准确的检测数据。这无疑对交通造成干扰大，检测设备和测试人员安全性差，而且测试效率也低。落锤式弯沉仪测试过程中必须反复停车起步，对驾驶员的操作技术以及身体素质要求高。此外，落锤式弯沉仪主传感器必须连接电缆，落锤式弯沉仪测定受测试车与人为因素影响较大，且测试速度很慢本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学系统，用于一激光干涉仪，其包括一激光器，其特征在于，包括：/n分光组件，所述分光组件包括第一分光单元、第二分光单元和第三分光单元，所述第一分光单元被配置为将该激光器投射的光束分成检测光和参考光；所述检测光在所述光学系统内所经过的光路设定为检测光路，所述参考光在所述光学系统内经过的光路设定为参考光路，所述第二分光单元被设置于所述检测光路，被配置为将所述检测光分束为测量检测光和振动检测光，所述第三分光单元被设置于所述参考光路，被配置为将所述参考光分束为测量参考光和振动参考光；/n光收发装置，被配置为出射所述测量检测光至被测目标和接收所述测量检测光的反射光；以及/n干涉组件，所述干涉组件...

【技术特征摘要】
1.一种光学系统，用于一激光干涉仪，其包括一激光器，其特征在于，包括：
分光组件，所述分光组件包括第一分光单元、第二分光单元和第三分光单元，所述第一分光单元被配置为将该激光器投射的光束分成检测光和参考光；所述检测光在所述光学系统内所经过的光路设定为检测光路，所述参考光在所述光学系统内经过的光路设定为参考光路，所述第二分光单元被设置于所述检测光路，被配置为将所述检测光分束为测量检测光和振动检测光，所述第三分光单元被设置于所述参考光路，被配置为将所述参考光分束为测量参考光和振动参考光；
光收发装置，被配置为出射所述测量检测光至被测目标和接收所述测量检测光的反射光；以及
干涉组件，所述干涉组件包括第一干涉单元、一第二干涉单元以及第三干涉单元，其中，所述第一干涉单元，被配置为汇集所述测量检测光的反射光和测量参考光，以使得所述测量检测光的反射光和测量参考光在所述第一干涉单元处发生干涉，以形成检测干涉光；所述第二干涉单元，被配置为汇集所述振动检测光和所述振动参考光，以使得所述振动检测光和所述振动参考光在所述第二干涉单元处发生干涉，以形成振动干涉光；所述第三干涉单元，被配置为汇集所述检测干涉光和所述震动参考光，以使得所述检测干涉光和所述震动参考光在所述第三干涉单元处发生干涉，从而所述检测干涉光中与所述振动干涉光相同的振动信号被抵消。


2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述第一分光单元、所述第二分光单元以及所述第三分光单元为分束镜。


3.根据权利要求2所述的光学系统，进一步包括一第一偏振光学元件和一第二偏振光学元件，其中所述第一偏振光学元件被设置于所述第一分光单元和所述第二分光单元之间，并被配置为调整所述检测光的偏振方向，其中所述第二偏振光学元件被设置于所述第一分光单元和所述第三分光单元之间，并被配置为调整所述参考光的偏振方向。


4.根据权利要求2所述的光学系统，进一步包括一第一偏振光学元件和一调制器，其中所述第一偏振光学元件被设置于所述第一分光单元和所述第二分光单元之间，所述第一偏振光学元件调整入射至所述第二分光单元的光线的偏振方向，其中所述调制器被设置于所述第一分光单元和所述第三分光单元之间，所述调制器调整出射的所述测量参考光的频率和偏振方向。


5.根据权利要求3或4所述的光学系统，进一步包括一第三偏振光学元件，其中所述第三偏振光学元件被设置于所述第三分光单元，借以所述第三偏振光学元件调整所述测量参考光的偏振方向，使得进入到所述第一干涉单元的所述测量参考光和所述测量检测光的反射光线的偏振方向一致。


6.根据权利要求5所述的光学系统，其中所述第一偏振光学元件、所述第二偏振光学元件以及第三偏振光学元件为λ/2波片。


7.根据权利要求5所述的光学系统，其中所述第一干涉单元包括一第一光耦合元件、一第二光耦合元件以及一第一光合束元件，其中所述第一光耦合元件被耦接至所述光收发装置，所述第二光耦合元件被耦接至所述第三偏振光学元件，所述第一光耦合元件将所述测...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈汝霞，宋云峰，丁明昊，刘红魏，刘爽，尤凯，宋耀东，
申请(专利权)人：余姚舜宇智能光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33