差分干涉仪装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种差分干涉仪装置，包括光源；第一分光棱镜，用于对入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从第一表面出射出的光束，第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从第二表面出射出的光束；第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从第二表面出射出的光束，以及，基于第一波片、第二波片、第三波片、第一反射镜和第二反射镜的设置，以使得至少两条光束均照射至所述测量镜上。本发明专利技术提供的差分干涉仪装置所占空间较少，成本较低，集成度较高，调试难度较低。

【技术实现步骤摘要】
差分干涉仪装置
本专利技术涉及激光干涉仪，特别涉及一种差分干涉仪装置。
技术介绍
差分干涉仪作为一种超精密的非接触式测量设备，可以进行高速高精密的位移测量，其在半导体制造、精密机床加工、军事、航天、汽车制造、坐标测量等领域都具有非常广泛的应用。相关技术中，通常需要差分干涉仪具备垂向位移测量功能或转动位移测量功能。然而，相关技术中的具备垂向位移和转动位移测量功能的差分干涉仪的尺寸较大，所占空间也较大，成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种差分干涉仪装置，以解决现有的差分干涉仪装置所占空间较大，成本较高，调试难度和集成度较低的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种差分干涉仪装置，所述装置包括：光源，用于发出入射光；第一分光棱镜，用于接收光源发出的入射光，并对所述入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，并且所述第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从所述第一表面出射出的光束，所述第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种差分干涉仪装置，其特征在于，所述装置包括：/n光源，用于发出入射光；/n第一分光棱镜，用于接收光源发出的入射光，并对所述入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，并且所述第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；/n第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从所述第一表面出射出的光束，所述第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；/n第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从所述第二表面出射出的光束，所述第二方向与所述第一方向互为反方向；/n第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从所述第二表面出射出的光束，所述第三方向为第一分光棱镜对于入射光的透射方向；/n其中，第一波片、第二波片...

【技术特征摘要】
1.一种差分干涉仪装置，其特征在于，所述装置包括：
光源，用于发出入射光；
第一分光棱镜，用于接收光源发出的入射光，并对所述入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，并且所述第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；
第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从所述第一表面出射出的光束，所述第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；
第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从所述第二表面出射出的光束，所述第二方向与所述第一方向互为反方向；
第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从所述第二表面出射出的光束，所述第三方向为第一分光棱镜对于入射光的透射方向；
其中，第一波片、第二波片、第三波片用于偏转光束的偏振方向，第一反射镜和第二反射镜用于反射光束；以及基于第一波片、第二波片、第三波片、第一反射镜和第二反射镜的设置，以使得所述至少两条光束均照射至所述测量镜上。


2.如权利要求1所述的差分干涉仪装置，其特征在于，
所述光源发出的入射光照射至所述第一分光棱镜的入射点并进行分光；
其中，所述入射光中偏振方向与入射面垂直的第一光束，经由所述第一分光棱镜的第一表面以所述第一方向反射至所述第一波片和所述第一反射镜，以通过所述第一波片将第一光束的偏振方向偏转90°，并通过所述第一反射镜将第一光束以第二方向反射回所述第一表面，以及由第一反射镜反射回的第一光束从所述第一表面穿过至所述第二表面，并从所述第二表面以所述第二方向照射至所述第二波片和所述第二反射镜，以通过所述第二波片使第一光束的偏振方向偏转90°，以及通过所述第二反射镜将第一光束反射回所述第二表面，并通过所述第二表面将由第二反射镜反射回的第一光束以第三方向反射至所述第三波片和测量镜，以通过所述第三波片使所述第一光束的偏振方向偏转90°，并通过所述测量镜将第一光束反射回所述第二表面，由所述测量镜反射回的第一光束穿过所述第二表面至所述第一表面，以使第一光束从所述第一分光棱镜的出射点出射出；
其中，所述第一光束和所述第二光束经过所述第一反射镜或所述第二反射镜使所述出射点相对于所述入射点偏移。


3.如权利要求1所述的差分干涉仪装置，其特征在于，
所述光源发出的入射光照射至所述第一分光棱镜的入射点并进行分光；
其中，所述入射光中偏振方向与入射面平行的第二光束穿过所述第一分光棱镜的第一表面至第二表面，并以所述第三方向从所述第二表面透射至所述第三波片和所述测试镜，以通过所述第三波片使第二光束的偏振方向偏转90°，并通过所述测试镜将第二光束反射回所述第二表面，以及由测试镜反射回的第二光束经由所述第二表面以所述第二方向反射至所述第二波片和所述第二反射镜，以通过所述第二波片使第二光束的偏振方向偏转90°，并通过所述第二反射镜将第二光束以第一方向反射至所述第二表面，以及由第二反射镜反射回的第二光束穿过第二表面至第一表面并从所述第一表面以所述第一方向投射至所述第一波片和所述第一反射镜，以通过所述第一波片使所述第二光束的偏振方向偏转90°，并通过所述第一反射镜将第二光束反射至所述第一表面，并经由所述第一表面反射，使第二光束从所述第一分光棱镜的出射点反射出；
其中，所述第一光束和所述第二光束经过所述第一反射镜或所述第二反射镜使所述出射点相对于所述入射点偏移。


4.如权利要求1所述的差分干涉仪装置，其特征在于，所述测量镜被固定于待测物体上，以通过测量所述测量镜的位移确定所述待测物体的位移。


5.如权利要求1所述的差分干涉仪装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，揭小军，邹泽华，凡顺利，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31