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本发明提供一种差分干涉仪装置，包括光源；第一分光棱镜，用于对入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从第一表面出射出的光束，第一方向为第一分光棱镜对于...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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