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本发明提供一激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备,其中所述光学系统包括一分光组件,一光收发装置以及一光干涉组件。所述激光干涉仪包括一激光器、一光学系统、一探测器以及一壳体,其中所述激光器发射一激光,其中所述光学系统基于所述激光器...该专利属于余姚舜宇智能光学技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过余姚舜宇智能光学技术有限公司授权不得商用。
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