一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉技术

本发明专利技术公开了一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉，其中，所述方法包括在同一真空化学气相沉积炉内连续沉积ZnSe和ZnS，将装有固体锌料的坩埚加热至500～750℃，使锌升华产生锌蒸汽，然后将沉积室加热至650～800℃，通入硒化氢，开始沉积ZnSe，沉积完成后，停止通入硒化氢，沉积室降温至600～750℃，通入硫化氢气体，开始沉积ZnS，整个沉积过程载流气体的流量保持不变，沉积完成后进行升温退火处理，出炉即得ZnSe/ZnS红外复合材料。本发明专利技术有效缩短了ZnSe/ZnS红外复合材料的生产周期，简化了生产工艺，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉
本专利技术属于红外光学材料
，具体涉及一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉。
技术介绍
ZnSe与ZnS同属Ⅱ-Ⅵ族化合物，目前主要使用化学气相沉积(chemicalvapordeposition，CVD)方法生长，CVDZnS和CVDZnSe已成为应用非常广泛的长波红外窗口和光学材料。CVDZnSe与CVDZnS不仅在制备方法上相似，而且具有许多相近似的性能。在光学性能方面，CVDZnSe红外透过波段比CVDZnS宽，特别是在12μm以外的长波区，它具备吸收系数小、高温下折射率变化小等优点，而且CVDZnSe比CVDZnS更容易生长出结构均匀、无散射的光学材料。在力学性能方面，CVDZnS的断裂强度和硬度都比CVDZnSe高。因此提出了将CVDZnS足够的耐侵蚀、抗断裂强度和硬度等和CVDZnSe优异的光学性能有机结合起来制备ZnSe/ZnS红外复合材料。直到目前，获得ZnSe/ZnS红外复合材料的方法中，基本都是先将ZnSe材料通过化学气相沉积法生长出来，在对ZnSe材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备红外复合材料的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤一、沉积ZnSe：/na)将固体锌料装入化学气相沉积器的坩埚中，然后将化学气相沉积器安装于真空化学气相沉积炉内，合炉，通入载流气体，维持炉内压力在2000～10000Pa；/nb)沉积室和坩埚热场升温，坩埚升温至锌的升华温度500～750℃，沉积室升温至ZnSe的沉积温度650～800℃；/nc)坩埚中锌的升华速率稳定后，通入硒化氢气体，进行化学气相沉积ZnSe；/nd)待ZnSe沉积到所需厚度时，停止通入硒化氢气体，载流气体的流量保持不变，将沉积室降温到ZnS的沉积温度600～750℃；/n步骤二、沉积ZnS：/n通入硫化氢气...

【技术特征摘要】
1.一种制备红外复合材料的方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、沉积ZnSe：
a)将固体锌料装入化学气相沉积器的坩埚中，然后将化学气相沉积器安装于真空化学气相沉积炉内，合炉，通入载流气体，维持炉内压力在2000～10000Pa；
b)沉积室和坩埚热场升温，坩埚升温至锌的升华温度500～750℃，沉积室升温至ZnSe的沉积温度650～800℃；
c)坩埚中锌的升华速率稳定后，通入硒化氢气体，进行化学气相沉积ZnSe；
d)待ZnSe沉积到所需厚度时，停止通入硒化氢气体，载流气体的流量保持不变，将沉积室降温到ZnS的沉积温度600～750℃；
步骤二、沉积ZnS：
通入硫化氢气体，在ZnSe上沉积ZnS，直至ZnS的沉积厚度达到3mm以上；
步骤三、退火处理：
将坩埚的温度降至400℃以下，停止锌的升华，停止通入硫化氢气体，载流气体的流量保持不变，将沉积室的温度升高50～100℃，然后保温20～50h进行退火，保温完成后，将沉积室的温度降至室温，出炉，即得ZnSe/ZnS红外复合材料。


2.如权利要求1所述的制备红外复合材料的方法，其特征在于，所述步骤b)中，坩埚升温的速率为0.4～5℃/min，沉积室升温的速率为0.1～4℃/min。


3.如权利要求1所述的制备红外复合材料的方法，其特征在于，所述步骤d)中，沉积室降温的速率为0.1～1.0℃/m...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘羊，于金凤，王和风，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44