一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，其技术方案是：包括研磨混料仓，研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，研磨混料仓顶部设有电机，电机两侧均设有进料漏斗，进料漏斗底部固定连接有进料管道，进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，进料管道一侧固定连接有密封阀，研磨混料仓内侧设有研磨混合机构，一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置的有益效果是：提升了生产的钼铌合金靶材质量，降低了成本浪费，避免了现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置
本专利技术涉及钼铌合金靶材
，具体涉及一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置。
技术介绍
钼铌合金材料由于其优异的导电，抗氧化性能以及较低的镀膜应力，在LCD生产中作为重要的配线用靶材有广泛的应用。且随着国内外LCD液晶电视，平板电脑，手机等产业的不断发展，高性能钼铌合金需求量与日俱增。该材料在使用过程中要求合金纯度高，靶材密度高，要求相对密度大于96.0％，晶粒均匀。现有技术存在以下不足：在实际生产中由于钼铌合金均一般属于置换固溶体合金，通常采用冷等静压和热等静压烧结制备，但是钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒大小相差较大，在混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，使得烧结后板材密度较低，相对密度小于95％，生产的钼铌合金靶材质量较差，生产效率较低，所以使用一般的静压制和烧结方法生产的钼铌合金难以满足溅射靶材用钼铌合金靶材的生产要求，从而造成了成本的浪费。因此，专利技术一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置来解决上述问题是很有必要的。
技术实现思路
为此，本专利技术提供一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，通过设置研磨混合机构来对钼金属粉末和铌金属粉末进行研磨混合以利于对其进行冷等静压操作，以解决现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，包括研磨混料仓，所述研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，所述研磨混料仓顶部设有电机，所述电机两侧均设有进料漏斗，所述进料漏斗底部固定连接有进料管道，所述进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，所述进料管道一侧固定连接有密封阀，所述研磨混料仓内侧设有研磨混合机构；所述研磨混合机构包括研磨仓和弧形过滤网，所述研磨仓位于研磨混料仓内侧顶部，所述研磨仓顶部固定连接有环形连接板，所述研磨混料仓顶部内侧固定连接有限位滑框，所述限位滑框底部与环形连接板顶部固定连接，所述弧形过滤网位于研磨仓底部，所述研磨仓与弧形过滤网固定连接，所述弧形过滤网底部表面开设有第一贯穿孔，所述研磨仓内侧设有研磨球，所述电机输出端固定连接有螺旋竖杆，所述螺旋竖杆贯穿研磨混料仓顶部与研磨球固定连接，所述螺旋竖杆贯穿研磨球与第一贯穿孔活动套接，所述研磨仓底部设有活动筛选组件，所述研磨混料仓内侧底部设有搅拌混合组件。优选的，所述活动筛选组件包括活动方板和限位横板，所述活动方板位于研磨仓底部，所述活动方板与研磨混料仓内侧滑动连接，所述活动方板顶部表面开设有圆形槽，所述圆形槽内侧设有第一过滤网，所述第一过滤网与活动方板固定连接，所述第一过滤网顶部外侧固定连接有环形挡板，所述限位横板的数量设置为两个，两个所述限位横板分别位于环形挡板顶部两侧。优选的，所述限位横板底部两端均固定连接有限位弹簧，所述限位弹簧底部设有限位竖杆，所述限位竖杆顶部固定连接有环形限位板。优选的，所述第一过滤网顶部表面开设有第二贯穿孔，所述第二贯穿孔内侧设有活动螺套，所述活动螺套与第一过滤网固定连接，所述螺旋竖杆贯穿活动螺套且与活动螺套螺纹连接。优选的，所述搅拌混合组件包括混合仓、第一搅拌杆和第二搅拌杆，所述混合仓位于研磨混料仓内侧底部，所述混合仓顶部外侧固定连接有连接方板，所述连接方板与研磨混料仓固定连接，所述连接方板顶部固定连接有防护板。优选的，所述混合仓底部表面开设有限位槽，所述限位槽内侧设有第二过滤网，所述第二过滤网与混合仓固定连接，所述第一搅拌杆和第二搅拌杆的数量均设置为多个，多个所述第一搅拌杆位于螺旋竖杆底部外侧且呈圆周阵列分布，所述第二搅拌杆位于第一搅拌杆顶部，多个所述第二搅拌杆位于螺旋竖杆底部外侧且呈圆周阵列分布。优选的，所述第一搅拌杆和第二搅拌杆均与螺旋竖杆固定连接，所述第一搅拌杆底部固定连接有活动刮杆，所述活动刮杆与混合仓内侧滑动连接。优选的，所述研磨混料仓底部一侧设有冷等静压机本体，所述冷等静压机本体顶部一侧开设有进料槽，所述研磨混料仓底部表面开设有出料槽，所述冷等静压机本体顶部一侧设有出料管道，所述出料管道顶部通过出料槽与研磨混料仓相连通，所述出料管道底部通过进料槽与冷等静压机本体相连通。一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法，具体步骤如下：S1加入粉末：首先将钼金属粉末加入其中一个进料漏斗中，钼金属粉末落入进料管道，再从进料管道进入研磨混料仓内侧的研磨混料仓内，将铌金属粉末加入另一个进料漏斗中，铌金属粉末落入进料管道，再从进料管道进入研磨混料仓内侧的研磨混料仓内，钼金属粉末和铌金属粉末分别从限位滑框内部两侧滑落至研磨仓内。S2研磨粉末：启动电机，电机开始运转，电机输出端带动螺旋竖杆旋转，螺旋竖杆带动研磨球在研磨仓内旋转，通过研磨球对钼金属粉末和铌金属粉末的混合固体颗粒进一步地进行研磨粉碎，使得研磨后的钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒变小且大小均匀。S3筛选粉末：研磨后的钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒通过弧形过滤网落入第一过滤网上，与此同时，螺旋竖杆旋转带动活动螺套发生上下往复运动，活动螺套带动活动方板在研磨混料仓内侧滑动，活动方板带动第一过滤网运动，第一过滤网带动环形限位板运动，第一过滤网带动钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒发生上下往复运动，当活动方板向上运动时，活动方板带动限位竖杆运动，限位竖杆带动环形挡板运动，环形挡板接触到限位弹簧，环形挡板挤压限位弹簧，限位弹簧发生弹性形变被压缩，对活动方板产生一定的缓冲，当活动方板向下运动时，活动方板与防护相互接触产生一定的抖动，将活动方板中部第一过滤网上的钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒抖落至混合仓中。S4混合粉末：螺旋竖杆旋转带动第一搅拌杆和第二搅拌杆同时发生旋转，第一搅拌杆和第二搅拌杆对混合仓内的钼铌混合金属粉末进行搅拌混合，第一搅拌杆带动活动刮杆围绕螺旋竖杆发生旋转，活动刮杆在混合仓内壁旋转。S5冷等静压：混合后的钼铌混合金属粉末通过第二过滤网落入出料管道中，通过出料管道进入冷等静压机本体进行冷等静压操作。S6打磨机加工：将步骤5所压制的钼铌合金靶材坯体经过加工车床将压坯外缘及端面修整平齐。S7热等静压烧结：将步骤6所制的钼铌合金靶材坯体放入热等静压机内，处于真空状态，然后对其进行加热，焊封好密封口后进行热等静压处理，烧结成钼铌合金靶材。本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过设置研磨混合机构来对钼金属粉末和铌金属粉末进行研磨混合以利于对其进行冷等静压操作，首先将钼金属粉末和铌金属粉末分别通过两个进料漏斗加入研磨仓内，接着启动电机带动螺旋竖杆和研磨球旋转，通过研磨球对钼金属粉末和铌金属粉末的混合固体颗粒进行研磨，研磨后的钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒变小且均匀，通过弧形过滤网落入第一过滤网上进行下一步操作，本专利技术结构合理，条理清晰，提升了生产的钼铌合金靶材质本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，包括研磨混料仓(1)，其特征在于：所述研磨混料仓(1)底部两端均固定连接有支撑斜板(2)，所述研磨混料仓(1)顶部设有电机(3)，所述电机(3)两侧均设有进料漏斗(4)，所述进料漏斗(4)底部固定连接有进料管道(5)，所述进料管道(5)与研磨混料仓(1)顶部固定连接，所述进料管道(5)一侧固定连接有密封阀，所述研磨混料仓(1)内侧设有研磨混合机构；/n所述研磨混合机构包括研磨仓(6)和弧形过滤网(7)，所述研磨仓(6)位于研磨混料仓(1)内侧顶部，所述研磨仓(6)顶部固定连接有环形连接板，所述研磨混料仓(1)顶部内侧固定连接有限位滑框(8)，所述限位滑框(8)底部与环形连接板顶部固定连接，所述弧形过滤网(7)位于研磨仓(6)底部，所述研磨仓(6)与弧形过滤网(7)固定连接，所述弧形过滤网(7)底部表面开设有第一贯穿孔，所述研磨仓(6)内侧设有研磨球(10)，所述电机(3)输出端固定连接有螺旋竖杆(9)，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨混料仓(1)顶部与研磨球(10)固定连接，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨球(10)与第一贯穿孔活动套接，所述研磨仓(6)底部设有活动筛选组件，所述研磨混料仓(1)内侧底部设有搅拌混合组件。/n...

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，包括研磨混料仓(1)，其特征在于：所述研磨混料仓(1)底部两端均固定连接有支撑斜板(2)，所述研磨混料仓(1)顶部设有电机(3)，所述电机(3)两侧均设有进料漏斗(4)，所述进料漏斗(4)底部固定连接有进料管道(5)，所述进料管道(5)与研磨混料仓(1)顶部固定连接，所述进料管道(5)一侧固定连接有密封阀，所述研磨混料仓(1)内侧设有研磨混合机构；
所述研磨混合机构包括研磨仓(6)和弧形过滤网(7)，所述研磨仓(6)位于研磨混料仓(1)内侧顶部，所述研磨仓(6)顶部固定连接有环形连接板，所述研磨混料仓(1)顶部内侧固定连接有限位滑框(8)，所述限位滑框(8)底部与环形连接板顶部固定连接，所述弧形过滤网(7)位于研磨仓(6)底部，所述研磨仓(6)与弧形过滤网(7)固定连接，所述弧形过滤网(7)底部表面开设有第一贯穿孔，所述研磨仓(6)内侧设有研磨球(10)，所述电机(3)输出端固定连接有螺旋竖杆(9)，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨混料仓(1)顶部与研磨球(10)固定连接，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨球(10)与第一贯穿孔活动套接，所述研磨仓(6)底部设有活动筛选组件，所述研磨混料仓(1)内侧底部设有搅拌混合组件。


2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述活动筛选组件包括活动方板(11)和限位横板(12)，所述活动方板(11)位于研磨仓(6)底部，所述活动方板(11)与研磨混料仓(1)内侧滑动连接，所述活动方板(11)顶部表面开设有圆形槽(13)，所述圆形槽(13)内侧设有第一过滤网(14)，所述第一过滤网(14)与活动方板(11)固定连接，所述第一过滤网(14)顶部外侧固定连接有环形挡板(15)，所述限位横板(12)的数量设置为两个，两个所述限位横板(12)分别位于环形挡板(15)顶部两侧。


3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述限位横板(12)底部两端均固定连接有限位弹簧(16)，所述限位弹簧(16)底部设有限位竖杆(17)，所述限位竖杆(17)顶部固定连接有环形限位板(18)。


4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述第一过滤网(14)顶部表面开设有第二贯穿孔(19)，所述第二贯穿孔(19)内侧设有活动螺套(20)，所述活动螺套(20)与第一过滤网(14)固定连接，所述螺旋竖杆(9)贯穿活动螺套(20)且与活动螺套(20)螺纹连接。


5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述搅拌混合组件包括混合仓(21)、第一搅拌杆(26)和第二搅拌杆(27)，所述混合仓(21)位于研磨混料仓(1)内侧底部，所述混合仓(21)顶部外侧固定连接有连接方板(22)，所述连接方板(22)与研磨混料仓(1)固定连接，所述连接方板(22)顶部固定连接有防护板(23)。


6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述混合仓(21)底部表面开设有限位槽(24)，所述限位槽(24)内侧设有第二过滤网(25)，所述第二过滤网(25)与混合仓(21)固定连接，所述第一搅拌杆(26)和第二搅拌杆(27)的数量均设置为多个，多个所述第一搅拌杆(26)位于螺旋竖杆(9)底部外侧且呈圆周阵列分布，所述第二搅拌杆(27)位于第一搅拌杆(26)顶部，多个所述第二搅拌杆(27)位于螺旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆有军，高杰，刘洋，林立群，刘乡，万治清，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：发明
国别省市：宁夏;64