一种夹具及激光标记系统技术方案

本发明专利技术属于激光标记技术领域，涉及一种夹具及激光标记系统，该夹具包括夹紧件、旋转装置、压紧件和第一升降组件；夹紧件上设置有打标部和支撑部，夹紧件用于放置待夹紧工件；旋转装置用于驱动夹紧件以夹紧件的中心轴为中心进行旋转；压紧件位于夹紧件的上方，且第一升降组件用于驱动压紧件靠近或者远离夹紧件，压紧件靠近夹紧件时能够与夹紧件配合共同夹紧待夹紧工件。该夹具及激光标记系统提供的技术方案能够对待夹紧工件如晶圆进行稳固夹紧，且能够有效避免待夹紧工件如晶圆变形导致定位不准、标记精度和质量均较差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种夹具及激光标记系统
本专利技术涉及激光标记
，尤其涉及一种夹具及激光标记系统。
技术介绍
随着晶圆的广泛使用，传统的晶圆标记方法如：气动冲针、丝网印刷、机械压痕、喷墨打印、化学腐蚀等，由于这些加工方式都存在着不同的缺陷与不足，使得激光标记日渐成为当今晶圆标记的主流。激光标记是利用高能量密度的激光对工件表面进行局部照射，使得表层材料气化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记的一种打标方法。在目前使用的晶圆激光标记系统中，夹紧晶圆的夹具存在着较大的缺陷，其只能利用晶圆的最外侧边缘部分支撑在打标夹具上，为了不遮挡住标记区域，晶圆的中间大部分为悬空，而且由于晶圆制作工艺的影响造成晶圆本身存在变形，使得夹具上的晶圆整体变形较大，给晶圆的定位、打标精度、质量和速度都带来了较大影响。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种夹具及激光标记系统，用以解决现有晶圆激光标记系统中晶圆在标记过程中容易出现变形导致的晶圆定位不准、标记精度和质量均较差的技术问题。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种夹具，采用了如下所述的技术方案：该夹具包括：夹紧件、旋转装置、压紧件和第一升降组件；所述夹紧件上设置有打标部和支撑部，所述夹紧件用于放置待夹紧工件；所述旋转装置用于驱动所述夹紧件以所述夹紧件的中心轴为中心进行旋转；所述压紧件位于所述夹紧件的上方，且所述第一升降组件用于驱动所述压紧件靠近或者远离所述夹紧件，所述压紧件靠近所述夹紧件时能够与所述夹紧件配合共同夹紧待夹紧工件。在一些实施例中，所述夹紧件上开设有通孔，所述通孔为所述打标部。在一些实施例中，所述支撑部上开设有真空吸附孔，所述真空吸附孔用于吸附所述待夹紧工件。在一些实施例中，所述第一升降组件包括第一升降驱动装置和直线导向组件；所述第一升降驱动装置能够驱动所述压紧件沿所述直线导向组件做直线运动。在一些实施例中，所述直线导向组件包括导向件和导向套；沿所述压紧件移动方向，所述导向件竖直设置，所述导向套设置于所述压紧件上，所述导向件滑动插接于所述导向套中。在一些实施例中，所述第一升降组件和所述压紧件均设置有两个，且所述第一升降组件与所述压紧件一一对应设置；两个所述第一升降组件分设于所述压紧件的两端。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例还提供了一种激光标记系统，采用如下所述的技术方案：所述激光标记系统包括移动组件、激光组件、机架以及上述的夹具；所述移动组件和所述夹具均设置于所述机架上，所述激光组件设置于所述移动组件上并由所述移动组件带动移动；所述夹具位于所述激光组件的上方，且夹紧于所述夹具的待夹紧工件朝向所述激光组件。在一些实施例中，所述激光标记系统还包括第一视觉系统和第二视觉系统；所述第一视觉系统和所述第二视觉系统均设置于所述移动组件上并由所述移动组件带动移动；所述第一视觉系统位于所述夹具的上方，用以对夹紧于夹具的待夹紧工件进行视觉定位；所述第二视觉系统位于所述夹具的下方，用以对夹紧于所述夹具的待夹紧工件的标记内容进行内容偏差检测。在一些实施例中，所述移动组件包括第一平移装置和第二平移装置；所述第一平移装置沿第一方向设置，所述第二平移装置沿第二方向滑动设置于所述第一平移装置上，所述激光组件滑动设置于所述第二平移装置上；所述第一平移装置用于带动所述第二平移装置在第一方向上直线移动，所述第二平移装置用于带动所述激光组件在第二方向上直线移动，且所述第一方向和所述第二方向相交。在一些实施例中，所述激光标记系统还包括第二升降组件；所述第二升降组件设置于所述移动组件上，且所述第二升降组件用于驱动所述激光组件在竖直方向上靠近或者远离所述夹具。与现有技术相比，本专利技术实施例提供的夹具及激光标记系统主要有以下有益效果：该夹具通过第一升降组件驱动压紧件靠近或者远离夹紧件能够对待夹紧工件进行稳固夹紧或松开，操作简单便捷；通过夹紧件上设置打标部和支撑部，其中夹紧件的支撑部能够对待夹紧工件如晶圆未打标的区域进行稳固支撑，能够有效避免待夹紧工件如晶圆未打标的区域的中间大部分悬空导致晶圆变形，打标部能够使待夹紧工件如晶圆的打标的区域在进行标记时激光能够顺利通过并进行激光标记，旋转装置能够带动夹紧件的打标部和支撑部旋转以进行位置变动，从而能够对待夹紧工件如晶圆的不同部位的位置进行具体标记。总之，该夹具具有结构简单，能够对待夹紧工件如晶圆进行稳固夹紧，且能够有效避免待夹紧工件如晶圆变形导致定位不准、标记精度和质量均较差的问题。附图说明为了更清楚地说明本专利技术中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：图1是本专利技术一个实施例中夹具的立体结构示意图；图2是图1中夹具的夹紧件的结构示意图；图3是本专利技术一个实施例中激光标记系统的立体结构示意图；图4是图3中激光标记系统的部分结构示意图；图5是图3中激光标记系统的另一部分结构示意图。附图中的标号如下：1000、激光标记系统；100、夹具；1、夹紧件；11、打标部/通孔；12、支撑部；121、真空吸附孔；2、旋转装置；3、压紧件；4、第一升降组件；41、升降驱动装置；42、直线导向组件；421、导向件；200、移动组件；210、第一平移装置；220、第二平移装置；230、第二升降组件；300、激光组件；310、激光发生装置；320、振镜扫描系统；400、机架；410、基座；420、龙门架；500、第一视觉系统；600、第二视觉系统。700、第三升降组件。具体实施方式除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本专利技术
的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本专利技术的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本专利技术的至少一个实施例中。在说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹具，其特征在于，所述夹具包括夹紧件、旋转装置、压紧件和第一升降组件；/n所述夹紧件上设置有打标部和支撑部，所述夹紧件用于放置待夹紧工件；所述旋转装置用于驱动所述夹紧件以所述夹紧件的中心轴为中心进行旋转；所述压紧件位于所述夹紧件的上方，且所述第一升降组件用于驱动所述压紧件靠近或者远离所述夹紧件，所述压紧件靠近所述夹紧件时能够与所述夹紧件配合共同夹紧待夹紧工件。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，所述夹具包括夹紧件、旋转装置、压紧件和第一升降组件；
所述夹紧件上设置有打标部和支撑部，所述夹紧件用于放置待夹紧工件；所述旋转装置用于驱动所述夹紧件以所述夹紧件的中心轴为中心进行旋转；所述压紧件位于所述夹紧件的上方，且所述第一升降组件用于驱动所述压紧件靠近或者远离所述夹紧件，所述压紧件靠近所述夹紧件时能够与所述夹紧件配合共同夹紧待夹紧工件。


2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹紧件上开设有通孔，所述通孔为所述打标部。


3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支撑部上开设有真空吸附孔，所述真空吸附孔用于吸附所述待夹紧工件。


4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第一升降组件包括第一升降驱动装置和直线导向组件；所述第一升降驱动装置能够驱动所述压紧件沿所述直线导向组件做直线运动。


5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述直线导向组件包括导向件和导向套；沿所述压紧件移动方向，所述导向件竖直设置，所述导向套设置于所述压紧件上，所述导向件滑动插接于所述导向套中。


6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第一升降组件和所述压紧件均设置有两个，且所述第一升降组件与所述压紧件一一对应设置；两个所述第一升降组件分设于所述压紧件的两端。


7.一种激光标记系统，其特征在于，所述激光标...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兵，黄政，郑盼，陈兆华，李荣广，廖奎宇，温尧明，覃忠贤，焦波，谢圣君，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44