一种用于镀膜机的控温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉，所述真空炉的内部底表面设置有蒸发源，所述真空炉的一侧内壁设置有第一加热器，所述真空炉的另一侧内壁设置有第二加热器，所述真空炉的内部上侧位置设置有第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器上均等距设置有多个加热管，所述第三加热器的下方设置有基片，所述真空炉的内壁对应基片的下表面后侧设置有多个膜厚仪，所述真空炉的内部顶表面设置有温度感应器，所述真空炉的外表面一侧连接有控制器。本实用新型专利技术中，炉内设有三个加热器，各加热器均由独立的加热管组成，实现不同区域温度独立控制，配合膜厚仪检测基片各位置镀膜厚度实现相应的控制作业，保证基片表面镀膜均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜机的控温装置
本技术涉及镀膜机领域，尤其涉及一种用于镀膜机的控温装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。一般真空镀膜机的原理设置相同，在炉内设置一个热源提供相应的加热作业，但是因为蒸发源的面积不可能控制与基片的大小相同，在加热时如果不对各区域进行独立的温度控制，受离子溅射的范围影响，不能够保证基片表面镀膜均匀，整体温度控制精度也无法提高，从而降低了整体的镀膜效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于镀膜机的控温装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉，所述真空炉的内部底表面设置有蒸发源，所述真空炉的一侧内壁设置有第一加热器，所述真空炉的另一侧内壁设置有第二加热器，所述真空炉的内部上侧位置设置有第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器上均等距设置有多个加热管，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉(1)，其特征在于：所述真空炉(1)的内部底表面设置有蒸发源(2)，所述真空炉(1)的一侧内壁设置有第一加热器(3)，所述真空炉(1)的另一侧内壁设置有第二加热器(4)，所述真空炉(1)的内部上侧位置设置有第三加热器(5)，所述第一加热器(3)、第二加热器(4)和第三加热器(5)上均等距设置有多个加热管(10)，所述第三加热器(5)的下方设置有基片(6)，所述真空炉(1)的内壁对应基片(6)的下表面后侧设置有多个膜厚仪(7)，所述真空炉(1)的内部顶表面设置有温度感应器(8)，所述真空炉(1)的外表面一侧连接有控制器(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉(1)，其特征在于：所述真空炉(1)的内部底表面设置有蒸发源(2)，所述真空炉(1)的一侧内壁设置有第一加热器(3)，所述真空炉(1)的另一侧内壁设置有第二加热器(4)，所述真空炉(1)的内部上侧位置设置有第三加热器(5)，所述第一加热器(3)、第二加热器(4)和第三加热器(5)上均等距设置有多个加热管(10)，所述第三加热器(5)的下方设置有基片(6)，所述真空炉(1)的内壁对应基片(6)的下表面后侧设置有多个膜厚仪(7)，所述真空炉(1)的内部顶表面设置有温度感应器(8)，所述真空炉(1)的外表面一侧连接有控制器(9)。


2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜机的控温装置，其特征在于：所述蒸发源(2)固定连接在真空炉(1)的内部底表面中间位置。


3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜机的控温装置，其特征在于：所述第一加热器(3)和第二加热器(4)在真空炉(1)的内部两侧呈相对设置，所述第一加热器(3)和第二加热器(4)的上端面高于基片(6)的底表面所在面。


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【专利技术属性】
技术研发人员：莫勇，
申请(专利权)人：重庆亿博光电仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50