一种用于坩埚材料消耗的监控设备制造技术

本实用新型专利技术公布一种用于坩埚材料消耗的监控设备，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。上述技术方案中监控设备对工作人员起到预警的作用，保障了蒸镀速率的稳定，避免基板上的膜质出现异常，提高产品的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于坩埚材料消耗的监控设备
本技术涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于坩埚材料消耗的监控设备。
技术介绍
目前制备有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，缩写OLED)器件普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，真空热蒸镀技术是指在低于5×10-5Pa的真空环境下，通过电阻丝加热或者热辐射加热的方式使有机小分子材料升华或者熔融气化成蒸汽的状态，高速运动的气态分子材料到达玻璃基板并在基板上沉积固化，形成固体薄膜。现在采用的蒸发源为点源坩埚和线源坩埚，点源坩埚多为圆柱形坩埚，线源坩埚多为长方体形坩埚。蒸镀材料加入在坩埚源中，随着蒸镀时间越来越长，蒸镀材料越来越少，需要定期或者定量增加蒸镀材料，以保障设备正常运行。当蒸镀材料的剩余量过少时，蒸镀速率会受到影响，蒸镀薄膜的膜质变差，会直接影响产品的亮度和寿命。
技术实现思路
为此，需要提供一种用于坩埚材料消耗的监控设备，解决监控坩埚内蒸镀材料不到位的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种用于坩埚材料消耗的监控设备，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于坩埚材料消耗的监控设备，其特征在于，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；/n所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；/n在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于坩埚材料消耗的监控设备，其特征在于，包括坩埚固定装置、弹性装置、传感器和信号发射器；
所述坩埚固定装置为中空结构且顶部具有开口，所述坩埚固定装置的内部用于放置坩埚，所述坩埚固定装置与弹性装置连接，所述弹性装置的伸缩方向为上下走向；
在所述坩埚固定装置的外侧壁上设置有所述信号发射器，在所述坩埚固定装置外设置有所述传感器，所述传感器位于所述信号发射器的一侧，所述传感器用于在信号发射器进入到传感器的感应区域内发出信号。


2.根据权利要求1所述的一种用于坩埚材料消耗的监控设备，其特征在于，所述坩埚固定装置的顶部连接有所述弹性装置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：温质康，林佳龙，乔小平，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35