一种真空阀门制造技术

本发明专利技术公开了一种真空阀门，涉及半导体生产技术领域。该真空阀门用于控制两个腔室之间的开闭，包括壳体、门板、弹性连接件、传动件及驱动件。所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；所述门板滑动设置于所述壳体内，用于打开或关闭所述开口；所述弹性连接件弹性连接两块所述门板；所述传动件一端伸入所述壳体，所述传动件能够改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘。该真空阀门不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，且对零件的加工精度不敏感。

【技术实现步骤摘要】
一种真空阀门
本专利技术涉及真空装置
，尤其涉及一种真空阀门。
技术介绍
在半导体和液晶显示领域中，许多处理工艺(例如干刻蚀工艺、灰化工艺、薄膜沉积工艺等)都需要在高洁净度、高真空度下进行，因此相应制造需采用真空设备装置。现有的真空设备一般包括用以执行不同工序的多个腔室,在生产过程中，不同工序的腔室之间需要保持相对的独立性，以保证各工序的生产环境达到标准。真空阀门主要用于真空设备中腔室与腔室之间的连接。具体地,通过操控真空阀门的开、关状态可以实现两个真空腔室之间的连通和隔离，在阀门处于关闭状态时，两个腔室的气压不会相互影响，保证了各个腔室之间的相互隔离可独立运行；在阀门处于打开状态时，此时腔室之间相互连通，可进行制品传递等工作。阀门是半导体设备各腔室连接必不可少的密封设备，即保证了制品在不同腔室中操作的便利性，又保证了各真空腔室的真空度和相对独立的控制需求。现有的真空阀门，连杆之间的尺寸精度严重密制约阀门的密封效果，因而对零件的加工要求较高，且零件组装及更换保养复杂。针对上述问题，需要开发一种真空阀门，以解决维护更换复杂且对零件的加工精度要求较高导致成本升高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种真空阀门，不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，同时避免了连杆之间的摩擦导致的颗粒，提高了腔室中的洁净度。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种真空阀门，用于控制两个腔室之间的开闭，包括：具有空腔的壳体，所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；两块门板，所述门板设置于所述壳体的空腔内，所述门板与所述开口一一对应，每个所述门板用于打开或关闭相应的所述开口，至少一块所述门板上设置密封圈安装槽，且所述密封圈安装槽配置于所述门板朝向所述开口的侧面上；弹性连接件，所述弹性连接件位于所述两块门板中间，并与两块所述门板固定连接，所述弹性连接件可以沿第二方向弹性伸缩；传动件，所述传动件与所述弹性连接件紧密贴合，所述传动件可以支撑所述弹性连接件，还可以沿第一方向或第一方向的反方向相对于所述弹性连接件做相对运动，同时改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘，所述第一方向垂直于所述第二方向；驱动件，所述驱动件的输出轴与所述传动件固定连接，并相互配合以控制所述门板打开或关闭相应的所述开口，其中，所述驱动件的输出轴可以沿第一方向或第一方向的反方向移动，从而带动所述传动件和所述门板一同沿所述第一方向或第一方向的反方向运动。优选地，所述弹性连接件包括若干相互分离的弹性片，其中一部分所述弹性片构成第一弹性片组，另一部分所述弹性片构成第二弹性片组，所述第一弹性片组用于连接其中一块所述门板，所述第二弹性片组用于连接另一块所述门板；所述第一弹性片组和所述第二弹性片组沿第二方向伸缩并分别夹持在所述传动件相对的两侧；所述驱动件驱动所述传动件沿第一方向并贴合于所述第一弹性片组和所述第二弹性片组运动，以改变所述第一弹性片组和所述第二弹性片组沿第二方向的伸缩量。优选地，所述弹性连接件包括三片依次相互分离的弹性片，其中第一片和第三片所述弹性片构成所述第一弹性片组，第二片所述弹性片构成所述第二弹性片组。优选地，所述弹性连接件还包括顶部的抵接面，阀门关闭时，所述驱动件驱动所述传动件以带动所述门板沿所述第一方向移动至相应所述开口处，所述顶部抵接面触及所述壳体空腔的顶壁，以约束所述门板于所述第一方向的位置。优选地，所述传动件的自由端开具若干个通孔，若干个所述通孔沿所述第一方向排列，所述通孔内设置有驱动球；所述驱动件驱动所述传动件沿第一方向运动过程中，所述驱动球滚动接触所述门板。优选地，所述门板靠近所述弹性连接件的一侧设置有若干个限位槽，所述若干个限位槽沿所述第一方向排列，所述限位槽内设置有至少两个导向球，所述导向球的至少一部分突出于所述限位槽的开口面，可与所述驱动球形成双球面滚动接触。优选地，所述传动件靠近两个所述门板的相对两侧设置有若干个凹槽，所述若干个凹槽沿所述第一方向排列，所述凹槽与所述通孔、所述限位槽一一对应设置，当所述驱动球与所述导向球双球面滚动接触时，所述凹槽用以容纳所述导向球突出于所述限位槽开口面的部分。优选地，所述若干个通孔、所述若干个限位槽以及所述若干个凹槽均沿所述第一方向呈多列排布。优选地，还包括若干个所述传动件，若干个所述传动件沿门板的长度方向排布设置。优选地，所述驱动球与所述导向球双球面滚动接触时，所述驱动球和所述导向球的球心连线与所述传动件移动的第一方向的夹角为θ，且θ大于45°。本专利技术的有益效果：本专利技术提供了一种真空阀门。该装置中，门板能够在壳体中移动，当需要打开真空阀门使其连接的两个腔室连通时，只需要利用驱动件驱动门板远离开口，即可使开口打开，便于两个腔室之间物品的传递。当需要对两个腔室进行密封隔离时，利用驱动件将门板驱动到开口处，并通过传动件改变弹性连接件沿第二方向的弹性伸缩量，使门板抵紧在相应开口的边缘上，即可实现关闭开口，使两个腔室的气压不会相互影响，保证生产的顺利进行，同时解决了现有阀门因连杆之间的摩擦容易产生过多的颗粒，影响腔室中的洁净度的问题。附图说明图1是本专利技术提供的壳体的结构示意图；图2是本专利技术提供的门板、传动件及气缸的结构示意图；图3是本专利技术提供的弹性连接件的结构示意图；图4是本专利技术提供的弹性连接件及门板的结构示意图；图5是本专利技术提供的壳体的正视图；图6是本专利技术图5中A-A处的剖视图；图7是本专利技术图6中B处的局部放大图；图8是本专利技术提供的门板的结构示意图；图9是本专利技术提供的门板的正视图；图10是本专利技术提供的传动件的结构示意图；图11是本专利技术提供的传动件的正视图；图12是本专利技术图11中C-C处的剖视图。图中：X、第一方向；Y、第二方向；1、壳体；2、门板；3、传动件；4、弹性连接件；5、驱动件；6、密封套；11、开口；21、限位槽；22、导向球；23、密封圈安装槽；31、通孔；32、驱动球；33、凹槽；41、第一弹性片组；42、第二弹性片组；43、抵接面；51、输出轴。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空阀门，用于控制两个腔室之间的开闭，其特征在于，包括：/n具有空腔的壳体(1)，所述壳体(1)相对的两个侧面对应设置有开口(11)，两个所述开口(11)分别连接两个所述腔室之中的一个；/n两块门板(2)，所述门板(2)设置于所述壳体(1)的空腔内，所述门板(2)与所述开口(11)一一对应，每个所述门板(2)用于打开或关闭相应的所述开口(11)，至少一块所述门板(2)上设置密封圈安装槽(23)，且所述密封圈安装槽(23)配置于所述门板(2)朝向所述开口(11)的侧面上；/n弹性连接件(4)，所述弹性连接件(4)位于所述两块门板(2)中间，并与两块所述门板(2)固定连接，所述弹性连接件(4)可以沿第二方向弹性伸缩；/n传动件(3)，所述传动件(3)与所述弹性连接件(4)紧密贴合，所述传动件(3)可以支撑所述弹性连接件(4)，还可以沿第一方向或第一方向的反方向相对于所述弹性连接件(4)做相对运动，同时改变所述弹性连接件(4)沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板(2)贴紧或远离所述开口(11)的边缘，所述第一方向垂直于所述第二方向；/n驱动件(5)，所述驱动件(5)的输出轴(51)与所述传动件(3)固定连接，并相互配合以控制所述门板(2)打开或关闭相应的所述开口(11)，其中，所述驱动件(5)的输出轴(51)可以沿第一方向或第一方向的反方向移动，从而带动所述传动件(3)和所述门板(2)一同沿所述第一方向或第一方向的反方向运动。/n...

【技术特征摘要】
1.一种真空阀门，用于控制两个腔室之间的开闭，其特征在于，包括：
具有空腔的壳体(1)，所述壳体(1)相对的两个侧面对应设置有开口(11)，两个所述开口(11)分别连接两个所述腔室之中的一个；
两块门板(2)，所述门板(2)设置于所述壳体(1)的空腔内，所述门板(2)与所述开口(11)一一对应，每个所述门板(2)用于打开或关闭相应的所述开口(11)，至少一块所述门板(2)上设置密封圈安装槽(23)，且所述密封圈安装槽(23)配置于所述门板(2)朝向所述开口(11)的侧面上；
弹性连接件(4)，所述弹性连接件(4)位于所述两块门板(2)中间，并与两块所述门板(2)固定连接，所述弹性连接件(4)可以沿第二方向弹性伸缩；
传动件(3)，所述传动件(3)与所述弹性连接件(4)紧密贴合，所述传动件(3)可以支撑所述弹性连接件(4)，还可以沿第一方向或第一方向的反方向相对于所述弹性连接件(4)做相对运动，同时改变所述弹性连接件(4)沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板(2)贴紧或远离所述开口(11)的边缘，所述第一方向垂直于所述第二方向；
驱动件(5)，所述驱动件(5)的输出轴(51)与所述传动件(3)固定连接，并相互配合以控制所述门板(2)打开或关闭相应的所述开口(11)，其中，所述驱动件(5)的输出轴(51)可以沿第一方向或第一方向的反方向移动，从而带动所述传动件(3)和所述门板(2)一同沿所述第一方向或第一方向的反方向运动。


2.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述弹性连接件(4)包括若干相互分离的弹性片，其中一部分所述弹性片构成第一弹性片组(41)，另一部分所述弹性片构成第二弹性片组(42)，所述第一弹性片组(41)用于连接其中一块所述门板(2)，所述第二弹性片组(42)用于连接另一块所述门板(2)；
所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)沿第二方向伸缩并分别夹持在所述传动件(3)相对的两侧；
所述驱动件(5)驱动所述传动件(3)沿第一方向并贴合于所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)运动，以改变所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)沿第二方向的伸缩量。


3.根据权利要求2所述的真空阀门，其特征在于，所述弹性连接件(4)包括三片依次相互分离的弹性片，其中第一片和第三片所述弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪晖华，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31