抛光垫固定机构及抛光机制造技术

本发明专利技术涉及一种抛光垫固定机构和一种抛光机。抛光垫固定机构包括自锁组件和承载盘。自锁组件的一侧用于固定于抛光盘；承载盘设置有安装槽，自锁组件可拆卸连接于安装槽，承载盘背离安装槽的一侧用于连接抛光垫。当对材料进行抛光时，将抛光垫连接至承载盘上，并通过自锁组件将承载盘与抛光盘连接，抛光盘带动承载盘转动，实现对材料的抛光，当需要更换不同粗糙度的抛光垫时，不需要将抛光垫与承载盘分离，仅需要将自锁组件与安装槽分离即可，并更换与其他粗糙度的抛光垫相连的承载盘即可，使得抛光垫能够多次利用，有效的避免了抛光垫的浪费情况，也大大节省了材料在抛光工序的加工成本。本发明专利技术涉及的抛光机，包括上述的抛光垫固定机构。

【技术实现步骤摘要】
抛光垫固定机构及抛光机
本专利技术涉及抛光
，特别是涉及抛光垫固定机构及抛光机。
技术介绍
随着抛光技术的发展，出现了抛光机。在传统的抛光机中，一般通过双面胶类材料来将抛光垫固定在抛光盘上，当对材料进行抛光时，一般会最开始选用粗糙度较大的抛光垫开始抛光，然后逐渐降低抛光垫的粗糙度，并最终通过化学机械平整化来实现材料表面的高度平整化。由于抛光垫与抛光盘通过双面胶类材料进行连接，所以当需要更换不同粗糙度的抛光垫，就必须破坏掉上一道工序中使用的抛光垫，这无形中就对抛光垫造成了大量的浪费，也增加了材料抛光的成本。
技术实现思路
基于此，有必要针对抛光机在抛光材料时，抛光垫造成大量浪费的技术问题，提供一种抛光垫固定机构。一种抛光垫固定机构，其包括：自锁组件，所述自锁组件的一侧用于连接于抛光盘；承载盘，所述承载盘设置有安装槽，所述自锁组件可拆卸连接于所述安装槽的槽壁，所述承载盘背离所述安装槽的一侧用于连接抛光垫。在其中一个实施例中，所述自锁组件包括支架，所述支架的一侧连接于所述抛光盘,所述支架可拆卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光垫固定机构，其特征在于，所述抛光垫固定机构包括：/n自锁组件(100)，所述自锁组件(100)的一侧用于连接于抛光盘(200)；/n承载盘(300)，所述承载盘(300)设置有安装槽(310)，所述自锁组件(100)可拆卸连接于所述安装槽(310)的槽壁，所述承载盘(300)背离所述安装槽(310)的一侧用于连接抛光垫。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光垫固定机构，其特征在于，所述抛光垫固定机构包括：
自锁组件(100)，所述自锁组件(100)的一侧用于连接于抛光盘(200)；
承载盘(300)，所述承载盘(300)设置有安装槽(310)，所述自锁组件(100)可拆卸连接于所述安装槽(310)的槽壁，所述承载盘(300)背离所述安装槽(310)的一侧用于连接抛光垫。


2.根据权利要求1所述的抛光垫固定机构，其特征在于，所述自锁组件(100)包括支架(110)，所述支架(110)的一侧连接于所述抛光盘(200),所述支架(110)可拆卸连接于所述安装槽(310)的槽壁。


3.根据权利要求2所述的抛光垫固定机构，其特征在于，所述支架(110)设置有第一斜面，所述第一斜面沿所述抛光盘(200)的周向延伸，所述支架(110)能够卡接入所述安装槽(310)。


4.根据权利要求3所述的抛光垫固定机构，其特征在于，所述自锁组件还包括吸附件(400)，所述吸附件(400)的一端与所述承载盘(300)连接，所述吸附件(400)的另一端与所述支架(110)连接，所述支架(110)能够容纳于所述安装槽(310)。


5.根据权利要求4所述的抛光垫固定机构，其特征在于，所述吸附件(400)包括第一吸附体(410)和第二吸附体(420)；
所述第一吸附体(410)与所述第二吸附体(420)相对且...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵欣，李劲劲，曹文会，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11