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抛光垫固定机构及抛光机制造技术
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下载抛光垫固定机构及抛光机的技术资料
文档序号:28544859
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本发明涉及一种抛光垫固定机构和一种抛光机。抛光垫固定机构包括自锁组件和承载盘。自锁组件的一侧用于固定于抛光盘;承载盘设置有安装槽,自锁组件可拆卸连接于安装槽,承载盘背离安装槽的一侧用于连接抛光垫。当对材料进行抛光时,将抛光垫连接至承载盘上,...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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