一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，包括主管路、喷淋管以及安装组件，主管路的两端分别通过一个分接头垂直连接有一个喷淋管，两个喷淋管的两端分别设置有一组安装组件，安装组件用于对喷淋管进行支撑固定，主管路的中间位置垂直连接有主接头，通过主接头能够向主管路内输送水源，主管路通过分接头向喷淋管内输送水源，本发明专利技术能够提高对喷淋管的变形应力的解离，保证喷淋管在各种环境的长期使用中的稳定性，以解决现有的湿法设备的喷淋管容易变形导致使用的稳定性存在不足的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置
本专利技术涉及清洗
，尤其涉及一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置。
技术介绍
半导体湿法设备尤其以批量式槽式清洗设备在化学溶液槽体工艺进行过程中的应用，需要通过一些特定的喷淋或是液体的灌注模组将化学溶液喷洒至槽中，使在槽中放置的批量晶圆能通过喷淋的过程进行有效地清洗或是其他的湿法工艺。现有的技术中，在对不同的晶圆尺寸的晶圆进行清洗时，所对应的喷淋管的相对尺寸不一，且需要面临抵抗各种不同操作温度以及化学反应环境，喷淋模组通常为一种特殊的直线阵列排列的喷淋孔构成，同时喷淋模组通常是刚性连接的方式进行安装固定，在各种连续性的应力与潜变作用下造成喷淋模组的损坏，或者是各种形变会造成工艺效能低下的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，能够提高对喷淋管的变形应力的解离，保证喷淋管在各种环境的长期使用中的稳定性，以解决现有的湿法设备的喷淋管容易变形导致使用的稳定性存在不足的问题。为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，提供一种喷淋机构，所述喷淋机构包括主管路(1)、喷淋管(3)以及安装组件(4)，所述主管路(1)的两端分别通过一个分接头(11)垂直连接有一个喷淋管(3)，两个喷淋管(3)的两端分别设置有一组安装组件(4)，所述安装组件(4)用于对喷淋管(3)进行支撑固定；/n所述喷淋管(3)的轴向方向为X轴，所述主管路(1)的轴向方向为Y轴，且垂直于X轴和Y轴所在平面的方向为Z轴；/n所述安装组件(4)包括安装板(41)和连接板(42)，所述安装板(41)的一端开设有第一活动槽(411)，所述连接板(42)内部开设有第二活动槽(424)，所述喷...

【技术特征摘要】
1.一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，提供一种喷淋机构，所述喷淋机构包括主管路(1)、喷淋管(3)以及安装组件(4)，所述主管路(1)的两端分别通过一个分接头(11)垂直连接有一个喷淋管(3)，两个喷淋管(3)的两端分别设置有一组安装组件(4)，所述安装组件(4)用于对喷淋管(3)进行支撑固定；
所述喷淋管(3)的轴向方向为X轴，所述主管路(1)的轴向方向为Y轴，且垂直于X轴和Y轴所在平面的方向为Z轴；
所述安装组件(4)包括安装板(41)和连接板(42)，所述安装板(41)的一端开设有第一活动槽(411)，所述连接板(42)内部开设有第二活动槽(424)，所述喷淋管(3)分别穿过第一活动槽(411)和第二活动槽(424)，所述连接板(42)上设置有伸入第二活动槽(424)内的第一螺栓(421)，所述连接板(42)内还开设有第二安装孔(423)，所述第二安装孔(423)内贯穿有第二螺栓(422)，所述第二螺栓(422)与安装板(41)螺纹连接，所述安装板(41)远离第一活动槽(411)的一端开设有第一安装孔(412)；
所述第二安装孔(423)内设置有用于连接板(42)相对于第二螺栓(422)的螺柱沿Y轴和Z轴进行活动的第一空间，所述第一活动槽(411)和第二活动槽(424)内设置有用于喷淋管(3)沿Y轴和Z轴进行活动的第二空间和第三空间；
两组喷淋管(3)上分别等距设置有若干喷嘴(31)，若干喷嘴(31)与喷淋管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙嘉艺，邓信甫，刘大威，陈丁堃，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31