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本发明提供一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，包括主管路、喷淋管以及安装组件，主管路的两端分别通过一个分接头垂直连接有一个喷淋管，两个喷淋管的两端分别设置有一组安装组件，安装组件用于对喷淋管进行支撑固定，主管路的中间位置垂直连接...该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司授权不得商用。