一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法，其技术方案是：包括箱体，所述箱体内部设有初级研磨机构和二次研磨机构，所述初级研磨机构位于二次研磨机构顶部，所述箱体一侧内壁嵌设有传动组件；所述初级研磨机构包括顶杆，所述顶杆固定嵌设在箱体内部，一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法有益效果是：通过设置由顶座、底座、第一研磨球和研磨头一等部件组成的初级研磨机构，在工作时，顶座和底座反向转动，有效提升研磨效率，并且第一研磨球可增大顶座和底座之间的研磨面积，并且嵌设在通孔一内部的研磨头一可稳定活动，进而可有效提升研磨质量，保证研磨的粉末更加细密。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法
本专利技术涉及靶材加工
，具体涉及一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，而高纯钼铌合金靶材由于具有较为优异的性能，具有较大的发展前景。现有技术存在以下不足：在高纯钼铌合金靶材制造前，往往需要将钼铌合金研磨成极为细小的粉末，从而方便后续的熔融成型工作，但传统研磨装置研磨效率低下，并且研磨质量不高，导致靶材生产质量无法进一步提升。因此，专利技术一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法很有必要。
技术实现思路
为此，本专利技术提供一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法，通过设置初级研磨机构、二次研磨机构和传动组件，工作时可通过反向多级的研磨，并且设置的第一研磨球、磨头一、第二研磨球和磨头二，极大提升了研磨效率和研磨质量，粉末更加细密，以解决传统研磨装置研磨效率低下，并且研磨质量不高，导致靶材生产质量无法进一步提升的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置及其使用方法，包括箱体，所述箱体内部设有初级研磨机构和二次研磨机构，所述初级研磨机构位于二次研磨机构顶部，所述箱体一侧内壁嵌设有传动组件；所述初级研磨机构包括顶杆，所述顶杆固定嵌设在箱体内部，所述顶杆内部开设有空腔，所述顶杆底部设有顶座，所述顶座内部固定嵌设有立柱，所述立柱顶部固定连接有转轴，所述转轴顶端贯穿空腔并延伸至空腔顶部，所述顶座底部设有底座，所述底座外侧固定套接有齿圈，所述箱体内壁开设有环槽，所述齿圈位于环槽内部，所述底座顶部表面固定嵌设有若干第一研磨球，所述顶座底部表面开设有多个通孔一，多个所述通孔一内部均固定嵌设有弹簧一，所述弹簧一底部固定连接有磨头一；所述二次研磨机构包括研磨管，所述研磨管固定连接在底座底部，所述箱体内部固定嵌设有支撑环，所述支撑环套设在研磨管外侧，所述研磨管内部套设有研磨柱，所述研磨柱顶部设置为圆锥状，所述研磨管内壁固定嵌设有多个第二研磨球，所述研磨柱外侧开设有多个通孔二，所述通孔二内部固定嵌设有弹簧二，多个所述弹簧二外侧均固定连接有磨头二，所述研磨柱底端固定连接有支撑杆，所述支撑杆两端均与支撑环底部固定连接；所述传动组件包括电机，所述电机固定连接在箱体一侧，所述箱体一侧内壁开设有空槽，所述电机输出轴延伸至空槽内部，所述电机输出轴固定连接有锥齿轮一，所述锥齿轮一一侧设有锥齿轮二，所述锥齿轮二与锥齿轮一啮合连接，所述锥齿轮二内部固定套接有转动杆，所述转动杆顶端延伸至空腔内部，所述转动杆底端贯穿环槽并延伸至箱体底部，所述转动杆和转轴外侧均固定套接有链轮，两个所述链轮外侧均套设有链条，两个所述链轮之间通过链条驱动连接，所述转动杆外侧固定套接有齿轮，所述齿轮位于齿圈一侧，所述齿轮与齿圈相啮合。优选的，所述箱体内腔底部嵌设有抽屉，所述抽屉两侧均设有推板，所述箱体内腔底部开设有限位槽，两个所述推板底部均固定连接有限位块，两个所述限位块均嵌设在限位槽内部，所述限位块与限位槽相匹配，所述箱体另一侧内壁固定嵌设有弹簧三，所述弹簧三一端与抽屉一侧推板固定连接。优选的，所述转动杆外侧固定套接有偏心轮，所述偏心轮位于推板一侧，所述偏心轮与抽屉另一侧推板相接触。优选的，所述底座固定连接有多个滑轮，所述支撑环顶部开设有滑槽，所述滑槽设置为环状，多个所述滑轮均嵌设在滑槽内部，所述滑轮与滑槽相匹配。优选的，所述顶座底部和底座顶部之间缝隙设置为靠近中心位置缝隙逐渐缩小。优选的，所述立柱两侧均固定连接有加强筋，两个所述加强筋均固定嵌设在顶座内部。优选的，所述箱体前侧嵌设有箱门，所述箱门一侧与箱体连接处通过铰链活动连接，所述电机底部固定连接有支撑架，所述支撑架固定连接在箱体一侧，所述箱体顶部固定嵌设有进料斗，所述箱体前侧固定嵌设有玻璃观察窗。优选的，所述转轴与顶杆连接处通过轴承活动连接，所述转动杆与顶杆和箱体连接处均通过轴承活动连接。S1，将高纯钼铌合金颗粒从进料斗投入，而后接通电源启动电机，电机工作后将带动锥齿轮一转动，而后带动锥齿轮二转动，进而带动转动杆转动；S2，转动杆转动后会带动其顶部的链轮转动，而后通过链条带动另一个链轮转动，最终使得转轴转动，转轴转动后将带动立柱和顶座转动，此时顶座转动方向与转动杆同向；S3，转动杆转动时还将带动齿轮转动，而后带动齿圈和底座转动，且此时底座转动方向与转动杆转动方向相反，则此时，底座和顶座将呈相互反向的转动工作，同时多个滑轮都将在滑槽内部滑动，保证底座稳定转动，底座转动后还将带动研磨管转动，而研磨柱通过支撑杆固定在研磨柱内部不动；S4，投入箱体内部的高纯钼铌合金颗粒将流进顶座和底座之间的缝隙，并在顶座和底座的反向转动研磨下，逐渐被研磨成细小粉末，并且在研磨过程中，第一研磨球和研磨头一可有效增大研磨效率，提升研磨质量，研磨后的粉末将流入研磨管内部，最终流入研磨管和研磨柱内侧；S5，粉末再进入研磨管和研磨柱内侧后，由于研磨管跟随底座是不断转动的，从而将使得粉末进行二次研磨，研磨管上的第二研磨球以及研磨柱上的研磨头二也可有效增大研磨效率，提升研磨质量，从而通过两次研磨，进一步保证研磨质量，保证粉末的细密程度；S6，转动杆转动还将带动偏心轮不断转动，起初偏心轮短轴与抽屉一侧的推板接触，而后偏心轮将转动至长轴与抽屉一侧的推板接触，从而使得推板带动抽屉左移，弹簧三被挤压压缩，而后偏心轮继续转动，弹簧三回弹，抽屉将右移，从而抽屉将不断左右往复运动，使得研磨后的粉末均匀落在抽屉里面，不会形成堆积，可充分利用抽屉空间，提高储存效率。本专利技术实施例具有如下优点：1、通过设置由顶座、底座、第一研磨球和研磨头一等部件组成的初级研磨机构，在工作时，顶座和底座反向转动，有效提升研磨效率，并且第一研磨球可增大顶座和底座之间的研磨面积，并且嵌设在通孔一内部的研磨头一可稳定活动，进而可有效提升研磨质量，保证研磨的粉末更加细密；2、通过设置由支撑环、研磨管、研磨柱、第二研磨球和研磨头二等部件组成的二次研磨机构，在工作时，经过初级研磨机构研磨后的粉末将流入在研磨管和研磨柱之间，转动的研磨柱将对粉末进行二次研磨，并且第二研磨球和研磨头二也可有效提升研磨面积，从而进一步提升研磨质量和研磨效率，经过初级研磨机构和二次研磨机构，有效保证最终粉末的细密程度，极大提升了研磨质量，进而为了后续的优异靶材制造奠定了积极基础；3、通过设置偏心轮、推板、抽屉和弹簧三等部件，工作时，抽屉会不断左右往复移动，粉末最终会较为均匀的掉落到抽屉内部，不会形成堆积，从而有效提升了抽屉的空间利用率。附图说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设有初级研磨机构和二次研磨机构，所述初级研磨机构位于二次研磨机构顶部，所述箱体(1)一侧内壁嵌设有传动组件；/n所述初级研磨机构包括顶杆(2)，所述顶杆(2)固定嵌设在箱体(1)内部，所述顶杆(2)内部开设有空腔，所述顶杆(2)底部设有顶座(3)，所述顶座(3)内部固定嵌设有立柱(4)，所述立柱(4)顶部固定连接有转轴(5)，所述转轴(5)顶端贯穿空腔并延伸至空腔顶部，所述顶座(3)底部设有底座(6)，所述底座(6)外侧固定套接有齿圈(7)，所述箱体(1)内壁开设有环槽，所述齿圈(7)位于环槽内部，所述底座(6)顶部表面固定嵌设有若干第一研磨球(8)，所述顶座(3)底部表面开设有多个通孔一，多个所述通孔一内部均固定嵌设有弹簧一(9)，所述弹簧一(9)底部固定连接有磨头一(10)；/n所述二次研磨机构包括研磨管(11)，所述研磨管(11)固定连接在底座(6)底部，所述箱体(1)内部固定嵌设有支撑环(12)，所述支撑环(12)套设在研磨管(11)外侧，所述研磨管(11)内部套设有研磨柱(13)，所述研磨柱(13)顶部设置为圆锥状，所述研磨管(11)内壁固定嵌设有多个第二研磨球(14)，所述研磨柱(13)外侧开设有多个通孔二，所述通孔二内部固定嵌设有弹簧二(15)，多个所述弹簧二(15)外侧均固定连接有磨头二(16)，所述研磨柱(13)底端固定连接有支撑杆(17)，所述支撑杆(17)两端均与支撑环(12)底部固定连接；/n所述传动组件包括电机(18)，所述电机(18)固定连接在箱体(1)一侧，所述箱体(1)一侧内壁开设有空槽，所述电机(18)输出轴延伸至空槽内部，所述电机(18)输出轴固定连接有锥齿轮一(19)，所述锥齿轮一(19)一侧设有锥齿轮二(20)，所述锥齿轮二(20)与锥齿轮一(19)啮合连接，所述锥齿轮二(20)内部固定套接有转动杆(21)，所述转动杆(21)顶端延伸至空腔内部，所述转动杆(21)底端贯穿环槽并延伸至箱体(1)底部，所述转动杆(21)和转轴(5)外侧均固定套接有链轮(22)，两个所述链轮(22)外侧均套设有链条，两个所述链轮(22)之间通过链条驱动连接，所述转动杆(21)外侧固定套接有齿轮(23)，所述齿轮(23)位于齿圈(7)一侧，所述齿轮(23)与齿圈(7)相啮合。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设有初级研磨机构和二次研磨机构，所述初级研磨机构位于二次研磨机构顶部，所述箱体(1)一侧内壁嵌设有传动组件；
所述初级研磨机构包括顶杆(2)，所述顶杆(2)固定嵌设在箱体(1)内部，所述顶杆(2)内部开设有空腔，所述顶杆(2)底部设有顶座(3)，所述顶座(3)内部固定嵌设有立柱(4)，所述立柱(4)顶部固定连接有转轴(5)，所述转轴(5)顶端贯穿空腔并延伸至空腔顶部，所述顶座(3)底部设有底座(6)，所述底座(6)外侧固定套接有齿圈(7)，所述箱体(1)内壁开设有环槽，所述齿圈(7)位于环槽内部，所述底座(6)顶部表面固定嵌设有若干第一研磨球(8)，所述顶座(3)底部表面开设有多个通孔一，多个所述通孔一内部均固定嵌设有弹簧一(9)，所述弹簧一(9)底部固定连接有磨头一(10)；
所述二次研磨机构包括研磨管(11)，所述研磨管(11)固定连接在底座(6)底部，所述箱体(1)内部固定嵌设有支撑环(12)，所述支撑环(12)套设在研磨管(11)外侧，所述研磨管(11)内部套设有研磨柱(13)，所述研磨柱(13)顶部设置为圆锥状，所述研磨管(11)内壁固定嵌设有多个第二研磨球(14)，所述研磨柱(13)外侧开设有多个通孔二，所述通孔二内部固定嵌设有弹簧二(15)，多个所述弹簧二(15)外侧均固定连接有磨头二(16)，所述研磨柱(13)底端固定连接有支撑杆(17)，所述支撑杆(17)两端均与支撑环(12)底部固定连接；
所述传动组件包括电机(18)，所述电机(18)固定连接在箱体(1)一侧，所述箱体(1)一侧内壁开设有空槽，所述电机(18)输出轴延伸至空槽内部，所述电机(18)输出轴固定连接有锥齿轮一(19)，所述锥齿轮一(19)一侧设有锥齿轮二(20)，所述锥齿轮二(20)与锥齿轮一(19)啮合连接，所述锥齿轮二(20)内部固定套接有转动杆(21)，所述转动杆(21)顶端延伸至空腔内部，所述转动杆(21)底端贯穿环槽并延伸至箱体(1)底部，所述转动杆(21)和转轴(5)外侧均固定套接有链轮(22)，两个所述链轮(22)外侧均套设有链条，两个所述链轮(22)之间通过链条驱动连接，所述转动杆(21)外侧固定套接有齿轮(23)，所述齿轮(23)位于齿圈(7)一侧，所述齿轮(23)与齿圈(7)相啮合。


2.根据权利要求1所述的一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置，其特征在于：所述箱体(1)内腔底部嵌设有抽屉(24)，所述抽屉(24)两侧均设有推板(25)，所述箱体(1)内腔底部开设有限位槽，两个所述推板(25)底部均固定连接有限位块(26)，两个所述限位块(26)均嵌设在限位槽内部，所述限位块(26)与限位槽相匹配，所述箱体(1)另一侧内壁固定嵌设有弹簧三(27)，所述弹簧三(27)一端与抽屉(24)一侧推板(25)固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置，其特征在于：所述转动杆(21)外侧固定套接有偏心轮(28)，所述偏心轮(28)位于推板(25)一侧，所述偏心轮(28)与抽屉(24)另一侧推板(25)相接触。


4.根据权利要求1所述的一种高纯钼铌合金靶材加工用预处理研磨装置，其特征在于：所述底座(6)固定连接有多个滑轮(29)，所述支撑环(12)顶部开设有滑槽，所述滑槽设置为环状，多个所述滑轮(29)均嵌设在滑槽内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆有军，高杰，刘洋，林立群，万治清，刘乡，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：发明
国别省市：宁夏;64