靶材尺寸测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种靶材尺寸测量装置，包括底板；通过第一滑动机构可相对移动设于所述底板上、用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件；以及连接至少一对所述定位支撑件的连接杆；以及可转动连接在所述连接杆突出于所述定位支撑件一端的连接件，所述连接件上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件。进行靶材测量时，可以调整一对定位支撑件相对距离，以适用不同尺寸规格的靶材安装固定，该靶材尺寸测量装置可测量不同规格的靶材，其适用范围广，且结构相对简单，稳定性高。稳定性高。稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
靶材尺寸测量装置


[0001]本技术涉及测量工具
，尤其涉及一种靶材尺寸测量装置。

技术介绍

[0002]靶材生产后需要对其进行测量，以确保尺寸规格符合要求。目前，有两种测量方案：其一，由工作人员手持测量仪器进行靶材测量，在测量过程中则可能剐蹭或者划伤靶材膜层。其二，工作人员将靶材固定到支架上，再进行测量，其仅能测量一种固定规格(或者尺寸很接近)的靶材，适用范围有限。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题在于，提供一种可以测量多种规格靶材的靶材尺寸测量装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材尺寸测量装置，包括
[0005]底板；
[0006]通过第一滑动机构可相对移动设于所述底板上、用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件；以及
[0007]连接至少一对所述定位支撑件的连接杆；以及
[0008]可转动连接在所述连接杆突出于所述定位支撑件一端的连接件，所述连接件上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件。
[0009]优选地，所述第一滑动机构包括设于所述底板上且沿其长度方向延伸的第一滑轨，以及设于所述定位支撑件底部、用于与所述第一滑轨相配合的第一滑槽；或，
[0010]包括设于所述底板上且沿其长度方向延伸的第二滑槽，以及设于所述定位支撑件底部、用于与所述第二滑槽相配合的第二滑轨。
[0011]优选地，所述定位支撑件包括定位件，以及与所述定位件连接的支撑件；
[0012]所述支撑件的底部设有所述第一滑槽或所述第二滑轨。
[0013]优选地，所述支撑件的顶部设有凹槽；
[0014]所述凹槽内设有固定件，所述固定件顶部设有供所述待测靶材定位固定的定位槽。
[0015]优选地，所述支撑件包括通过第二滑动机构可相对移动安装于所述定位件上的至少一对支撑件单元，所述支撑件单元可相对移动以调整所述凹槽尺寸以供预定尺寸的所述固定件安装。
[0016]优选地，所述第二滑动机构包括设于所述定位件顶部且沿其长度方向延伸的第三滑轨，以及设于所述支撑件单元底部、用于与所述第三滑轨相配合的第三滑槽；或，
[0017]包括设于所述定位件顶部且沿其长度方向延伸的第四滑槽，以及设于所述支撑件单元底部、用于与所述第四滑槽相配合的第四滑轨。
[0018]优选地，所述第三滑轨或所述第四滑槽的两端设有限制所述支撑件单元脱轨的阻挡片。
[0019]优选地，所述固定件的外部轮廓与所述凹槽相吻合；
[0020]所述凹槽包括半圆柱形槽、方形槽；
[0021]所述定位槽为关于其中垂线对称的“V”型结构。
[0022]优选地，还包括用于对所述定位支撑件进行限位的第一紧固机构，和/或，用于对所述支撑件单元进行限位的第二紧固机构。
[0023]优选地，所述测量仪包括游标卡尺。
[0024]实施本技术具有以下有益效果：采用本申请的靶材尺寸测量装置进行靶材测量时，可以调整一对定位支撑件相对距离，以适用不同尺寸规格的靶材安装固定，其可测量不同规格的靶材，其适用范围广，且结构相对简单，稳定性高。
附图说明
[0025]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：
[0026]图1是本技术一实施例中靶材尺寸测量装置的结构示意图；
[0027]图2是本技术另一实施例中靶材尺寸测量装置的结构示意图；
[0028]图3是本技术另一实施例中靶材尺寸测量装置的结构示意图；
[0029]图4是本技术紧固件的应用示意图；
[0030]图5是本技术支撑件单元组合的结构示意图；
[0031]图6是本技术单个支撑件单元的结构示意图；
[0032]图7是图6中支撑件单元的剖面示意图；
[0033]图8是本技术第三滑轨的结构示意图；
[0034]图9是图8中第三滑轨的剖面示意图；
[0035]图10是本技术一实施例固定件的结构示意图；
[0036]图11是本技术另一实施例固定件的结构示意图；
[0037]图12是本技术另一实施例固定件的结构示意图。
具体实施方式
[0038]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0039]还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第
三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0040]如图1所示，是本技术的一种靶材尺寸测量装置，包括底板1，通过第一滑动机构可相对移动设于底板1上、用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件2；以及连接至少一对定位支撑件2的连接杆3，可转动连接在连接杆3突出于定位支撑件2一端的连接件41，连接件41上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件42。
[0041]该待测靶材可以包括磁控溅射靶材，其大致为长条管状结构，采用该靶材尺寸测量装置进行靶材测量时，可以调整一对定位支撑件2相对距离，以适用不同尺寸规格的靶材安装固定，扩大适用范围，同时可避免损伤靶材的溅射膜层。
[0042]在本实施例中，该底板1大致呈扁平长方体平板结构，其可采用金属材质制成，当然还可以采用其他结构形式，这里不做具体限定。该底板1的对角处或边缘处还可设有数个螺接孔，以配合紧固螺栓等固定到预定的平台上。
[0043]该定位支撑件2为相对设置在底板1上的一对，二者通过第一滑动机构安装到底板1上，通过该第一滑动机构，二者可移动相对靠近或者远离，以测量不同长度的待测靶材，防止损坏靶材表面的溅射镀膜。
[0044]进一步的，第一滑动机构包括设于底板1上且沿其长度方向延伸的第一滑轨11，以及设于定位支撑件2底部、用于与第一滑轨11相配合的第一滑槽23。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材尺寸测量装置，其特征在于，包括底板(1)；通过第一滑动机构可相对移动设于所述底板(1)上、用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件(2)；以及连接至少一对所述定位支撑件(2)的连接杆(3)；以及可转动连接在所述连接杆(3)突出于所述定位支撑件(2)一端的连接件(41)，所述连接件(41)上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件(42)。2.根据权利要求1所述的靶材尺寸测量装置，其特征在于，所述第一滑动机构包括设于所述底板(1)上且沿其长度方向延伸的第一滑轨(11)，以及设于所述定位支撑件(2)底部、用于与所述第一滑轨(11)相配合的第一滑槽(23)；或，包括设于所述底板(1)上且沿其长度方向延伸的第二滑槽，以及设于所述定位支撑件(2)底部、用于与所述第二滑槽相配合的第二滑轨。3.根据权利要求2所述的靶材尺寸测量装置，其特征在于，所述定位支撑件(2)包括定位件(21)，以及与所述定位件(21)连接的支撑件(22)；所述支撑件(22)的底部设有所述第一滑槽(23)或所述第二滑轨。4.根据权利要求3所述的靶材尺寸测量装置，其特征在于，所述支撑件(22)的顶部设有凹槽(223)；所述凹槽(223)内设有固定件(5)，所述固定件(5)顶部设有供所述待测靶材定位固定的定位槽(51)。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张梦艳，黄勇彪，周贤界，刘海燕，涂代旺，
申请(专利权)人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：