真空干燥装置制造方法及图纸

本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。通过基板罩遮挡像素坑的周边区域，使得在真空干燥过程中像素坑内气流均匀稳定，有利于像素坑中的功能层材料墨滴溶剂挥发速率平衡，进而提高成膜均匀性，改善器件发光性能。件发光性能。件发光性能。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置


[0001]本申请属于干燥设备
，具体涉及一种真空干燥装置。

技术介绍

[0002]目前在显示行业的喷墨打印技术中，像素基板被吸附在打印基台上，溶解在溶剂中的各种材料(包括，功能层材料，以及红、绿、蓝三色发光材料)的溶液被喷涂在该基板的像素坑中，形成红、绿、蓝三基色发光像素的膜层。再通过后续的干燥工艺去除膜层中的多余溶剂，其中，干燥工艺一般包括抽真空干燥工艺，抽真空干燥通常在一个真空腔室中采用减压除湿法去除膜层中的溶剂，但发现干燥后的膜层形貌不均匀，严重影响器件的质量。

技术实现思路

[0003]针对上述技术问题，本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置用于干燥一基板，包括：真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接；承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。
[0004]进一步地，所述像素坑具有开口部，所述基板罩包括多个开孔，所述开孔与所述开口部对应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，用于干燥一基板，所述基板包括多个像素坑，所述真空干燥装置包括：真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，所述承载台用于放置所述基板，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述基板罩设置于所述基板上，所述基板罩遮挡所述像素坑的周边区域。2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述像素坑具有开口部，所述基板罩包括多个开孔，所述开孔与所述开口部对应设置，所述开孔的面积小于所述开口部的面积。3.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述像素坑还具有底部，所述开孔的面积小于所述底部的面积。4.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括气流缓冲区，所述气流缓冲区设置于所述主气流管道和所述基板罩之间，所述气流缓冲区包括多个气流导管，所述气流导管与所述主气流管道连接。5.如权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述气流导管上具有多个孔洞。6.如权利要求4或5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述气流缓冲区还包括导流板，所述导流板位于所述气流导管和所述基板罩之间，所述导流板上设置多个导流孔。7.如权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述多个导流孔在所述导流板上呈由中心至边缘减少排布。8.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述基板罩包括第一子板和与所述第一子板交叉设置的第二子板，所述开孔设置于所述第一子板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思元，韦艳君，王允军，
申请(专利权)人：苏州星烁纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：