【技术实现步骤摘要】
本申请属于薄膜制备机的，具体的，涉及一种自动旋涂薄膜制备机。
技术介绍
1、量子点墨水、光刻液等制备量子点光学薄膜/膜片，通常采用旋转涂布法、热蒸镀、印刷法、电沉积法、化学沉积法等方式，其中，旋转涂布法由于是非真空制备，且装置简单、能耗小等低成本的优点，而受到了广泛青睐。旋转涂布法的设备主要需要用到旋涂仪和烤胶机(加热设备)，而制备量子点光学薄膜的步骤有：将基板摆放到旋涂仪，打开装有量子点墨水或者光刻液的试剂瓶，用移液枪吸取一定量的试剂，然后将试剂滴加到基板上，盖上旋涂仪的盖子设定旋转速率等参数、旋涂仪开始工作，将旋涂后的基板放置到烤胶机加热、设置加热时间和温度等参数、试剂固化形成薄膜，下一个基板重复这个过程。在实验室中，旋转涂布法通常是人工操作的，在上述步骤中，除了旋涂仪和烤胶机的工作，其他都需要人工操作。人工操作费事费力，浪费科研人员的时间成本；并且存在一些难以把控和察觉的因素，例如每次的滴液量和滴液的位置容易出现偏差，会对薄膜均匀性、厚度等产生影响。
2、因此，现有技术也设计出一些半自动/全自动的旋涂装置，来替代人工操...
【技术保护点】
1.一种自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，包括：基板台(1)、试剂瓶台(2)、枪头台(3)、试剂瓶定位装置(4)、旋涂仪(5)、烤胶机(6)、加液搬运器(7)、滑轨组件(8)和控制器(9)，所述基板台(1)、试剂瓶台(2)、枪头台(3)分别用于放置一个或多个基板、试剂瓶、移液枪头，所述试剂瓶定位装置(4)、旋涂仪(5)、烤胶机(6)、加液搬运器(7)、滑轨组件(8)分别与控制器(9)电连接，所述加液搬运器(7)与滑轨组件(8)连接，所述加液搬运器(7)用于将所述基板搬运到旋涂仪(5)、将所述试剂瓶搬运到试剂瓶定位装置(4)并打开瓶盖、将所述移液枪头装配并吸取试剂瓶内的试...
【技术特征摘要】
1.一种自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，包括：基板台(1)、试剂瓶台(2)、枪头台(3)、试剂瓶定位装置(4)、旋涂仪(5)、烤胶机(6)、加液搬运器(7)、滑轨组件(8)和控制器(9)，所述基板台(1)、试剂瓶台(2)、枪头台(3)分别用于放置一个或多个基板、试剂瓶、移液枪头，所述试剂瓶定位装置(4)、旋涂仪(5)、烤胶机(6)、加液搬运器(7)、滑轨组件(8)分别与控制器(9)电连接，所述加液搬运器(7)与滑轨组件(8)连接，所述加液搬运器(7)用于将所述基板搬运到旋涂仪(5)、将所述试剂瓶搬运到试剂瓶定位装置(4)并打开瓶盖、将所述移液枪头装配并吸取试剂瓶内的试剂滴加到基板上，所述旋涂仪(5)用于将滴加试剂后的基板旋转涂布，所述加液搬运器(7)还用于将旋涂后基板搬运到烤胶机(6)，所述烤胶机(6)用于将旋涂后基板加热使试剂固化形成薄膜。
2.如权利要求1所述的自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，包括选自下组的一个或多个特征：
3.如权利要求1所述的自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，所述试剂瓶定位装置(4)用于将试剂管固定，所述试剂瓶定位装置(4)包括第一夹持块(41)和第二夹持块(42)，第一夹持块(41)与第二夹持块(42)能够相对运动从而增加或减少两者之间的间距，从而能够固定住试剂瓶。
4.如权利要求3所述的自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，所述第一夹持块(41)包括第一夹持部(411)，所述第二夹持块(42)包括第二夹持部(421)，固定试剂瓶时，所述第一夹持部(411)和第二夹持部(421)接触试剂瓶；所述第一夹持部(411)和第二夹持部(421)接触试剂瓶的表面为内弧形或者内v形。
5.如权利要求3所述的自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，所述试剂瓶定位装置(4)还包括液位感应器(43)，液位感应器(43)用于感应固定在试剂瓶定位装置(4)上的试剂瓶内试剂液位、并将液位参数发送到控制器(9)，控制器(9)用于控制加液搬运器(7)装配的枪头下探到试剂瓶的深度。
6.如权利要求1所述的自动旋涂薄膜制备机，其特征在于，所述加液搬运器(7)包括与滑轨组件(8)连接的支撑架(71)，所述支...
【专利技术属性】
技术研发人员：王允军，张思源，
申请(专利权)人：苏州星烁纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。