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本申请提供一种自动旋涂薄膜制备机，包括：基板台、试剂瓶台、枪头台、试剂瓶定位装置、旋涂仪、烤胶机、加液搬运器、滑轨组件和控制器，所述基板台、试剂瓶台、枪头台分别用于放置一个或多个基板、试剂瓶、移液枪头，所述试剂瓶定位装置、旋涂仪、烤胶机、加...
该专利属于苏州星烁纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州星烁纳米科技有限公司授权不得商用。

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