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本申请提供真空干燥装置，其包括真空腔室，主气流管道，所述主气流管道与所述真空腔室连接，承载台，位于所述真空腔室内部，及基板罩，位于所述真空腔室内部，其中，所述承载台用于放置所述基板，所述基板包括多个像素坑，所述基板罩设置于所述基板上，所述基...
该专利属于苏州星烁纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州星烁纳米科技有限公司授权不得商用。

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