一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，包括抽真空管、连接杆、螺纹罩、吸盘主体。本实用新型专利技术设置了螺纹罩，在将吸盘主体与连接杆连接的时候，顺时针转动吸盘主体，将连接杆底端的螺纹管头拧入到吸盘主体的连接端头内部，在此过程中，同时逆时针方向转动螺纹罩，螺纹罩拧在吸盘主体的连接端头外表面，因此在吸盘主体吸附物体的过程中，吸盘主体不会出现自转现象，从而可以使吸盘主体与连接杆连接在一起，不会出现连接松动的现象，本实用新型专利技术设置了缓冲管，缓冲管可以对外界设备传递到该夹具上的力进行一个有效的缓冲，避免作用力直接作用到该夹具上，用力过猛使夹具底端的吸盘主体与吸附的物体分离，造成吸附失败的情况发生。的情况发生。的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具


[0001]本技术涉及真空吸盘
，具体为一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具。

技术介绍

[0002]真空吸盘，又称真空吊具，是真空设备执行器之一，一般来说，利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法，真空吸盘品种多样，橡胶制成的吸盘可在高温下进行操作，由硅橡胶制成的吸盘非常适于抓住表面粗糙的制品，由聚氨酯制成的吸盘则很耐用，另外，在实际生产中，如果要求吸盘具有耐油性，则可以考虑使用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物等材料来制造吸盘，通常，为避免制品的表面被划伤，最好选择由丁腈橡胶或硅橡胶制成的带有波纹管的吸盘吸盘材料采用丁腈橡胶制造，具有较大的扯断力，因而广泛应用于各种真空吸持设备上，真空吸盘在使用的时候一般需要到夹具对其进行固定。
[0003]现有的半导体盘类部件的真空吸盘夹具存在的缺陷是：
[0004]1、现有的半导体盘类部件的真空吸盘夹具一般都是通过螺纹杆与真空吸盘进行连接，但是在使用的过程中，真空吸盘在吸附物体的过程中容易出现自转的现象，从而会导致螺纹杆与真空吸盘的连接出现松动，影响正常本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，其特征在于：包括抽真空管（1）、连接杆（2）、螺纹罩（3）、吸盘主体（4）和缓冲管（6）；所述抽真空管（1）的底部固定安装有三组等距的连接杆（2），所述连接杆（2）表面的顶部位置处设有RS485压力传感器（5），所述连接杆（2）的底端固定安装有吸盘主体（4），所述连接杆（2）表面靠近底部的位置处转动安装有螺纹罩（3），所述抽真空管（1）顶部的两端固定安装有缓冲管（6），所述缓冲管（6）之间固定安装有连接架（7）。2.根据权利要求1所述的一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，其特征在于：所述螺纹罩（3）的顶部嵌入有密封轴承（301），所述螺纹罩（3）的内顶部黏贴有密封垫（302）。3.根据权利要求1所述的一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，其特征在于：所述缓冲管（6）的内底部固定安装有弹簧（601），弹簧（601）的顶部固定安装有限位块（602），限位块（602）与连接架（7）的底端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体盘类部件的真空吸盘夹具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王虎斌，黄中山，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：