一种压电风速计及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种压电风速计及其制作方法。其中，压电风速计包括衬底以及位于衬底一侧的至少一个悬臂梁结构，悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜，悬臂梁结构向远离衬底的一侧弯曲。本发明专利技术提供的压电风速计及其制作方法，通过在衬底一侧设置至少一个悬臂梁结构，且悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜，利用悬臂梁结构在制造过程中第一电极层、压电层、第二电极层及应力匹配薄膜残余应力的不同，使得悬臂梁结构向远离衬底的一侧翘曲一定角度，从而应用于风速的测量，该压电风速计具有精度高、结构简单、成本低的优点。成本低的优点。成本低的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种压电风速计及其制作方法


[0001]本专利技术实施例涉及风速测量
，尤其涉及一种压电风速计及其制作方法。

技术介绍

[0002]风速传感器主要用于检测环境中的风速，应用领域广，在环境检测、天气预报、煤矿通风监测、森林防火警报等都具有应用潜力。
[0003]风速传感器可分为热式和非热式。热式风速传感器基本以热温差为其工作原理，通过温差来测量风速，其制作工艺与CMOS工艺兼容。然而，该类传感器功耗较高，不适合用作自供电无线风速传感器。非热式风速传感器将风速转换为位移、压力、电压、振动频率等信息来测量，具有很大的应用价值，但非热式风速传感器的结构相对复杂，成本较高。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种压电风速计及其制作方法，以实现精度高、结构简单、成本低的压电风速计。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种压电风速计，包括衬底以及位于所述衬底一侧的至少一个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括依次位于所述衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜；
[0006]所述悬臂梁结构向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电风速计，其特征在于，包括衬底以及位于所述衬底一侧的至少一个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括依次位于所述衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜；所述悬臂梁结构向远离所述衬底的一侧弯曲。2.根据权利要求1所述的压电风速计，其特征在于，至少一个所述悬臂梁结构形成至少一个悬臂梁结构组，所述悬臂梁结构组包括第一悬臂梁结构和第二悬臂梁结构，所述第一悬臂梁结构和所述第二悬臂梁结构相对设置。3.根据权利要求2所述的压电风速计，其特征在于，至少一个所述悬臂梁结构形成两个悬臂梁结构组，或者，至少一个所述悬臂梁结构形成四个悬臂梁结构组。4.根据权利要求1所述的压电风速计，其特征在于，所述悬臂梁结构在所述衬底所在平面的垂直投影为三角形。5.根据权利要求1所述的压电风速计，其特征在于，所述悬臂梁结构的长度为d，其中，10um≤d≤1000um。6.根据权利要求1所述的压电风速计，其特征在于，所述应力匹配薄膜包括至少一层应力匹配子薄膜，所述应力匹配子薄膜的材料包括氧化硅、氮化硅、非晶硅和多晶硅中的任意一...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦继伟，刘京，费跃，陈思奇，
申请(专利权)人：上海芯物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：