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本发明公开了一种压电风速计及其制作方法。其中，压电风速计包括衬底以及位于衬底一侧的至少一个悬臂梁结构，悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜，悬臂梁结构向远离衬底的一侧弯曲。本发明提供的压电风速计及其制...
该专利属于上海芯物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯物科技有限公司授权不得商用。

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