一种立式陶瓷加热器制造技术

本发明专利技术公开了一种立式陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，具有侧面和一个底面；加热区，位于加热器基体侧面；电极，位于加热器基体底面；电极两两相对设置，两个相对设置的电极与加热器基体底面的圆心连线夹角为150

【技术实现步骤摘要】
一种立式陶瓷加热器


[0001]本专利技术涉及蒸镀用陶瓷加热器
，特别涉及一种立式陶瓷加热器。

技术介绍

[0002]目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，例如，为了确保蒸镀材料的均匀扩散以及避免局部温度过高影响装料容器的使用寿命，要求加热器本身均温性好；为了保证加热器的使用安全，避免因为连电短路导致的生产事故。
[0003]现有的立式陶瓷加热器电极连接后容易存在间隙，使用时易出现打火损坏情况。此外，现有加热器在安装时候后，会出现加热不均匀的情况，即被加热材料局部温度过高，使得蒸镀材料挥发速率不一致，从而影响各位置成膜速率，导致各位置膜厚分布不均匀，降低了成膜的良率。因此，需要研发一种新型的立式陶瓷加热器。

技术实现思路

[0004](一)专利技术目的
[0005]本专利技术的目的是提供一种在安装使用后能够保证加热均匀性的立式陶瓷加热器。
[0006](二)技术方案
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式陶瓷加热器，其特征在于，包括：加热器基体(10)，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区(11)，位于所述加热器基体(10)的侧面；电极(12)，位于所述加热器基体(10)的底面；其中，所述电极(12)两两相对设置，两个相对设置的所述电极(12)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150
°‑
180
°
；所述加热器基体(10)的底面具有通孔(16)；所述通孔(16)的轴向与所述加热器基体(10)的轴向重合。2.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器，其特征在于，所述电极(12)包括：导电层露出部(13)；安装孔(14)，位于所述导电层露出部(13)；其中，所述导电层露出部(13)的面积大于等于所述安装孔(14)面积。3.根据权利要求1或2所述的立式陶瓷加热器，其特征在于，多个所述电极(12)不重合设置。4.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器，其特征在于，所述加热器基体(10)的侧面与所述加热器基体(10)的底面通过弧面连接。5.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器，其特征在于，所述加热区(11)具...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：