下载一种立式陶瓷加热器的技术资料

文档序号:28493463

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本发明公开了一种立式陶瓷加热器,包括:加热器基体,为圆筒状,具有侧面和一个底面;加热区,位于加热器基体侧面;电极,位于加热器基体底面;电极两两相对设置,两个相对设置的电极与加热器基体底面的圆心连线夹角为150
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该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司博宇(朝阳)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司博宇(朝阳)半导体科技有限公司授权不得商用。

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