一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置，制备方法包括如下步骤：沿柔性衬底外轮廓方向对其进行均匀拉伸；所述柔性衬底拉伸到位后，在所述柔性衬底的拉伸状态下，将敏感单元材料呈阵列式涂覆到柔性衬底的表面；待所述柔性衬底上的敏感单元材料固化后，释放柔性衬底使其回缩至初始尺寸。此制备方法,通过沿柔性衬底外轮廓方向对其进行均匀拉伸，使柔性衬底沿其外轮廓方向向外均匀变形，其回缩后四周回缩均匀，涂覆在其表面上的敏感单元跟随其回缩，敏感单元回缩均匀，敏感单元各个方向应变均匀，回缩后敏感单元不会产生裂纹或褶皱。纹或褶皱。纹或褶皱。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置


[0001]本专利技术涉及柔性电子器件
，具体涉及一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置。

技术介绍

[0002]柔性电子是指将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性基板上的新兴电子技术，通过柔性电子技术制备的柔性电子器件的发展将颠覆传统人机交互方式，促进人工智能、智能制造、健康医疗、运动娱乐等领域的革命性发展。
[0003]现有的柔性电子器件的制作方法一般为先对柔性衬底进行单向拉伸，再将敏感单元涂覆在衬底上，最后释放衬底，衬底和涂覆好的敏感单元收缩。上述的制作方法衬底为单向拉伸，拉伸时衬底主要沿拉伸方向变形延伸，释放衬底后，衬底和涂覆好的敏感单元四周回缩不均匀，衬底上的敏感单元的各个方向因应变不均匀易产生裂纹或褶皱。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的柔性电子器件制备时对衬底进行单轴拉伸易导致敏感单元回缩后产生裂纹或褶皱的缺陷。
[0005]为此，本专利技术提供一种柔性电子器件的制备方法，包括如下步骤：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性电子器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：沿柔性衬底(5)外轮廓方向对其进行均匀拉伸；所述柔性衬底(5)拉伸到位后，在所述柔性衬底(5)的拉伸状态下，将敏感单元(6)材料呈阵列式涂覆到柔性衬底(5)的表面；待所述柔性衬底(5)上的敏感单元(6)材料固化后，释放柔性衬底(5)使其回缩至初始尺寸。2.根据权利要求1所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，在所述柔性衬底(5)拉伸到位后，在所述柔性衬底(5)上方放置网板(34)，所述网板(34)上开设有阵列式小孔，从所述网板(34)上方向所述柔性衬底(5)上喷涂敏感单元(6)材料。3.根据权利要求2所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，通过喷头(31)向所述柔性衬底(5)上喷涂敏感单元(6)材料，所述喷头(31)固定在三维驱动机构(32)上，所述三维驱动机构(32)驱动所述喷头(31)相对所述柔性衬底(5)做三维运动。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的柔性电子器件的制备方法，其特征在于，所述柔性衬底(5)拉伸到位后，对所述柔性衬底(5)进行加热；在所述柔性衬底(5)回缩至初始尺寸后，停止加热所述柔性衬底(5)。5.一种柔性电子器件的制备装置，其特征在于，包括基座(1)，其上部设有向内凹陷的凹陷区；柔性衬底(5)适于置于所述凹陷区内；至少三组拉伸组件(2)，设在所述基座(1)上并沿所述凹陷区的轮廓方向均匀分布，所述拉伸组件(2)适于在至少三个方向夹持住所述柔性衬底(5)并对其进行均匀拉伸或释放；喷涂组件(3)，设于所述基座(1)顶部；所述喷涂组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：李传宇，郭振，张威，姚佳，周连群，李超，张芷齐，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：发明
国别省市：