【技术实现步骤摘要】
一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法
[0001]本专利技术属于金刚石薄膜沉积领域，具体涉及一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法。
技术介绍
[0002]介质阻挡放电等离子体放电技术是一项比较成熟的技术，它突破了传统低温等离子体应用存在的局限性，可以在较高的气压下，实现等离子体放电，且放电方式多样化。放电时产生大量活性粒子，能够到达被处理物表面，在等离子体表面改性领域应用广泛。
[0003]WC
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Co硬质合金材料是目前使用非常广泛的材料，具有优异的耐磨性、耐腐蚀性，常用作刀具、模具以及耐磨、硬度高的工件的制作。然而，随着生产技术的不断创新与发展，采用传统的硬质合金工件难以满足某些特定环境下的使用需要，比如切削高硬度材料、耐磨损材料等，喷枪喷射管道等。金刚石具有优异的性能，如高的硬度、耐磨性以及耐腐蚀性。粒状形态限制了其使用范围，通过化学气相沉积法制备的金刚石膜则大大扩展了金刚石的应用范围。在刀具、模具表面涂金刚石膜可大幅提高工件的使用...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：对WC
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Co硬质合金需要沉积金刚石薄膜的表面进行预处理，然后用还原性的介质阻挡放电等离子体射流刻蚀所述表面，最后通过气相沉积法在刻蚀好的表面沉积金刚石薄膜即可。2.根据权利要求1所述一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于，所述预处理的方式为：将WC
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Co硬质合金需要沉积金刚石薄膜的表面放入强酸性溶液中进行腐蚀处理，将腐蚀好的合金放入无水乙醇与金刚石粉末混合溶液中超声处理10min～30min，最后再次放入无水乙醇中清洗并干燥。3.根据权利要求2所述一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于，所述金刚石粉末的大小为10um
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20um。4.根据权利要求2所述一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于，所述无水乙醇与金刚石粉末混合溶液中金刚石粉末在无水乙醇中的质量体积比为0.1～0.3g/mL。5.根据权利要求2所述一种在WC
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Co硬质合金表面沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于，所述强酸性溶液为体积分数1～5％的硫酸溶液或硝酸溶液。6.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周焱文，黄凯，范冰庆，
申请(专利权)人：武汉普迪真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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