一种钟罩式化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触。本实用新型专利技术提供的钟罩式化学气相沉积炉具有使用方便、便有将沉淀炉本体压牢、保证沉淀炉整体的密闭性的优点。保证沉淀炉整体的密闭性的优点。保证沉淀炉整体的密闭性的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种钟罩式化学气相沉积炉


[0001]本技术涉及化学制备
，尤其涉及一种钟罩式化学气相沉积炉。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，钟罩式沉淀炉是化学气相沉积使用的设备之一，现有技术中公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉沉淀炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉沉淀炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面，该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得该设备可以对钟罩沉积炉沉淀炉本体进行限位固定，令钟罩沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触；四个定块，四个所述定块均固定安装在基座的顶部；两个转轴，两个所述转轴分别转动安装在四个所述定块之间；两个齿轮，两个所述齿轮分别固定套设在对应的所述转轴上，两个所述齿轮相啮合；四个惰轮，四个所述惰轮分别固定套设在两个所述对杆和两个所述转轴上；两个皮带，两个所述皮带分别套设在四个所述惰轮之间；转杆，所述转杆固定安装在对应的所述转轴的一端上。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺鹏博，周帆，
申请(专利权)人：湖南铠欣新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：