一种用于制备光学ZnS材料的CVD设备制造技术

本发明专利技术提供了一种用于制备光学ZnS材料的CVD设备，包括沉积炉主体以及分隔设置于沉积炉主体内部的第一炉体和第二炉体；第一炉体设置有第一坩埚和沉积腔，第二炉体设置有第二坩埚和投料装置，第一坩埚用于盛放锌，第二坩埚用于盛放硫，投料装置用于向第二坩埚定时定量投放硫以控制硫的蒸发速率。通过本发明专利技术CVD设备不会引入H2S，因此能够避免因H2S分解产生H离子与Zn蒸气形成氢锌络合物而影响ZnS材料的透过率和发射率，通过该设备制备的ZnS材料具有低发射率的特点，从而使ZnS材料能够应用于更高的温度条件下，扩大了光学ZnS材料的应用范围。范围。范围。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制备光学ZnS材料的CVD设备


[0001]本专利技术涉及红外光学材料
，特别是涉及一种用于制备光学ZnS材料的CVD设备。

技术介绍

[0002]红外光学材料包含在环境温度下、较高及较低温度下的透镜材料，常用于红外探测系统的光学窗口。在高速飞行环境中，暴露在大气中的红外探测系统的光学窗口将承受极其恶劣的气动力、气动热双重载荷。气动加热使光学窗口温度急剧升高，产生窗口热辐射效应，严重情况下将导致光电探测器饱和；而窗口材料的热力学性能如果不能承受气动力载荷和气动热载荷，将使整个成像系统遭到破坏。因此，对于高速飞行器上使用的光学窗口，其窗口材料在具有优秀热力学性能的同时，在工作波段应具有高透过、低辐射性能。
[0003]化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)是一种重要的长波红外透过材料，其透过波段为0.35～14.5μm，在8～10μm有很好的透过率，其平均透过率可达73％以上。并且其光学性能的稳定性良好，在温度400℃以下其透过率基本无变化。在机械性能方面，CVDZnS由细晶粒构成，抗断裂强度和硬度都比较高，耐侵蚀能力较好。CV本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备光学ZnS材料的CVD设备，包括：沉积炉主体以及分隔设置于所述沉积炉主体内部的第一炉体和第二炉体；所述第一炉体设置有第一坩埚和沉积腔，所述第二炉体设置有第二坩埚和投料装置，所述第一坩埚用于盛放锌，所述第二坩埚用于盛放硫，所述投料装置用于向所述第二坩埚定时定量投放硫以控制硫的蒸发速率；所述沉积腔位于第一坩埚的上方，并分别与第一坩埚和第二坩埚通过管路连通。2.根据权利要求1所述的设备，所述投料装置包括投料单元和投料控制单元，所述投料控制单元控制位于所述投料单元的出料口处的电磁阀。3.根据权利要求1所述的设备，所述第一坩埚的材料为石墨，所述第二坩埚的材料为不锈钢。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱纁，肖红涛，张旭，张克宏，党参，宫月，
申请(专利权)人：北京中材人工晶体研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：