下载一种钟罩式化学气相沉积炉的技术资料

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本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉,包括:基座;沉淀炉本体,所述沉淀炉本体设在基座的顶部;四个支杆,四个所述支杆均固定安装在基座的顶部,四个所述支杆呈矩形列阵分布;两个对杆,两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之...
该专利属于湖南铠欣新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南铠欣新材料科技有限公司授权不得商用。

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