一种单晶硅生产设备专用气体回用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，包括提纯箱、连接管、纯净气体储存罐、检测器、控制开关和电源线，通过在提纯箱顶部右端设置有辅助加料装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构对滑动板施加推力，驱动机构带动滑动板在壳体内部下端活动，使滑动板上的落料孔进入壳体内，提纯原料通过落料孔落入提纯箱内，达到辅助加料的效果，通过在滑动板右端设置了驱动机构，通过控制开关启动电机，电机带动短杆摆动，短杆带动连接杆摆动，使推杆在滑槽内侧面进行滑动，推杆对滑动板施加推力，达到驱动滑动板活动的效果，本装置使用方便操作简单，有效的提高了工作效率。有效的提高了工作效率。有效的提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产设备专用气体回用装置


[0001]本技术具体是一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，涉及单晶硅生产设备相关领域。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂
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冶金级硅
‑ꢀ
提纯和精炼
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沉积多晶硅锭
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单晶硅
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硅片切割，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，在单晶硅生产过程中需用到单晶硅生产设备专用气体回用装置。
[0003]但是单晶硅生产设备专用气体回用装置一般都是将气体导入第二净化罐内，通过第二净化罐和第一净化罐对气体净化，通过提纯箱对气体中的惰性气体进行提纯，在由进气口导入生产设备进行回用，但是传统单晶硅生产设备专用气体回用装置对于提纯箱加料效果较差，在使用过程中提纯箱内提纯原料不足，容易导致惰性气体纯度下降使单晶硅质量降低，同时传统单晶硅生产设备专用气体回用装置对于滑动板驱动效果较差，导致使用不方便。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，包括提纯箱(1)，所述提纯箱(1)右端设置有连接管(2)；其特征在于：还包括辅助加料装置(7)，所述提纯箱(1)顶部右端设置有辅助加料装置(7)，所述辅助加料装置(7)包括壳体(71)、盖子(72)、滑动板(73)、落料孔(74)、弹簧(75)、驱动机构(76)和压杆(77)，所述壳体(71)顶部设置有盖子(72)，所述滑动板(73)与壳体(71)内部下端活动连接，所述落料孔(74)嵌入于滑动板(73)顶部右端，所述弹簧(75)一端与壳体(71)右下端固定连接，并且弹簧(75)另一端与滑动板(73)右端固定连接，所述滑动板(73)右端设置有驱动机构(76)，所述压杆(77)与滑动板(73)顶部右端固定连接，所述壳体(71)与提纯箱(1)顶部右端固定连接。2.根据权利要求1所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述连接管(2)右端安装有纯净气体储存罐(3)，所述纯净气体储存罐(3)右端设置有检测器(4)，所述检测器(4)前端面固定有控制开关(5)，所述控制开关(5)右前端设置有电源线(6)，所述提纯箱(1)顶部左端设置有第一输气管(8)，所述第一输气管(8)顶部左端安装有第一电磁阀(9)，所述第一输气管(8)左端安装有第一净化罐(10)，所述第一净化罐(10)左端中部设置有第二输气管(11)，所述第二输气管(11)顶部左端安装有第二电磁阀(12)，所述第二输气管(11)左端设置有第二净化罐(13)，所述第二净化罐(13)顶部设置有进气口(14)，所述第二净化罐(13)底部等距固定有支撑腿(15)，所述提纯箱(1)内部下端设置有反应槽(16)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠华，张俊，凌继贝，吴雄，
申请(专利权)人：内蒙古豪安能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：