温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，包括提纯箱、连接管、纯净气体储存罐、检测器、控制开关和电源线，通过在提纯箱顶部右端设置有辅助加料装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构对滑动板施加推力，驱动机构带动滑动板在壳体内部下端活...
该专利属于内蒙古豪安能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古豪安能源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。