基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及光学传感器技术领域，尤其涉及一种基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器，包括周期性的石墨烯纳米带阵列以及衬底，所述周期性的石墨烯纳米带阵列置于所述衬底上。石墨烯等离激元具有非常强的空间局域性和场增强效应，可以实现高的品质因子，非常有利于集成光子学中基于石墨烯等离激元的纳米光子学器件的实现。光子学器件的实现。光子学器件的实现。

【技术实现步骤摘要】
基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器


[0001]本技术涉及光学传感器
，尤其涉及一种基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器。

技术介绍

[0002]石墨烯除了优异的透光性与良好的导电性外，还具有优异的力学性质，如石墨烯的抗拉强度为125GPa，杨氏模量为1TPa，是目前已知强度最大的材料。目前基于石墨烯的应力传感器受到了研究者广泛的关注。与硅应力传感器相比，石墨烯应力传感器具有更高的灵敏度、更低的能耗、易于集成、易于实现智能化以及纳米级尺寸等特点。这意味着石墨烯压力传感器能够在更多场合得到应用。比如在生物医学领域可被用来检测人体内部血压或者组织压力、可穿戴电子产品、机器人“皮肤”等方面。近些年，不同机理的石墨烯应力传感器得到了深入的研究，包括压阻式石墨烯应力传感器、电容式应变传感器、光纤石墨烯应力传感器或基于拉曼光谱增强的光学传感器等。基于石墨烯的压阻式传感器由于相对简单的电学系统已被广泛研究。但电阻型石墨烯应变传感器易受来自附近的仪器和带电物体电磁干扰。另一方面，高灵敏度的获得常常需要施加较大的应力，这在实际中很难获得。此外，过大的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器，其特征在于：包括周期性的石墨烯纳米带阵列以及衬底，所述周期性的石墨烯纳米带阵列置于所述衬底上。2.根据权利要求1所述的基于等离激元共振的石墨烯应力光学传感器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马增红，陈子坚，徐建，张链，陈霞，刘晔，
申请(专利权)人：天津中德应用技术大学，
类型：新型
国别省市：