一种超纯氢气纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及超纯气体生产技术领域，尤其为一种超纯氢气纯化装置，包括壳体，所述壳体的上端左侧固定连接有固定块，且固定块的下端设有过滤箱体，所述过滤箱体的内部中间位置处设有水分过滤板，且水分过滤板的左右两侧分别设有氧气过滤板和二氧化碳过滤板，本实用新型专利技术中，通过设置的泄压阀、进气阀、第二弹簧、第三弹簧、开合板及滑块，通过设置得进气阀将空气抽进壳体内部，当壳体内部的压力增大时，压力会带动推杆挤压第二弹簧推出，从而实现对壳体内部的泄压，同时通过推杆的移动，带动拉绳移动，带动开合板关闭进气阀，实现壳体内部压力过大时，自动泄压和自动关闭进气管的作用，防止发生危险。

【技术实现步骤摘要】
一种超纯氢气纯化装置
本技术涉及超纯气体生产
，具体为一种超纯氢气纯化装置。
技术介绍
自然界中的氢总是以其化合物如水、碳氢化合物等形式存在，因此，在制备氢时就不可避免地带有杂质,氢气中带有杂质，就带来了安全隐患，容易发生爆炸，这就要求对氢气原料进行纯化,氢的纯化是指利用物理或化学的方法，除去氢气中杂质的方法总称,随着半导体工业、精细化工和光电产业的发展，半导体生产工艺需要使用99.999％以上的高纯氢,但是工业上各种制氢方法所得到的氢气纯度不高，为满足工业上对各种高纯氢的需求，必须对氢气进行进一步的纯化。在现有技术中，氢气的提纯通常都是通过过滤、吸气柱进行纯化，由于过滤板的使用具有周期性，所以过滤板需要经常更换，在现有结构中，过滤板的更换繁琐复杂，浪费时间，同时一次更换必须要对内部过滤板全部更换，浪费资源。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种超纯氢气纯化装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超纯氢气纯化装置，包括壳体，所述壳体的上端左侧固定连接有固定块，且固定块的下端设有过滤箱体，所述过滤箱体的内部中间位置处设有水分过滤板，且水分过滤板的左右两侧分别设有氧气过滤板和二氧化碳过滤板，所述水分过滤板、氧气过滤板和二氧化碳过滤板的上下两端分别滑动连接有固定块和过滤箱体，且过滤箱体的下端滑动连接有壳体，所述壳体左端上侧固定连接有泄气管，且泄气管的内部滑动连接有滑块，所述滑块的左端固定连接有推杆，且推杆的外部滑动连接有泄气管，所述滑块的右端固定连接有拉绳，且拉绳的另一端固定连接有开合板，所述开合板的下端固定连接有第三弹簧，且第三弹簧的下端固定连接有固定箱体，所述固定箱体的左端固定连接有壳体，且固定箱体与开合板滑动连接，所述泄气管的下侧设有进气管，且进气管的外部固定连接有壳体。优选的，所述固定块的上端左右两侧滑动连接有滑板，且滑板的一端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端固定连接有固定块，且滑板外部的一侧外部滑动连接有壳体，所述壳体通过滑板与固定块固定连接。优选的，所述过滤箱体的右侧设有吸附箱体，且吸附箱体的外部固定连接有壳体，所述吸附箱体的内部固定连接有吸附柱，且吸附柱的外部固定连接有支撑板，所述支撑板的外部固定连接有吸附箱体，且吸附箱体的左右两侧均固定连接有输气管，所述吸附箱体的右端下侧固定连接有出气管，所述出气管的另一端内部固定连接有抽风电机。优选的，所述过滤箱体的上端左右两侧内部均固定连接有呈左右对称设置的第四弹簧，且第四弹簧的另一端固定连接有卡块，所述卡块的外部分别滑动连接有过滤箱体和固定块。优选的，所述推杆的右侧外部设有第二弹簧，且第二弹簧的左端固定连接有泄气管，所述第二弹簧的右端固定连接有滑块。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术中，通过设置的过滤箱体、吸附箱体、滑板、氧气过滤板、水分过滤板及二氧化碳过滤板，通过设置的氧气过滤板、水分过滤板和二氧化碳过滤板，便于对空气体内部的水分、氧气和二氧化碳过滤掉，再通过设置的吸附箱体将过滤后的气体抽进吸附箱体内部，通过吸附柱将过滤后的气体的残余气体N2、CH4吸附脱除，通过设置的吸附壳体的多层次，便于提升氢气的纯度，过滤完成后，需要对过滤板更换时，通过设置的滑板和第一弹簧将内部过滤箱体拉出，再通过设置的卡块和第四弹簧便于对过滤箱体的打开，从而实现便于对过滤板的更换，无需一次全部更换，便于对需要更换的过滤板单独更换；2、本技术中，通过设置的泄压阀、进气阀、第二弹簧、第三弹簧、开合板及滑块，通过设置得进气阀将空气抽进壳体内部，当壳体内部的压力增大时，压力会带动推杆挤压第二弹簧推出，从而实现对壳体内部的泄压，同时通过推杆的移动，会带动滑块的移动，从而带动拉绳移动，带动开合板关闭进气阀，实现壳体内部压力过大时，自动泄压和自动关闭进气管的作用，防止发生危险。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1中的A处结构示意图；图3为本技术泄压管和进气管的内部结构示意图。图中：1-滑板、2-固定块、3-泄气管、4-进气管、5-壳体、6-第一弹簧、7-氧气过滤板、8-水分过滤板、9-二氧化碳过滤板、10-过滤箱体、11-吸附箱体、12-吸附柱、13-支撑板、14-输气管、15-出气管、16-抽风电机、17-推杆、18-第二弹簧、20-滑块、21-拉绳、22-固定箱体、23-开合板、24-第三弹簧、25-第四弹簧、26-卡块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3本技术提供一种技术方案：一种超纯氢气纯化装置，包括壳体5，壳体5的上端左侧固定连接有固定块2，且固定块2的下端设有过滤箱体10，过滤箱体10的内部中间位置处设有水分过滤板8，且水分过滤板8的左右两侧分别设有氧气过滤板7和二氧化碳过滤板9，水分过滤板8、氧气过滤板7和二氧化碳过滤板9的上下两端分别滑动连接有固定块2和过滤箱体10，且过滤箱体10的下端滑动连接有壳体5，壳体5左端上侧固定连接有泄气管3，且泄气管3的内部滑动连接有滑块20，滑块20的左端固定连接有推杆17，且推杆17的外部滑动连接有泄气管3，滑块20的右端固定连接有拉绳21，且拉绳21的另一端固定连接有开合板23，开合板23的下端固定连接有第三弹簧24，且第三弹簧24的下端固定连接有固定箱体22，固定箱体22的左端固定连接有壳体5，且固定箱体22与开合板23滑动连接，泄气管3的下侧设有进气管4，且进气管4的外部固定连接有壳体5。固定块2的上端左右两侧滑动连接有滑板1，且滑板1的一端固定连接有第一弹簧6，第一弹簧6的另一端固定连接有固定块2，且滑板1外部的一侧外部滑动连接有壳体5，壳体5通过滑板1与固定块2固定连接，通过设置的滑板1，便于对固定块2的固定，从而便于对过滤箱体10的固定和拆卸，便于对内部过滤板的更换和清洗；过滤箱体10的右侧设有吸附箱体11，且吸附箱体11的外部固定连接有壳体5，吸附箱体11的内部固定连接有吸附柱12，且吸附柱12的外部固定连接有支撑板13，支撑板13的外部固定连接有吸附箱体11，且吸附箱体11的左右两侧均固定连接有输气管14，吸附箱体11的右端下侧固定连接有出气管15，出气管15的另一端内部固定连接有抽风电机16，通过设置的吸附柱12，便于对通过过滤箱体10过滤后的气体内部残余的N2、CH4脱除，通过设置吸附箱体11为多层，便于对内部残余气体的完全脱除，提高氢气的纯度，通过设置的抽风电机16带动超纯氢气排出壳体5的内部；过滤箱体10的上端左右两侧内部均固定连接有呈左右对称设置的第四弹簧25，且第四弹簧25的另本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯氢气纯化装置，包括壳体（5），其特征在于：所述壳体（5）的上端左侧固定连接有固定块（2），且固定块（2）的下端设有过滤箱体（10），所述过滤箱体（10）的内部中间位置处设有水分过滤板（8），且水分过滤板（8）的左右两侧分别设有氧气过滤板（7）和二氧化碳过滤板（9），所述水分过滤板（8）、氧气过滤板（7）和二氧化碳过滤板（9）的上下两端分别滑动连接有固定块（2）和过滤箱体（10），且过滤箱体（10）的下端滑动连接有壳体（5），所述壳体（5）左端上侧固定连接有泄气管（3），且泄气管（3）的内部滑动连接有滑块（20），所述滑块（20）的左端固定连接有推杆（17），且推杆（17）的外部滑动连接有泄气管（3），所述滑块（20）的右端固定连接有拉绳（21），且拉绳（21）的另一端固定连接有开合板（23），所述开合板（23）的下端固定连接有第三弹簧（24），且第三弹簧（24）的下端固定连接有固定箱体（22），所述固定箱体（22）的左端固定连接有壳体（5），且固定箱体（22）与开合板（23）滑动连接，所述泄气管（3）的下侧设有进气管（4），且进气管（4）的外部固定连接有壳体（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种超纯氢气纯化装置，包括壳体（5），其特征在于：所述壳体（5）的上端左侧固定连接有固定块（2），且固定块（2）的下端设有过滤箱体（10），所述过滤箱体（10）的内部中间位置处设有水分过滤板（8），且水分过滤板（8）的左右两侧分别设有氧气过滤板（7）和二氧化碳过滤板（9），所述水分过滤板（8）、氧气过滤板（7）和二氧化碳过滤板（9）的上下两端分别滑动连接有固定块（2）和过滤箱体（10），且过滤箱体（10）的下端滑动连接有壳体（5），所述壳体（5）左端上侧固定连接有泄气管（3），且泄气管（3）的内部滑动连接有滑块（20），所述滑块（20）的左端固定连接有推杆（17），且推杆（17）的外部滑动连接有泄气管（3），所述滑块（20）的右端固定连接有拉绳（21），且拉绳（21）的另一端固定连接有开合板（23），所述开合板（23）的下端固定连接有第三弹簧（24），且第三弹簧（24）的下端固定连接有固定箱体（22），所述固定箱体（22）的左端固定连接有壳体（5），且固定箱体（22）与开合板（23）滑动连接，所述泄气管（3）的下侧设有进气管（4），且进气管（4）的外部固定连接有壳体（5）。


2.根据权利要求1所述的一种超纯氢气纯化装置，其特征在于：所述固定块（2）的上端左右两侧滑动连接有滑板（1），且滑板（1）的一端固定连接有第一弹簧（...

【专利技术属性】
技术研发人员：高嵩，侯鹏，刘超，冯玉扉，崔冬，刘君伟，霍金虎，杨荣博，阮方，
申请(专利权)人：大连华邦化学有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21