准分子灯制造技术

本发明专利技术提供一种准分子灯，其包括放电容器、第一电极以及第二电极。放电容器包括透光本体、放电用气体、反射层以及两个部分穿透部分吸收层。透光本体具有第一、第二外表面、两个外侧面、第一、第二内表面以及两个内侧面。两个外侧面分别连接于第一外表面与第二外表面之间。两个内侧面分别连接于第一内表面与第二内表面之间。第一内表面、第二内表面以及两个内侧面形成密封空间。放电用气体位于密封空间中。反射层设置在第一内表面上。两个部分穿透部分吸收层分别设置在两个内侧面上。第一电极设置在第一外表面上。第二电极设置在第二外表面上。

【技术实现步骤摘要】
准分子灯
本专利技术涉及一种准分子灯，尤其涉及一种应用于半导体或液晶显示元件的制程的准分子灯。
技术介绍
随着制程的改变及需求提升，目前准分子灯的使用需要很多灯管，才能满足制程需求(例如大的照射面积)。然而，灯管数量的增加会导致制程成本的增加。因此，如何在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量，便成为研发人员亟欲解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术提供一种准分子灯，其可在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量。本专利技术的一实施例提供一种准分子灯，其包括放电容器、第一电极以及第二电极。放电容器包括透光本体、放电用气体、反射层以及两个部分穿透部分吸收层。透光本体具有第一外表面、第二外表面、两个外侧面、第一内表面、第二内表面以及两个内侧面。两个外侧面分别连接于第一外表面与第二外表面之间。两个内侧面分别连接于第一内表面与第二内表面之间。第一内表面、第二内表面以及两个内侧面形成密封空间。放电用气体位于密封空间中。反射层设置在第一内表面上。两个部分穿透部分吸收层分别设置在两个内侧面上。第一电极设置在第一外表面上。第二电极设置在第二外表面上。在本专利技术的一实施例中，两个内侧面以及两个外侧面皆为弧面。在本专利技术的一实施例中，两个外侧面之间的距离大于40mm。在本专利技术的一实施例中，反射层的材料包括二氧化硅。在本专利技术的一实施例中，两个部分穿透部分吸收层的材料包括氧化钇。在本专利技术的一实施例中，两个部分穿透部分吸收层的穿透率落在40％至50％的范围内。在本专利技术的一实施例中，第二电极为网格电极。在本专利技术的一实施例中，网格电极具有多个透光开口。多个透光开口的形状为长方形。在本专利技术的一实施例中，长方形的长边平行于第二外表面的长边。在本专利技术的一实施例中，长方形的长边的长度大于2.8mm。基于上述，在本专利技术的实施例中，两个部分穿透部分吸收层分别设置在透光本体的两个内侧面上。两个部分穿透部分吸收层除了可减少透光本体的两侧的应力之外，还可让部分的光穿透。因此，放电用气体所产生的光除了可从透光本体的第二内表面射出之外，还可从透光本体的两个内侧面射出，达到提升照射面积的效果。是以，准分子灯可在提升照射面积的同时，减少灯管所需的数量。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明包含附图以便进一步理解本专利技术，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本专利技术的实施例，并与描述一起用于解释本专利技术的原理。图1是本专利技术的一实施例的一种准分子灯的剖面示意图；图2是图1中第二电极的局部正视图；图3是实验例与比较例的照射宽度与相对UV强度的关系图。附图标号说明1：准分子灯；10：放电容器；11：第一电极；12：第二电极；100：透光本体；101：放电用气体；102：反射层；103、104：部分穿透部分吸收层；C1、C2：曲线；D：距离；L、W：长度；LS：长边；O：透光开口；SI1：第一内表面；SI2：第二内表面；SO1：第一外表面；SO2：第二外表面；SP：密封空间；SS：短边；SSI：内侧面；SSO：外侧面；T1、T2：厚度；X：第一方向；Y：第二方向；Z：第三方向。具体实施方式本文中所提到的方向用语，例如：“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明，而并非用来限制本专利技术。在附图中，各附图示出的是特定实施例中所使用的方法、结构和/或材料的通常性特征。然而，这些附图不应被解释为界定或限制由这些实施例所涵盖的范围或性质。举例来说，为了清楚起见，各膜层、区域或结构的相对尺寸、厚度及位置可能缩小或放大。在下述实施例中，相同或相似的元件将采用相同或相似的标号，且将省略其赘述。此外，不同实施例中的特征在没有冲突的情况下可相互组合，且依本说明书或权利要求所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本专利技术涵盖的范围内。本说明书或权利要求中提及的“第一”、“第二”等用语仅用以命名分立(discrete)的元件或区别不同实施例或范围，而并非用来限制元件数量上的上限或下限，也并非用以限定元件的制造顺序或设置顺序。此外，一元件/膜层设置在另一元件/膜层上(或上方)可涵盖所述元件/膜层直接设置在所述另一元件/膜层上(或上方)，且两个元件/膜层直接接触的情况；以及所述元件/膜层间接设置在所述另一元件/膜层上(或上方)，且两个元件/膜层之间存在一或多个元件/膜层的情况。本说明书或权利要求中提及的给定数值或范围应涵盖10％的误差范围。举例来说，“宽度为10mm”表示该宽度实际可能落在9.1mm至10.1mm的范围内，即9.1mm≤宽度≤10.1mm。图1是本专利技术的一实施例的一种准分子灯1的剖面示意图。请参照图1，准分子灯1包括放电容器10、第一电极11以及第二电极12。放电容器10位于第一电极11以及第二电极12之间，且放电容器10包括透光本体100、放电用气体101、反射层102、部分穿透部分吸收层103以及部分穿透部分吸收层104。透光本体100由透光材料形成。透光材料可包括石英玻璃，但不以此为限。在本实施例中，透光本体100大致上为呈现扁平状的长方体。具体地，透光本体100的短边例如平行于第一方向X，透光本体100的长边例如平行于第二方向Y，且透光本体100的厚度方向平行于第三方向Z，其中第一方向X、第二方向Y以及第三方向Z彼此垂直。然而，透光本体100的外观没有特别的限制。在一实施例中，透光本体100也可以是圆筒体。透光本体100具有第一外表面SO1、第二外表面SO2、两个外侧面SSO、第一内表面SI1、第二内表面SI2以及两个内侧面SSI。两个外侧面SSO分别连接于第一外表面SO1与第二外表面SO2之间。两个内侧面SSI分别连接于第一内表面SI1与第二内表面SI2之间。第一外表面SO1、第二外表面SO2以及两个外侧面SSO分别位于第一内表面SI1、第二内表面SI2以及两个内侧面SSI的外侧，且第一内表面SI1、第二内表面SI2以及两个内侧面SSI形成密封空间SP。放电用气体101位于密封空间SP中。不同的放电用气体可产生不同波长的准分子光，并且应用在不同的制程。举例来说，当放电用气体101为氙气时，准分子灯1可提供波长为172nm的紫外光，且准分子灯1可应用于臭氧洗净制程。另一方面，当放电用气体101为氯化氙气体时，准分子灯1可提供波长为308nm的紫外光，且准分子灯1可应用于印刷制程。然而，放电用气体101不限于氙气以及氯化氙气体，且准分子灯1的应用不以上述为限。反射层102设置在第一内表面SI1上。反射层102用以将光(如放电用气体101所产生的紫外光)反射，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准分子灯，包括：/n放电容器，包括：/n透光本体，具有第一外表面、第二外表面、两个外侧面、第一内表面、第二内表面以及两个内侧面，其中所述两个外侧面分别连接于所述第一外表面与所述第二外表面之间，所述两个内侧面分别连接于所述第一内表面与所述第二内表面之间，且所述第一内表面、所述第二内表面以及所述两个内侧面形成密封空间；/n放电用气体，位于所述密封空间中；/n反射层，设置在所述第一内表面上；以及/n两个部分穿透部分吸收层，分别设置在所述两个内侧面上；/n第一电极，设置在所述第一外表面上；以及/n第二电极，设置在所述第二外表面上。/n

【技术特征摘要】
20191101 TW 1081397641.一种准分子灯，包括：
放电容器，包括：
透光本体，具有第一外表面、第二外表面、两个外侧面、第一内表面、第二内表面以及两个内侧面，其中所述两个外侧面分别连接于所述第一外表面与所述第二外表面之间，所述两个内侧面分别连接于所述第一内表面与所述第二内表面之间，且所述第一内表面、所述第二内表面以及所述两个内侧面形成密封空间；
放电用气体，位于所述密封空间中；
反射层，设置在所述第一内表面上；以及
两个部分穿透部分吸收层，分别设置在所述两个内侧面上；
第一电极，设置在所述第一外表面上；以及
第二电极，设置在所述第二外表面上。


2.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述两个内侧面以及所述两个外侧面皆为弧面。


3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙立峰，坂元弘实，
申请(专利权)人：崇翌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71