准分子灯及准分子灯的制造方法技术

本发明专利技术提供一种准分子灯及准分子灯的制造方法。准分子灯包括放电容器、一对电极、一对连接部、一对引线以及一对非经转化的保护膜。放电容器具有相对的第一外表面及第二外表面。一对电极分别设置于放电容器的第一外表面及第二外表面。一对连接部分别设置于一对电极上，并且一对连接部各自包括焊料。一对引线经由一对连接部分别电性连接至一对电极。一对非经转化的保护膜分别覆盖在一对连接部的表面上。

【技术实现步骤摘要】
准分子灯及准分子灯的制造方法
本专利技术涉及一种准分子灯及准分子灯的制造方法，尤其涉及一种应用于半导体或液晶显示元件的制程的准分子灯及准分子灯的制造方法。
技术介绍
在半导体或液晶显示元件的制程中，利用紫外线的干式洗净方法被广泛地应用于分解并去除附着于半导体基板的硅晶圆或液晶基板的玻璃基板的表面的有机化合物。特别是，使用准分子灯来进行的紫外线的干式洗净方法能够有效率地在短时间加以洗净。然而，准分子灯于使用时或使用后，由于位于准分子灯中的焊接部(焊料)因接触清洁液(乙醇、异丙醇)、酸气(硫酸、硝酸、醋酸等)、紫外线或是准分子灯本身冷却不足时，会导致焊接部氧化或温度过高而软化的情形，产生焊接部剥离或异常放电、电极烧毁、准分子灯损坏的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种耐久性佳的准分子灯及制程简单的准分子灯的制造方法。本专利技术提供一种准分子灯，包括：放电容器、一对电极、一对连接部、一对引线以及一对非经转化的保护膜。放电容器由透光介质所构成。放电容器的内部存在密封空间，其中密封空间存在放电用气体。放电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准分子灯，包括：/n放电容器，由透光介质所构成，所述放电容器的内部存在密封空间，所述密封空间存在放电用气体，所述放电容器具有相对的第一外表面及第二外表面；/n一对电极，分别设置于所述放电容器的所述第一外表面及所述第二外表面；/n一对连接部，分别设置于所述一对电极上，并且所述一对连接部各自包括焊料；/n一对引线，经由所述一对连接部分别电性连接至所述一对电极；/n一对非经转化的保护膜，分别覆盖在所述一对连接部的表面上。/n

【技术特征摘要】
1.一种准分子灯，包括：
放电容器，由透光介质所构成，所述放电容器的内部存在密封空间，所述密封空间存在放电用气体，所述放电容器具有相对的第一外表面及第二外表面；
一对电极，分别设置于所述放电容器的所述第一外表面及所述第二外表面；
一对连接部，分别设置于所述一对电极上，并且所述一对连接部各自包括焊料；
一对引线，经由所述一对连接部分别电性连接至所述一对电极；
一对非经转化的保护膜，分别覆盖在所述一对连接部的表面上。


2.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述一对非经转化的保护膜是由黏着剂组成物所形成，所述黏着剂组成物包括氧化铝、二氧化硅、金属硅酸盐以及水。


3.根据权利要求2所述的准分子灯，其中所述黏着剂组成物包括1质量％～3质量％的氧化铝、63质量％～73质量％的二氧化硅、4质量％～8质量％的金属硅酸盐以及21质量％～29质量％的水。


4.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述一对连接部各自还包括金属片，所述金属片经由所述焊料连接至对应的电极。


5.根据权利要求4所述的准分子灯，其中所述金属片为表面形成金的镍片。


6.一种准分子灯的制造方法，包括：
提供放电容器，其中放电容器由透光介质...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙立峰，
申请(专利权)人：崇翌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71