一种SF6漏率标定无级调节装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。本发明专利技术通过外接SF6标准气体，采用微调阀实现配气室SF6进气压力的无级调节，由固定流导小孔和动态流量法原理实时、准确计算出产生的SF6标准漏率，能够实现宽范围SF6标准漏率的快速产生和无级调节，具有漏率调节范围宽、调节精度高、使用方便、工作可靠等优点，可以满足高压电气设备中微量SF6泄漏的精确测量和漏率标定需求，且仅需一台SF6标准漏率产生装置就能满足不同SF6漏率范围测试时的高精度漏率标定需求。

【技术实现步骤摘要】
一种SF6漏率标定无级调节装置及方法
本专利技术涉及无损检测、真空泄漏检测
，涉及SF6泄漏检测过程中的漏率标定方法研究，具体涉及一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。
技术介绍
SF6是一种无色、无味、无毒、不燃的惰性气体，具有优良的绝缘性能，广泛应用于高压电气设备中，是高压开关中普遍使用的一种绝缘气体。当高压开关中的SF6气体发生泄漏时，一方面会降低绝缘效果，另一方面SF6泄漏到空气中会破坏大气层，是“京都协议”中禁止排放的气体。目前，随着产品可靠性和环保要求的提高，传统的气泡法、卤素法SF6检漏方法在最小可检漏率指标上已经无法满足要求，仿照质谱检漏方法，采用真空质谱泄漏检测是提高SF6泄漏检测最小可检漏率指标的一种有效途径。真空质谱SF6泄漏检测的原理是质谱分析方法，其测量线性和有效最小可检测漏率指标受测量范围、被测对象体积、环境条件等多种因素确定，采用标准漏孔标定方法是质谱检漏中的一种常用方法。传统的氦质谱检漏方法中使用到的氦标准漏孔具有漏率标称值不可调节的特点，为满足不同泄漏检测范围的需要，在泄漏检测过程中需配置多种量程的氦标准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，包括：微调阀(2)、配气室(8)、固定导流小孔(5)、限流小孔(12)、预抽阀(10)、主抽阀(11)、抽空泵(13)、配气室压力采集器(15)和截止阀；/n其中，SF6气源一方面经第一截止阀(1)、微调阀(2)接配气室(8)，另一方面经第一截止阀(1)、第三截止阀(7)接配气室(8)；抽空泵(13)一方面经预抽阀(10)接配气室(8)，另一方面经限流小孔(12)、主抽阀(11)接配气室(8)；SF6漏率测试装置一方面经第二截止阀(6)、固定导流小孔(5)接配气室(8)，另一方面经第二截止阀(6)、第四截止阀(9)接配气室(8)；配气室(8)上还...

【技术特征摘要】
1.一种SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，包括：微调阀(2)、配气室(8)、固定导流小孔(5)、限流小孔(12)、预抽阀(10)、主抽阀(11)、抽空泵(13)、配气室压力采集器(15)和截止阀；
其中，SF6气源一方面经第一截止阀(1)、微调阀(2)接配气室(8)，另一方面经第一截止阀(1)、第三截止阀(7)接配气室(8)；抽空泵(13)一方面经预抽阀(10)接配气室(8)，另一方面经限流小孔(12)、主抽阀(11)接配气室(8)；SF6漏率测试装置一方面经第二截止阀(6)、固定导流小孔(5)接配气室(8)，另一方面经第二截止阀(6)、第四截止阀(9)接配气室(8)；配气室(8)上还接有监测规(3)和测量规(4)，用于测量配气室(8)内的压力；
其中，SF6气体以分子流状态通过固定流导小孔(5)；通过调节微调阀(2)的开启度实现配气室(8)压力调节，进而实现SF6标准漏率调节；配气室压力采集器(15)根据配气室(8)的压力值以及固定流导小孔(5)值，实时、自动计算出标准漏率值。


2.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，还包括标准漏率显示器(14)，以曲线和数据的方式实时显示标准漏率值。


3.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，所述第一截止阀(1)、第二截止阀(6)采用波纹管截止阀。


4.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，监测规(3)选用测量范围在0.1Pa～1×105Pa的低真空规。


5.如权利要求4所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，监测规(3)选用电阻规或热偶规。


6.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，测量规(4)选用电容薄膜规，测量范围根据SF6漏率调节范围选定；若测量范围大于3个数量级，则选择多只电容薄膜规组合使用，以确保配气室(8)压力测量的线性。


7.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈联，成永军，董猛，孙雯君，郭美如，张瑞年，冯天佑，王玉洁，管保国，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃;62