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本发明公开了一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。本发明通过外接SF6标准气体，采用微调阀实现配气室SF6进气压力的无级调节，由固定流导小孔和动态流量法原理实时、准确计算出产生的SF6标准漏率，能够实现宽范围SF6标准漏率的快速产生和无级调...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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