隔膜阀和流量控制装置制造方法及图纸

提供减轻了阀杆的轴晃动的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(16)，其在内部具有流体的流路(16a、16b)，并且在一面具有隔膜配置部(16d)；隔膜(17)，其配置于所述隔膜配置部(16d)，并且通过弹性变形能够进行所述流路的开闭和开度的调节；以及驱动部(12)，其具有阀杆(8)和致动器(2)，该阀杆(8)对所述隔膜(17)进行按压并且使所述隔膜(17)弹性变形，该致动器(2)驱动该阀杆(8)，其特征在于，所述阀杆(8)借助树脂制套筒(15)被阀盖(10)保持为能够沿着轴向移位，该阀盖(10)固定于所述阀体(16)侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】隔膜阀和流量控制装置
本专利技术涉及隔膜阀、流量控制装置、流体控制装置、以及半导体制造装置。
技术介绍
在用于半导体制造工艺等的处理气体的流量控制中，广泛使用有质量流量控制装置(质量流量控制器)。对于该质量流量控制装置，例如，在为压力式的质量流量控制装置的情况下，使用设于流路的节流件的前后的压力来测量质量流量，并且利用控制阀进行调节，以使该质量流量成为目标值。作为这样的控制阀，广泛使用有隔膜阀。隔膜阀成为这样的构造：利用驱动部对由金属薄板等构成的隔膜进行按压而使其弹性变形，进行流路的开闭和开度的调节。例如，如图5(专利文献1的图4)所示，该驱动部包括对隔膜(图1的附图标记17)进行按压的阀杆8、以及对阀杆8进行驱动的压电致动器(PiezoActuator)2。阀杆8经由位移传递机构(4、7、6、5、5b)被压电致动器2向打开阀的方向驱动，在未对压电致动器2施加电压时，该阀杆8被碟形弹簧9向关闭隔膜阀的方向施力，并且经由O型密封圈14被阀盖10的贯通孔10b引导(专利文献1)。该O型密封圈14由丁腈橡胶、氟橡胶、硅橡胶、氯丁橡胶等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种隔膜阀，其具有：阀体，其在内部具有流路，并且在一面具有隔膜配置部；隔膜，其配置于所述隔膜配置部，并且通过弹性变形能够进行所述流路的开闭和开度的调节；以及驱动部，其具有阀杆和致动器，所述阀杆对所述隔膜进行按压并且使所述隔膜弹性变形，所述致动器驱动该阀杆，其特征在于，/n所述阀杆借助树脂制套筒被阀盖保持为能够沿着轴向移位，该阀盖固定于所述阀体。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180929 JP 2018-1861871.一种隔膜阀，其具有：阀体，其在内部具有流路，并且在一面具有隔膜配置部；隔膜，其配置于所述隔膜配置部，并且通过弹性变形能够进行所述流路的开闭和开度的调节；以及驱动部，其具有阀杆和致动器，所述阀杆对所述隔膜进行按压并且使所述隔膜弹性变形，所述致动器驱动该阀杆，其特征在于，
所述阀杆借助树脂制套筒被阀盖保持为能够沿着轴向移位，该阀盖固定于所述阀体。


2.根据权利要求1所述的隔膜阀，其中，
所述树脂制套筒由聚缩醛、超高分子量聚乙烯、氟树脂、酚醛树脂中的任一者形成。

【专利技术属性】
技术研发人员：执行耕平，广瀬隆，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP