【技术实现步骤摘要】
一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法
本专利技术属于柔性电子器件
,特别涉及一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法。
技术介绍
透明导电膜在可见光范围内具有高的透过率和高的导电率,在发光器件、传感器、显示器、电磁屏蔽、防静电膜等领域具有广泛的应用。目前,已经在市场上大规模商品化的柔性导电膜主要是基于金属材料与柔性基底的金属型导电薄膜,应用最广泛的是ITO透明导电薄膜,但是该材料比较脆,且制备温度较高;此外因为膜中含有金属In,是一种稀有金属,既稀缺、价格昂贵成本高,又有毒,会污染环境。因此探索新型无毒的材料和简单的工艺,制造绿色环保、成本低廉、性能良好的柔性透明导电薄膜具有重要意义。传统制备柔性透明导电薄膜的方法主要分为物理沉积技术和化学沉积技术两大类,其中物理沉积技术主要包括离子镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射、丝印和喷墨打印法等;化学沉积技术主要包括化学气相沉积、溶胶凝胶、喷雾热解以及分子束外延等。过去制备ITO薄膜使用最多的为磁控溅射镀膜法,考虑到ITO薄膜的上述缺点,近年来一些研究通过将纳米级导电材料,如石墨烯、碳纳米管、银纳米颗粒等材料溶解在溶剂中形成导电浆料,通过打印或印刷的方式沉积在柔性透明衬底上,实现柔性透明导电薄膜的制备。这种方法的缺陷是会受打印和印刷工艺制约,存在分辨率较低或者导电浆料不能用于打印的情况。因此最近的一些研究通过压印技术在柔性基底上制备沟槽结构,或者通过光刻得到模板后翻模得到沟槽结构后,然后将导电浆料填充到沟槽结构中或者通过蒸镀、溅射金属等方法制备得到 ...
【技术保护点】
1.一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:具体步骤如下:/n第一步:将洁净衬底(3)置于微立体光刻3D打印系统的打印平台上并固定,然后用可溶性光敏树脂作为3D打印材料,在洁净衬底(3)上打印具有沟槽结构(1)的可溶性光敏树脂模具(2);/n第二步:使用医用刮刀将导电浆料刮入可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构(1)中,填满沟槽,然后将其置于60-80℃烘台上加热5-15分钟,固化导电浆料,形成嵌入在可溶性光敏树脂模具(2)中的导电网络(4);/n第三步:将第二步中内部形成了导电网络(4)的可溶性光敏树脂模具(2)置于质量浓度1-3%的NaOH溶液中,浸泡1.5-2.5h,溶解可溶性光敏树脂模具(2),得到裸露在洁净衬底(3)表面的导电网络(4),用去离子水轻轻冲洗残余的NaOH溶液后,置于60-80℃的烘台上加热5-15分钟烘干导电网络(4);/n第四步:将第三步中得到的具有导电网络(4)的洁净衬底(3)置于匀胶机上旋涂3-5ml柔性透明聚合物(5),旋涂参数为低速600-700rad/min,10-12s,高速1000-1200rad/min,30-40s,然后 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:具体步骤如下:
第一步:将洁净衬底(3)置于微立体光刻3D打印系统的打印平台上并固定,然后用可溶性光敏树脂作为3D打印材料,在洁净衬底(3)上打印具有沟槽结构(1)的可溶性光敏树脂模具(2);
第二步:使用医用刮刀将导电浆料刮入可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构(1)中,填满沟槽,然后将其置于60-80℃烘台上加热5-15分钟,固化导电浆料,形成嵌入在可溶性光敏树脂模具(2)中的导电网络(4);
第三步:将第二步中内部形成了导电网络(4)的可溶性光敏树脂模具(2)置于质量浓度1-3%的NaOH溶液中,浸泡1.5-2.5h,溶解可溶性光敏树脂模具(2),得到裸露在洁净衬底(3)表面的导电网络(4),用去离子水轻轻冲洗残余的NaOH溶液后,置于60-80℃的烘台上加热5-15分钟烘干导电网络(4);
第四步:将第三步中得到的具有导电网络(4)的洁净衬底(3)置于匀胶机上旋涂3-5ml柔性透明聚合物(5),旋涂参数为低速600-700rad/min,10-12s,高速1000-1200rad/min,30-40s,然后置于真空干燥箱中抽真空10-15分钟,使导电网络(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中,再置于75-85℃的真空干燥箱中加热1-2h固化柔性透明聚合物(5);
第五步:将第四步中得到的固化的柔性透明聚合物(5)从洁净衬底(3)上揭下,其中导电网络(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中,伴随柔性透明聚合物(5)一起从洁净衬底(3)上揭下,形成了柔性透明导电薄膜(6)。
2.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:所述的第一步中洁净衬底(3)为刚性洁净衬底,优选使用硅片。
3.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:所述的第一步中沟槽结构(1)的形状结构通过用于微立体光刻技术的模型自由设计构建。
4.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:所述的第二步中用于刮涂的导电浆料包括碳纳米管(CNT)溶液、石墨烯溶液、导电银浆或液态金属。
5.根据权利要求1所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:所述的第四步中柔性透明聚合物(5)为能通过交联反应从液态固化为固态,且固化后具有透明、柔性性质的聚合物,优选使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)。
6.根据权利要求1至5任一项所述的一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,其特征在于:具体步骤如下:
第一步,选用硅片作为洁净衬底(3),将硅片置于微立体光刻3D打印系统的打印平台上并固定,然后用可溶性光敏树脂作为3D打印材料,根据微立体光刻技术的模型设计构建方格网络结构,并在硅片上打印沟槽结构(1)为方格网络结构的可溶性光敏树脂模具(2),打印沟槽线宽为10μm,间距为90μm,深度为15μm;
第二步,以10wt%的碳纳米管(CNT)溶液为导电浆料,在可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构中刮涂10wt%的碳纳米管(CNT)溶液,具体步骤为使用医用刮刀将10wt%的碳纳米管(CNT)溶液刮入可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构中,填满沟槽,然后将其置于60℃的烘台上加热10分钟,固化导电浆料,形成嵌入在可溶性光敏树脂模具(2)中的导电网络(4);
第三步,将第二步中内部形成了导电网络(4)的可溶性光敏树脂模具(2)置于质量浓度1%的NaOH溶液中,浸泡2.5h溶解可溶性光敏树脂模具,得到裸露在硅片表面的导电网络(4),用去离子水轻轻冲洗残余的NaOH溶液后,置于60℃的烘台上加热15分钟烘干导电网络(4);
第四步,柔性透明聚合物(5)采用聚二甲基硅氧烷(PDMS),将第三步所得具有导电网络(4)的硅片置于匀胶机上旋涂聚二甲基硅氧烷(PDMS),具体为:将聚二甲基硅氧烷(PDMS)本体:固化剂按质量比为10:1比例混合均匀后,取3ml浇筑在具有导电网络(4)的硅片上,用匀胶机旋涂,旋涂参数为低速600rad/min,12s,高速1000rad/min,40s,置于真空干燥箱中抽真空10min,使导电网络(4)完全嵌入在聚二甲基硅氧烷(PDMS)中,再将其置于75℃烘箱中加热2h,使聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化;
第五步,将固化的聚二甲基硅氧烷(PDMS)从硅片上揭下,其中导电网络(4)完全嵌入在聚二甲基硅氧烷(PDMS)中,会伴随聚二甲基硅氧烷(PDMS)一起从硅片上揭下,从而形成了柔性透明导电薄膜(6)。
7.一种基于微立体光刻技术制备柔性透明导电薄膜的方法,具体步骤如下:
第一步,选用硅片作为洁净衬底(3),将硅片置于微立体光刻3D打印系统的打印平台上并固定,然后用可溶性光敏树脂作为3D打印材料,根据微立体光刻技术的模型设计构建方格网络结构,并在硅片上打印沟槽结构(1)为方格网络结构的可溶性光敏树脂模具(2),打印沟槽线宽为10μm,间距为90μm,深度为15μm;
第二步,以7wt%的碳纳米管(CNT)溶液为导电浆料,在可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构中刮涂7wt%的碳纳米管(CNT)溶液,具体步骤为:使用医用刮刀将7wt%的碳纳米管(CNT)溶液刮入可溶性光敏树脂模具(2)的沟槽结构中,填满沟槽,然后将其置于65℃的烘台上加热15分钟,固化导电浆料,形成嵌入在可溶性光敏树脂模具(2)中的导电网络(4);
第三步,将第二步中内部形成了导电网络(4)的可溶性光敏树脂模具(2)置于质量浓度1.5%的NaOH溶液中,浸泡2.5h溶解可溶性光敏树脂模具,得到裸露在硅片表面的导电网络(4),用去离子水轻轻冲洗残余的NaOH溶液后,置于65℃的烘台上加热15分钟烘干导电网络(4);
第四步,柔性透明聚合物(5)采用聚二甲基硅氧烷(PDMS),将第三步所得具有导电网络(4)的硅片置于匀胶机上旋涂聚二甲基硅氧烷(PDMS),具体为:将聚二甲基硅氧烷(PDMS)本体:固化剂按质量比为10:1比例混合均匀后取3.5ml浇筑在具有导电网络(4)的硅片上,用匀胶机旋涂,旋涂参数为低速600rad/min,12s,高速1000rad/min,40s,置于真空干燥箱中抽真空10mi...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈小明,王硕,邵金友,王春江,张洁,李祥明,田洪淼,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:陕西;61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。