无水氢氟酸尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管；喷射器，其进气端与所述常压尾气收集管连接；带压尾气收集管；石墨降膜吸收器，其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接，所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路；增浓槽，其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接，其底部的出液口与回收管路连接。

【技术实现步骤摘要】
无水氢氟酸尾气处理装置
本技术涉及一种尾气回收装置，尤其涉及一种无水氢氟酸尾气处理装置。
技术介绍
目前，国内无水氢氟酸的尾气都是使用水洗加上化学药剂的方法进行吸附化学气体。然而这种方法尾气的吸附率太低，且得到一定浓度后就无法增浓。
技术实现思路
本技术提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置，可以有效解决上述问题。本技术是这样实现的：一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管；喷射器，其进气端与所述常压尾气收集管连接；带压尾气收集管；石墨降膜吸收器，其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接，所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路；增浓槽，其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接，其底部的出液口与回收管路连接。作为进一步改进的，所述废气处理单元包括顺序连接的第一洗涤塔、第二洗涤塔以及风车。作为进一步改进的，所述无水氢氟酸尾气处理装置进一步包括：环境尾气收集管，其与所述第一洗涤塔的进气口相连接。本技术的有益效果是：其一，本技术通过常压尾气以及带压尾气的收集，并通过石墨降膜吸收器以及增浓槽的处理可以增加回收酸的浓度(50％以上，现有技术中一般只能达到30％左右)，使其达到可回收的标准；其二，通过回收处理，可以减少尾气处理的量，以及后续废水的处理量，实现节能环保。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施例提供的无水氢氟酸尾气处理装置的结构示意图。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。参照图1所示，本技术实施例提供一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管10；喷射器12，其进气端与所述常压尾气收集管10连接；带压尾气收集管11；石墨降膜吸收器13，其进气端分别与所述带压尾气收集管11以及所述喷射器12的出气端连接，所述石墨降膜吸收器13还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器13外部的冷却循环管路14；增浓槽15，其顶部的进液口151与所述石墨降膜吸收器13的出液口相连接，其底部的出液口152通过一泵与回收管路17连接。作为进一步改进的，所述废气处理单元包括顺序连接的第一洗涤塔19、第二洗涤塔20以及风车21。作为进一步改进的，所述无水氢氟酸尾气处理装置进一步包括：环境尾气收集管18，其与所述第一洗涤塔19的进气口相连接。所述出液口152进一步通过所述泵连接所述喷射器12，从而可以对所述喷射器12进行加压。本无水氢氟酸尾气处理装置的工作原理为：所述常压尾气收集管10收集的常压尾气经所述喷射器12增压喷射后与所述带压尾气收集管11的带压尾气进入所述石墨降膜吸收器13对所述无水氢氟酸进行冷却(冷却循环管路14)及吸收，吸收后的无水氢氟酸通过所述增浓槽15进行增浓处理，当浓度达到可回收标准时，通过回收管路17回收。无法吸收的废气，则依次通过第一洗涤塔19、第二洗涤塔20进行洗涤符合排放标准后通过所述风车21排放。另外，本技术还可以通过环境尾气收集管18收集环境中的废气，并通过第一洗涤塔19、第二洗涤塔20进行洗涤符合排放标准后通过所述风车21排放，从而最大限度的降低对环境的污染。以上所述仅为本技术的优选实施方式而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无水氢氟酸尾气处理装置，其特征在于，包括：/n常压尾气收集管(10)；/n喷射器(12)，其进气端与所述常压尾气收集管(10)连接；/n带压尾气收集管(11)；/n石墨降膜吸收器(13)，其进气端分别与所述带压尾气收集管(11)以及所述喷射器(12)的出气端连接，所述石墨降膜吸收器(13)还包括一与废气处理单元连接的出气口；/n设置于所述石墨降膜吸收器(13)外部的冷却循环管路(14)；/n增浓槽(15)，其顶部的进液口(151)与所述石墨降膜吸收器(13)的出液口相连接，其底部的出液口(152)与回收管路(17)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种无水氢氟酸尾气处理装置，其特征在于，包括：
常压尾气收集管(10)；
喷射器(12)，其进气端与所述常压尾气收集管(10)连接；
带压尾气收集管(11)；
石墨降膜吸收器(13)，其进气端分别与所述带压尾气收集管(11)以及所述喷射器(12)的出气端连接，所述石墨降膜吸收器(13)还包括一与废气处理单元连接的出气口；
设置于所述石墨降膜吸收器(13)外部的冷却循环管路(14)；
增浓槽(15)，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆彦成，刘奕丰，任建业，胡侃中，吴全贵，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35