解析装置、解析方法及解析程序制造方法及图纸

提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置；以及，解析部，其从复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外，提供一种解析方法。另外，提供一种解析程序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】解析装置、解析方法及解析程序
本专利技术关于解析装置、解析方法及解析程序。
技术介绍
先前已知有一种试验装置，其在要对受测器件进行测量时，使治具接触受测器件来实行测量。专利技术所要解决的问题然而，对受测器件进行测量的测量系统的状态并非常时维持恒定，会因为各种要素而变动。因此，希望能够对获得自测量系统的信息进行解析来管理测量系统
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的第1方面提供一种解析装置。解析装置可具备取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值。解析装置可具备机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置。解析装置可具备解析部，其从复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。取得部可取得在受测器件中的不同位置处所测量到的复数个测量值；解析部可从复数个测量值将位置依存成分分离出来，所述位置依存成分依存于受测器件中的测量位置。位置依存成分可包含从受测器件的中心本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种解析装置，其具备：/n取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；/n机器学习部，其使用所述复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对所述受测器件进行测量的位置；以及，/n解析部，其从所述复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过所述机器学习部学习到的所述模型来算出的。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181012 JP 2018-1933251.一种解析装置，其具备：
取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；
机器学习部，其使用所述复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对所述受测器件进行测量的位置；以及，
解析部，其从所述复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过所述机器学习部学习到的所述模型来算出的。


2.如权利要求1所述的解析装置，其中，所述取得部取得在所述受测器件中的不同位置处所测量到的所述复数个测量值；
所述解析部从所述复数个测量值将所述位置依存成分分离出来，所述位置依存成分依存于所述受测器件中的测量位置。


3.如权利要求2所述的解析装置，其中，所述位置依存成分包含从前述受测器件的中心同心圆状地变化的成分。


4.如权利要求2或3所述的解析装置，其中，所述位置依存成分在将所述受测器件配置于坐标平面上的情况下，包含以下成分中的至少其中一者：依存于所述坐标平面中的其中一方的坐标轴方向的成分、及依存于所述坐标平面中的另一方的坐标轴方向的成分。


5.如权利要求2～4中任一项所述的解析装置，其中，所述受测器件是形成有复数个器件区域的晶圆；
所述取得部取得以下测量值中的至少其中一者：对器件区域个别地进行测量而得的所述复数个测量值、及对包含复数个所述器件区域的区域区块个别地进行测量而得的所述复数个测量值。


6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井裕二，杉村一，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP