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提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置；以及，解析部，其从复数个测量值将位置依存成分...
该专利属于爱德万测试株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱德万测试株式会社授权不得商用。

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