泵制造技术

泵具备：振动板(7)，其在第1主面连接有压电体；罩(10)，其具有顶板(31)和侧壁(11)，上述顶板(31)同振动板的与第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，上述侧壁(11)包围顶板与振动板之间的空间并与顶板的外周部连接；支承部(9)，其与侧壁连接，并支承振动板的外周；开口(17)，其形成于侧壁与振动板之间；以及突起(19)，其在顶板、侧壁和振动板中任一者上设置为向空间内突出，在从与顶板的主面和振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，突起设置于顶板的开口部与侧壁之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泵
本专利技术涉及泵，特别是涉及具备压电体的泵。
技术介绍
以往，将具备压电体的泵用作气体、液体等流体的吸引装置或者加压装置。泵存在通过振动板的振动至少部分地实现闭合针对泵室的进气口或者排气口的阀芯的功能的泵。例如，专利文献1记载有不具备阀芯的泵。泵通过粘贴有压电体的振动板的振动来实施进气和排气。专利文献1：日本特许第5177331号然而，在通过振动板的振动至少部分地实现阀芯的功能的泵中，存在如下问题：与泵室中的压力变化对应地产生流体从进气口和排气口向泵室的回流，使泵流量和泵压力减少。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于在通过压电体驱动的泵中提供减少流体的回流的泵。为了实现上述目的，根据本专利技术的一方面，是一种泵，具备：振动板，其在第1主面连接压电体；罩，其具有顶板和侧壁，上述顶板同上述振动板的与上述第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，上述侧壁包围上述顶板与上述振动板之间的空间并与上述顶板的外周部连接；支承部，其与上述侧壁连接，并支承上述振动板的外周；开口，其形成于上述侧壁与上述振动板之间；以及突起，其在上述顶板、上述侧壁和上述振动板中任一者上设置为向上述空间内突出，在从与上述顶板的主面和上述振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，上述突起设置于上述顶板的上述开口部与上述侧壁之间。根据本专利技术所涉及的泵，能够在通过压电体驱动的泵中提供减少流体的回流的泵。附图说明图1是实施方式1的泵的示意性的剖视图。图2A是从顶板侧观察的泵的分解立体图。图2B是从压电体侧观察的泵的分解立体图。图3A是实施方式1的泵的仰视图。图3B是图3A的A-A线的剖视图。图4是振动单元的俯视图。图5A是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5B是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5C是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5D是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5E是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5F是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5G是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图5H是表示在泵动作期间的振动板的位移的说明图。图6是实施方式2的泵的示意性的剖视图。图7是实施方式2的变形例的泵的示意性的剖视图。图8是实施方式3的泵的示意性的剖视图。图9是实施方式4的泵的示意性的剖视图。图10是实施方式5的泵的示意性的剖视图。图11是变形例的泵的示意性的剖视图。图12是变形例的泵的示意性的剖视图。图13A是变形例的泵的示意性的剖视图。图13B是从顶板侧观察的泵的分解立体图。图13C是从压电体侧观察的泵的分解立体图。图14是阀的俯视图。图15是变形例的振动单元的俯视图。图16是变形例的振动单元的俯视图。图17是变形例的振动单元的俯视图。具体实施方式本专利技术的一方面的泵具备：振动板，其在第1主面连接压电体；罩，其具备顶板和侧壁，上述顶板同上述振动板的与上述第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，上述侧壁包围上述顶板与上述振动板之间的空间并与上述顶板的外周部连接；支承部，其与上述侧壁连接，并支承上述振动板的外周；开口，其形成于上述侧壁与上述振动板之间；以及突起，其在上述顶板、上述侧壁和上述振动板中任一者上设置为向上述空间内突出，在从与上述顶板的主面和上述振动板的第2主面所对置的朝向正交的方向剖视时，上述突起设置于上述顶板的上述开口部与上述侧壁之间。根据这样的结构，通过突起，能够抑制流体向由顶板、侧壁、振动板围起的空间的回流，得到较大的泵流量和泵压力。另外，也可以是，上述振动板为圆板形状。根据这样的结构，屈曲振动从主面中心至外周以同心圆状产生。另外，也可以是，上述支承部具有沿着上述振动板的外周缘的梁形状。根据这样的结构，能够进一步增大振动板的外周缘的位移，因此，能够提高回流的抑制效果，能够提高泵流量和泵压力。另外，也可以是，上述支承部具有梁部、连接上述振动板与上述梁部的第1连结部、连接上述侧壁与上述梁部的第2连结部，上述支承部设置有三个以上的多个，各个上述支承部隔开间隔设置。支承部设置有三个以上，各个支承部隔开间隔设置，因此，还能够适当地支承振动中的振动板。另外，也可以是，上述支承部的平均厚度比上述振动板的平均厚度薄。另外，也可以是，上述支承部的杨氏模量比上述振动板的杨氏模量低。根据这样的结构，能够使支承部比振动板挠性高。另外，也可以是，上述突起设置于上述顶板或者上述侧壁。根据这样的结构，突起不与振动板、支承部连接，因此，振动板的振动没有向突起泄漏而突起的振动小，因此，振动能量的损失小。另外，也可以是，上述突起与上述振动板之间的最短距离比上述振动板与上述顶板之间的平均间隔短。根据这样的结构，能够提高流体的回流的抑制效果，因此，能够提高泵流量和泵压力。另外，也可以是，上述突起与上述振动板对置。根据这样的结构，能够提高流体的回流的抑制效果，因此，能够提高泵压力。另外，也可以是，上述顶板是具有对称点的中心对称形状，且开口部没有位于该对称点，并且上述顶板的开口部以环状形成。根据这样的结构，泵室的中心由于振动位移大，所以压力变动也大。由于顶板的对称点位于泵室的中心，遮挡泵室的中心的区域，所以泵室内部的压力变动变大，能够得到较大的泵流量和泵压力。另外，也可以是，上述突起的同上述顶板对置的面与上述顶板连结。根据这样的结构，突起附近的气流的湍流小，流动损失小。另外，也可以是，在上述顶板的上述开口部的外侧具有凹部。根据这样的结构，能够不使开口部的内侧的气流变乱并减少开口部的空气阻力。另外，也可以是，在上述振动板的比振动的波节靠中央侧，且在上述顶板的靠上述振动板侧具有凹陷部。根据这样的结构，在振动板的振动位移成为最大的中央部，振动板与顶板之间的间隔比其他部位长，因此，空气阻力减少，振动位移增大。作为其结果，泵流量和泵压力增大。另外，也可以是，在被上述振动板和上述顶板夹着的空间中，在比上述开口部靠外侧处，具有由膜状构件形成的阀。根据这样的结构，回流的抑制效果高，因此，能够得到较高的泵压力。另外，也可以是，上述阀具有抑制从形成于上述侧壁与上述振动板之间的上述开口朝向上述顶板的上述开口部的方向的流体的功能。根据这样的结构，能够进一步提高由突起产生的回流的抑制效果，因此，能够进一步提高泵压力。另外，也可以是，上述阀的内侧固定于振动板或者顶板，上述阀在外侧具有由可动的膜形成的可动部。根据这样的结构，能够抑制从振动板侧向顶板侧流动的气流。另外，也可以是，上述阀的上述可动部具有与上述突起对置的部分。另外，也可以是，上述阀的上述可动部的外端与上述突起对置。以下，参照本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泵，其特征在于，具备：/n振动板，其在第1主面连接压电体；/n罩，其具备顶板和侧壁，所述顶板同所述振动板的与所述第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，所述侧壁包围所述顶板与所述振动板之间的空间并与所述顶板的外周部连接；/n支承部，其与所述侧壁连接，并支承所述振动板的外周；/n开口，其形成于所述侧壁与所述振动板之间；以及/n突起，其在所述顶板、所述侧壁和所述振动板中任一者上设置为向所述空间内突出，/n在从与所述顶板的主面和所述振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，所述突起设置于所述顶板的所述开口部与所述侧壁之间。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181127 JP 2018-2214501.一种泵，其特征在于，具备：
振动板，其在第1主面连接压电体；
罩，其具备顶板和侧壁，所述顶板同所述振动板的与所述第1主面相反侧的第2主面对置，并具有开口部，所述侧壁包围所述顶板与所述振动板之间的空间并与所述顶板的外周部连接；
支承部，其与所述侧壁连接，并支承所述振动板的外周；
开口，其形成于所述侧壁与所述振动板之间；以及
突起，其在所述顶板、所述侧壁和所述振动板中任一者上设置为向所述空间内突出，
在从与所述顶板的主面和所述振动板的第2主面相对置的朝向正交的方向剖视时，所述突起设置于所述顶板的所述开口部与所述侧壁之间。


2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，
所述振动板为圆板形状。


3.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，
所述支承部具有沿着所述振动板的外周缘的梁形状。


4.根据权利要求3所述的泵，其特征在于，
所述支承部具有：梁部、将所述振动板与所述梁部连接的第1连结部、将所述侧壁与所述梁部连接的第2连结部，
所述支承部设置有三个以上的多个，且各个所述支承部隔开间隔设置。


5.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，
所述支承部的平均厚度比所述振动板的平均厚度薄。


6.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，
所述支承部的杨氏模量比所述振动板的杨氏模量低。


7.根据权利要求1～6中任一项所述的泵，其特征在于，
所述突起设置于所述顶板或者所述侧壁。


8.根据权利要求7所述的泵，...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP