一种校准系统及方法技术方案

本申请涉及一种校准系统及方法，该系统包括：仪表组、内部校准装置、控制终端和至少一个数字测试模块；控制终端向内部校准装置下发内部校准控制指令，在内部校准控制指令的控制下，使内部校准装置与仪表组形成第一闭合回路，通过第一闭合回路对内部校准装置的直流参数进行校准，获得标定状态的内部校准装置；控制终端向数字测试模块下发测试模块校准指令，在测试模块校准指令的控制下，使数字测试模块与标定状态的内部校准装置形成第二闭合回路，通过第二闭合回路对数字测试模块进行直流参数校准，获得标定状态下数字测试模块；利用标定状态的数字测试模块对芯片进行测试，本申请用于解决校准系统普适性差或系统冗杂，不易操作的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种校准系统及方法
本申请涉及芯片测试领域，尤其涉及一种校准系统及方法。
技术介绍
随着集成电路制造工艺技术和设计水平的提升，我们对芯片品质的要求也越来越高，通过校准的数字测试模块，实现对芯片品质的测试。但现有的对数字测试模块的校准装置无法由用户方设定校准的参数值，普适性较差，或者是对数字测试模块校准的时候需要多台设备配合，准备工作较多，校准系统冗杂，不易操作。
技术实现思路
本申请提供了一种校准系统及方法，用以解决校准系统普适性差或系统冗杂，不易操作的问题。第一方面，本申请实施例提供了一种校准系统，包括：仪表组、内部校准装置、控制终端和至少一个数字测试模块；所述仪表组与所述内部校准装置电连接，所述内部校准装置与所述数字测试模块电连接，所述控制终端分别与所述内部校准装置和所述数字测试模块通信连接；所述控制终端用于向所述内部校准装置下发内部校准控制指令，在所述内部校准控制指令的控制下，使所述内部校准装置与所述仪表组形成第一闭合回路，所述仪表组通过所述第一闭合回路对所述内部校准装置的直流参数进行校本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种校准系统，其特征在于，包括：仪表组、内部校准装置、控制终端和至少一个数字测试模块；/n所述仪表组与所述内部校准装置电连接，所述内部校准装置与所述数字测试模块电连接，所述控制终端分别与所述内部校准装置和所述数字测试模块通信连接；/n所述控制终端用于向所述内部校准装置下发内部校准控制指令，在所述内部校准控制指令的控制下，使所述内部校准装置与所述仪表组形成第一闭合回路，所述仪表组通过所述第一闭合回路对所述内部校准装置的直流参数进行校准，获得标定状态的内部校准装置；/n所述控制终端用于向所述数字测试模块下发测试模块校准指令，在所述测试模块校准指令的控制下，使所述数字测试模块与所述标定状态的内部...

【技术特征摘要】
1.一种校准系统，其特征在于，包括：仪表组、内部校准装置、控制终端和至少一个数字测试模块；
所述仪表组与所述内部校准装置电连接，所述内部校准装置与所述数字测试模块电连接，所述控制终端分别与所述内部校准装置和所述数字测试模块通信连接；
所述控制终端用于向所述内部校准装置下发内部校准控制指令，在所述内部校准控制指令的控制下，使所述内部校准装置与所述仪表组形成第一闭合回路，所述仪表组通过所述第一闭合回路对所述内部校准装置的直流参数进行校准，获得标定状态的内部校准装置；
所述控制终端用于向所述数字测试模块下发测试模块校准指令，在所述测试模块校准指令的控制下，使所述数字测试模块与所述标定状态的内部校准装置形成第二闭合回路，所述标定状态的内部校准装置通过所述第二闭合回路对所述数字测试模块进行直流参数校准，获得标定状态下数字测试模块；
所述数字测试模块用于采用校准后的参数对芯片的直流参数进行测试。


2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一闭合回路包括：标定电压闭合回路、标定电阻闭合回路和直流参数测量闭合回路；
所述内部校准装置包括：标定电压模块、标定电阻模块、第一主控模块和直流参数测量模块；
所述第一主控模块与所述控制终端通信连接，用于获取所述控制终端下达的内部校准控制指令，其中，所述内部校准控制指令按时序分为：第一控制指令和第二控制指令；
所述第一主控模块获取所述第一控制指令，在所述第一控制指令的控制下，所述第一主控模块使所述标定电压模块与所述标定电阻模块分别与所述仪表组形成所述标定电压闭合回路和所述标定电阻闭合回路，所述仪表组通过所述标定电压闭合回路和所述标定电阻闭合回路，对所述标定电压模块与所述标定电阻模块进行校准，获得标定状态的标定电压模块与标定电阻模块；
所述第一主控模块获取所述第二控制指令，在所述第二控制指令的控制下，所述第一主控模块使所述直流参数测量模块与所述标定状态的标定电压模块与标定电阻模块形成所述直流参数测量闭合回路，所述标定状态的标定电压模块与标定电阻模块通过所述直流参数测量闭合回路对所述直流参数测量模块进行校准，获得标定状态的直流参数测量模块，从而完成对所述内部校准装置的校准，获得所述标定状态的内部校准装置。


3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述内部校准装置还包括：第一继电器阵列，所述第一继电器阵列包括至少一个接入端口、至少一个仪表连接端口和一个控制端；
所述第一继电器阵列的控制端与所述第一主控模块通信连接；
所述标定电压模块内包含有至少一个电压源，其中，所述第一继电器阵列的控制端在所述第一控制指令的控制下，使所述电压源的输出端与所述第一继电器阵列的接入端口相连接，所述第一继电器阵列的仪表连接端口与所述仪表组相连接，形成所述标定电压闭合回路，通过所述标定电压闭合回路对所述电压源进行校准。


4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述内部校准装置还包括：第二继电器阵列，所述第二继电器阵列包括至少一个接入端口、至少一个仪表连接端口和一个控制端；
所述第二继电器阵列的控制端与所述第一主控模块通信连接；
所述标定电阻模块内包含有至少一个标定电阻，其中，所述第二继电器阵列的控制端在所述第一控制指令的控制下，使所述标定电阻的一端与所述第二继电器阵列的接入端口相连接，所述第二继电器阵列的仪表连接端口与所述仪表组相连接，形成所述标定电阻闭合回路，通过所述标定电阻闭合回路对所述标定电阻进行校准。


5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第二闭合回路包括：测试模块校准闭合回路；
所述内部校准装置还包括：第三继电器阵列，所述第三继电器阵列包括至少一个接入端口、至少一个数字测试模块连接端口和一个控制端；
所述直流参数测量模块内的电源与所述直流参数测量模块内的测量子模块电连接；
所述直流参数测量模块与所述标定电阻模块电连接；
所述第三继电器阵列的控制端在所述测试模块校准指令的控制下，使所述直流参数测量模块与所述第三继电器阵列的接入端口相连接，所述第三继电器阵列的数字测试模块连接端口与所述数字测试模块相连接，形成所述测试模块校准闭合回路，通过所述测试模块校准闭合回路对所述数字测试模块进行校准。


6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第二闭合回路还包括：有效负载闭合回路、模数转换闭合回路、驱动闭合回路和参数比较闭合回路；
所述数字测试模块包括：模数转换器子模块、驱动子模块、参数比较子模块、管脚参数测量子模块、有效负载子模块和第二主控模块；
所述第三继电器阵列的控制端与所述第二主控模块通信连接，用于获取所述控制终端下达的测试模块校准指令，其中，所述测试模块校准指令包括：第三控制指令和第四控制指令；
所述第二主控模块获取所述第三控制指令后，所述第二主控模块根据所述第三控制指令，控制所述管脚参数测量子模块的接入端口与所述第三继电器阵列的数字测试模块连接端口相连接，形成所述测试模块校准闭合回路，通过所述测试模块校准闭合回路，对管脚参数测量子模块进行校准；
校准所述管脚参数测量子模块之后，控制所述管脚参数测量子模块的输出端口与所述有效负载子模块的输入端口相连接，形成所述有效负载闭合回路，通过所述有效负载闭合回路，对所述有效负载子模块进行校准；
所述第二主控模块获取所述第四控制指令后，所述第二主控模块根据所述第四控制指令，控制所述模数转换器子模块的接入端口与所述继电器阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉瑞，殷晔，安佰岳，尉晓惠，杨硕，毕硕，周庆飞，
申请(专利权)人：北京航天测控技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11