一种可弹出式腔体结构、设备及方法技术

本公开提供了一种可弹出式腔体结构、设备及方法，可弹出式腔体结构，包括：测试腔体；测试腔体与驱动机构连接，并能够在驱动机构带动下进出测试环境仓，测试腔体的载气出气端口通过第一金属软管与传感元件连通，测试腔体的载气进气端口通过第二金属软管与载气供给装置连通；本公开可以实现测试腔体的伸出、缩回，该结构紧凑，占用空间小，操作安全方便；可以方便的组成多测试腔结构，占用空间小。

【技术实现步骤摘要】
一种可弹出式腔体结构、设备及方法
本公开涉及渗透测试
，特别涉及一种可弹出式腔体结构、设备及方法。
技术介绍
本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的
技术介绍
，并不必然构成现有技术。在进行薄膜渗透检测时，现有的测试结构由测试上腔及测试下腔组成，将被测试样(薄膜)放在上下腔之间。测试时，测试上腔将被测试样压紧在下腔上。本公开专利技术人发现，在进行薄膜渗透检测时，现有的测试结构由测试上腔及测试下腔组成，将被测试样(薄膜)放在上下腔之间。测试时，测试上腔将被测试样压紧在下腔上；在更换被测试样时，都是打开测试上腔，完成试样的更换。此种结构占用空间大，两个或两个以上的多腔结构只能采用平铺方式排列，更换试样时，需要打开测试上腔，一旦操作有误，测试上腔容易滑落到测试下腔上，伤及操作人员和造成零部件的损坏。
技术实现思路
为了解决现有技术的不足，本公开提供了一种可弹出式腔体结构、设备及方法，可以实现测试腔体的伸出、缩回，结构紧凑、占用空间小，操作安全方便，可以方便的进行层次设置组成多测试腔结构，占用空间小。为了实现上述目的，本公开采用如下技术方案：本公开第一方面提供了一种可弹出式腔体结构。一种可弹出式腔体结构，包括：测试腔体；测试腔体与驱动机构连接，并能够在驱动机构带动下进出测试环境仓，测试腔体的载气出气端口通过第一金属软管与传感元件连通，测试腔体的载气进气端口通过第二金属软管与载气供给装置连通。作为可能的一些实现方式，金属软管内表面为抛光面。<br>作为可能的一些实现方式，传感元件为微量氧传感器或微量水传感器或微量氧传感器与微量水传感器的组合。作为可能的一些实现方式，金属软管密封泄漏率低于1×10-5stdcm3/s。作为可能的一些实现方式，金属软管弯曲半径小于或等于20cm。作为可能的一些实现方式，金属软管内径小于或等于20mm。作为可能的一些实现方式，驱动机构固定在第一基板上，且第一基板上设有容纳第一金属软管的第一导向槽和容纳第二金属软管的第二导向槽。作为进一步的限定，第一基板的上侧设有与第一基板平行的第二基板，第二基板朝向第一基板的一侧设有容纳第一金属软管的第三导向槽和容纳第二金属软管的第四导向槽。作为进一步的限定，可弹出式腔体结构所在腔体的顶壁与第一基板平行，且顶壁朝向第一基板的一侧设有容纳第一金属软管的第三导向槽和容纳第二金属软管的第四导向槽。作为更进一步的限定，第一导向槽和第三导向槽正对设置，第二导向槽和第四导向槽正对设置。作为可能的一些实现方式，测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。作为可能的一些实现方式，测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的多个孔，测试腔体开有与各个孔连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。本公开第二方面提供了一种气体渗透测试设备，其特征在于：包括有测试仓，测试仓内设有本公开第一方面所述的可弹出式腔体结构，且测试仓的侧壁上开有用于可弹出式腔体结构通过的通槽。本公开第三方面提供了一种气体渗透测试方法，利用本公开第一方面所述的可弹出式腔体结构，包括以下步骤：测试开始前，驱动机构将可弹出式腔体结构推出测试环境仓，换完被测试样后，驱动机构将可弹出式腔体结构拉回；被测试样暴露在测试环境仓空间中，当环境仓空间气体的组分稳定时，气体透过被测试样到可弹出式腔体结构的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感元件进行分析得到测试结果。与现有技术相比，本公开的有益效果是：1、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，可以实现测试腔体的伸出、缩回，该结构紧凑，占用空间小，操作安全方便；可以方便的进行层次设置组成多测试腔结构，占用空间小。2、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，通过金属软管、金属管的配合，能够实现腔体结构在测试环境仓的稳定进出，有效的避免了腔体结构的移动对传感元件的测试精度带来的影响。3、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，可以检测出测试腔体上是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏。4、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，通过在测试腔体上设置凹槽或者气孔，结合抽真空装置，能够实现对试样的有效吸附，进而能够有效的检测出测试腔体上是否放置试样。5、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，当凹槽较深时，通过设置多孔网状支撑体，支撑体作为凹槽与试样的媒介，结合抽真空装置能够实现试样的有效吸附，避免了试样的严重变形。6、本公开所述的可弹出式腔体结构、设备及方法，当凹槽较浅或者采用至少一个小孔进行试样吸附时，无需设置多孔网状支撑体，能够直接的实现有效吸附且不会出现较大的试样变形。附图说明构成本公开的一部分的说明书附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。图1为本公开实施例1提供的可弹出式腔体结构的结构示意图。图2为本公开实施例2提供的薄膜渗透检测的腔体结构示意图。图3为本公开实施例3提供的薄膜渗透检测的腔体结构示意图。图4为本公开实施例6提供的薄膜渗透测试设备的结构示意图。其中，1、传感器仓；2、阀组件；3、传感器仓排水口；4、金属管；5、密封垫；6、挡风盖；7、可弹出式测试腔；8、测试腔仓排水口；9、测试腔仓；10、测试腔仓控温组件；11、传感器仓控温组件；12、控制阀；13、电气元件；14、传感元件；15、试验气体排出口；16、温度传感器；17、湿度传感器；18、试验气体进气口；19、湿度发生装置；7-1、基板；7-2、接头；7-3、测试腔体；7-4、导向槽；7-5、金属软管；7-3-1、被测试样；7-3-2、测试腔体本体；7-3-3、载气进入通道；7-3-4、载气流出通道；7-3-5、真空管道；7-3-6、真空环。具体实施方式下面结合附图与实施例对本公开作进一步说明。应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本公开提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本公开所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本公开的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。实施例1：如图1所示，本公开实施例1提供了一种可弹出式腔体结构，包括：测试腔体7-3；测试腔体7-3与驱动机构连接，并能够在驱动机构带动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可弹出式腔体结构，其特征在于：包括：/n测试腔体；/n测试腔体与驱动机构连接，并能够在驱动机构带动下进出测试环境仓，测试腔体的载气出气端口通过第一金属软管与传感元件连通，测试腔体的载气进气端口通过第二金属软管与载气供给装置连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种可弹出式腔体结构，其特征在于：包括：
测试腔体；
测试腔体与驱动机构连接，并能够在驱动机构带动下进出测试环境仓，测试腔体的载气出气端口通过第一金属软管与传感元件连通，测试腔体的载气进气端口通过第二金属软管与载气供给装置连通。


2.如权利要求1所述的可弹出式腔体结构，其特征在于：
金属软管内表面为抛光面。


3.如权利要求1所述的可弹出式腔体结构，其特征在于：
传感元件为微量氧传感器或微量水传感器或微量氧传感器与微量水传感器的组合。


4.如权利要求1所述的可弹出式腔体结构，其特征在于：
金属软管密封泄漏率低于1×10-5stdcm3/s；
或者，
金属软管弯曲半径小于或等于20cm；
或者，
金属软管内径小于或等于20mm。


5.如权利要求1所述的可弹出式腔体结构，其特征在于：
驱动机构固定在第一基板上，且第一基板上设有容纳第一金属软管的第一导向槽和容纳第二金属软管的第二导向槽。


6.如权利要求5所述的可弹出式腔体结构，其特征在于：
第一基板的上侧设有与第一基板平行的第二基板，第二基板朝向第一基板的一侧设有容纳第一金属软管的第三导向槽和容纳第二金属软管的第四导向槽；
或者，
可弹出式腔体结构所在腔体的顶壁与第一基...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜允中，
申请(专利权)人：济南兰光机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37