一种蚀铜废硝酸资源化回用方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种蚀铜废硝酸资源化回用方法及系统，涉及蚀刻废液处理技术领域。该蚀铜废硝酸资源化回用方法，将原失去蚀铜能力的高铜废硝酸经过电解后铜离子浓度可由50

【技术实现步骤摘要】
一种蚀铜废硝酸资源化回用方法及系统


[0001]本专利技术涉及蚀刻废液处理
，尤其涉及一种蚀铜废硝酸资源化回用方法及系统。

技术介绍

[0002]在微电子加工行业的电镀工艺中，人们会采用蚀刻液腐蚀电路板上多余的铜箔，随着蚀刻过程的进行，蚀刻液中的铜离子不断增多，当蚀刻液中的铜离子的含量达到一定浓度时，蚀刻液腐蚀铜的效率就会逐渐下降直至失效，成为蚀刻废液排出。镀件的清洗、除油、活化、除锈和退镀等过程都会产生相应的刻蚀废液，废液中的重金属铜离子具有较大的毒性，根据我国的排放标准，铜的排放浓度低于0.5mg/L，含铜刻蚀废酸液必须作为危废处理处置。主要成分如下表1(另有少量以锡为主的杂质金属)：
[0003]表1：
[0004]铜离子浓度(g/L)氢离子浓度(mol/L)硝酸(％)45
‑
704.0
‑
5.020
‑
25
[0005]传统蚀刻液的处理工艺主要包括化学沉淀法、吸附法、电解法离子交换法、氧化还原法和中和法等，这些处理工艺各有利弊。其中，电解法的应用较普遍。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀铜废硝酸资源化回用方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对硝酸铜废液原液进行沉锡处理，保留上清液；S2、取出上清液，向其中加入强氧化药剂，进行第一次电解，至电解液中的铜离子浓度≤10g/L，得到低铜液体；S3、收集步骤S2的低铜液体，至步骤S2中电解槽的阴极板长铜量超过15kg，停止第一次电解；S4、将S3收集得到的低铜液体分批次进行第二次电解，至每批次的电解液蚀铜能力达标，得到待回用液；S5，向所述待回用液中加入5
‑
8％体积的浓硝酸，即得到符合回用标准的蚀刻液。2.如权利要求1所述的蚀铜废硝酸资源化回用方法，其特征在于，所述强氧化药剂选自50％浓度双氧水，或氨基磺酸及50％浓度双氧水的混合。3.如权利要求2所述的蚀铜废硝酸资源化回用方法，其特征在于，若所述强氧化药剂选自50％浓度双氧水，则用量为2
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2.5％*V(废液体积)；若所述强氧化药剂选自氨基磺酸及50％浓度双氧水的混合，则氨基磺酸的用量为0.7
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1*V(废液体积)*1kg/L；双氧水的用量为0.8
‑
1％*V(废液体积)。4.如权利要求1或3所述的蚀铜废硝酸资源化回用方法，其特征在于，所述步骤S2和S3之间，还包括步骤：对所述低铜液体除去残留的强氧化药剂。5.如权利要求4所述的蚀铜废硝酸资源化回用方法，其特征在于，对所述低铜液体除去残留的强氧化药剂，具体操作为，在50
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...

【专利技术属性】
技术研发人员：田浩杨，熊俊，吕永兴，姜维，熊伟，屈茂会，佘肖伟，
申请(专利权)人：华润环保发展有限公司，
类型：发明
国别省市：